专利名称：MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器，采用双温区化学气相沉积方法制备MgZnO纳米线阵列，由此获得MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器，其响应度高于现有MgZnO纳米线紫外光电探测器，属于半导体光电技术领域。
背景技术：
紫外探测是继红外探测之后的又一项军民通用的光电探测技术，尤其在紫外告警、紫外制导、火焰传感、气体探测与分析、环境污染监测等方面具有广泛的应用前景。目前，MgZnO宽禁带半导体材料是理想的紫外光电探测器材料之一，其形态包括MgZnO薄膜和MgZnO纳米线。MgZnO三元合金是由ZnO和MgO按一定的组分固溶而成，当MgO组分较低时 为六方结构，反之则为立方结构。不论是MgZnO薄膜还是MgZnO纳米线，理论上通过改变Mg含量可以实现在3. 3 7. 8 eV范围内的带隙连续可调。同时，MgZnO三元合金还具有与之相匹配的衬底以及稳定的化学性能等优点。这些特点使得MgZnO紫外光电探测器能够应用于许多方面，例如环境污染监控，火焰光电探测，紫外预警，以及通讯等。然而，MgZnO薄膜紫外光电探测器的响应度比较低，如只有O. 2 Α/ff ;另外，现有MgZnO纳米线紫外光电探测器由于纳米线呈散乱倒伏状态，致使探测器上电极与MgZnO纳米线接触不良，这不仅使得响应度降低，而且还导致响应度不稳定。
发明内容
本发明的目的是提高MgZnO紫外光电探测器的响应度，为此，我们发明了一种MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器。本发明之MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器下电极位于硅衬底背面，MgZnO纳米线分布在娃衬底正面，上电极位于MgZnO纳米线上面,并与MgZnO纳米线欧姆接触,其特征在于，所述MgZnO纳米线竖直等高、整齐分布,构成MgZnO纳米线阵列。本发明其技术效果在于，由于MgZnO纳米线竖直等高、整齐分布,有更多的MgZnO纳米线与上电极形成良好稳定的欧姆接触，光电流增益大，探测器响应度因此而提高且稳定。如采用双温区化学气相沉积方法制备带隙宽度为带隙宽度为4. 20eV的MgZnO纳米线阵列，进而制作具有自下而上依次为下电极、硅衬底、MgZnO纳米线阵列、上电极这一垂直结构的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器，在5V偏压下探测器暗电流Idart小于108 μΑ，其最短光响应截止边W达到310 nm，响应峰值在269 nm处，响应度R达到107 A/W，并且紫外可见抑制比310nm/420nm大于3个量级。
附图是本发明之MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器结构示意图，该图同时作为摘要附图。
具体实施例方式本发明之MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器下电极I位于硅衬底背面，见附图所示，下电极I为30(T600 nm厚的铟膜，如500 nm,铟膜与硅衬底2具有良好的欧姆接触。MgZnO纳米线3分布在娃衬底2正面。上电极4位于MgZnO纳米线3上面,并与MgZnO纳米线3欧姆接触，上电极4为ITO导电玻璃。所述MgZnO纳米线3竖直等高、整齐分布，构成MgZnO纳米线阵列,MgZnO纳米线4高度为400 800nm,如500nm。MgZnO纳米线3中的Mg组分与Zn组分的摩尔百分比为(I 41) : (99 59)，如Mg组分41 %、Zn组分59 %。上电极4IT0导电玻璃的下表面与MgZnO纳米线3的上端欧姆接触。上电极4IT0导电玻璃由绝缘支撑物5自硅衬底3正面垫起，避免压倒MgZnO纳米线3。下面通过MgZnO纳米线阵列的制备以及MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器的制作，进一步说明本发明。采用双温区化学气相沉积的方法制备MgZnO纳米线阵列。采用双温区化学气相沉积管式炉，Zn源区为低温区，温度为50(T520°C;如520°C ,Mg源区为高温区，温度为600 700 V，如650°C。Mg源为纯度99. 99 %的Mg粉，Zn源为纯度99. 99 %的Zn粉，Mg粉与Zn粉总质量为I. 5 g0 Mg源和Zn源摩尔比为(广3) : (3 19)，如2:3。升温速率为10 °C/min，通入纯度为99. 999 %的N2与O2的混合载气，流量比为99:1，当低温区、高温区达到各自的温度后保温O. 5小时，在此期间在硅衬底2的(111)方向上制备出MgZnO纳米线3竖直等高、整齐分布的MgZnO纳米线阵列，见附图所示。MgZnO纳米线4高度为400 800鹽，如500nm。MgZnO纳米线3中的Mg组分与Zn组分的摩尔百分比为(I 41) : (99 59)，如Mg组分41 %、Zn组分59 %。之后制作MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器。第一步采用真空热蒸发的方法，在硅衬底2背面上蒸镀30(T600 nm厚的铟膜作为下电极1，如500 nm。第二步在MgZnO纳米线阵列上面覆盖ITO导电玻璃作为上电极4，上电极4IT0导电玻璃的下表面与MgZnO纳米线3的上端欧姆接触，并且，上电极4IT0导电玻璃由绝缘支撑物5自硅衬底3正面垫起，见附图所示，避免压倒MgZnO纳米线3。至此制作完成具有自下而上依次为下电极I、硅衬底
2、MgZnO纳米线阵列、上电极4这一垂直结构的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器。通过对所制备的MgZnO纳米线阵列进行XRD表征，呈现六方结构，没有出现立方相。利用微区光致发光谱测量，经过计算，带隙宽度为3. 3^7. 8 eV范围内的某一值，如4. 20eV。通过半导体测试仪对所制作的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器进行测试，得到了具有整流效应的肖特基型I-V曲线，在5 V偏压下探测器暗电流Idart小于108 1200 μΑ范围内的某一值，如小于108 μΑ，其光响应截止边W为31(T360 nm范围内某一值，如最短为310nm,响应峰值位于269 351 nm范围内某一值处，如位于269 nm处，响应度R达到107 320A/W范围内的某一值，如107 A/W，紫外可见抑制比为31(T360nm/420nm，如310nm/420nm大于3个量级。
权利要求
1.一种MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,下电极位于娃衬底背面,MgZnO纳米线分布在娃衬底正面，上电极位于MgZnO纳米线上面,并与MgZnO纳米线欧姆接触,其特征在于,所述MgZnO纳米线竖直等高、整齐分布,构成MgZnO纳米线阵列。
2.根据权利要求I所述的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,其特征在于,MgZnO纳米线(4)高度为 40(T800nm。
3.根据权利要求I所述的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,其特征在于,MgZnO纳米线(3)中的Mg组分与Zn组分的摩尔百分比为(I 41) : (99^59)。
4.根据权利要求I所述的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器，其特征在于，上电极(4)的下表面与MgZnO纳米线(3)的上端欧姆接触。
5.根据权利要求I所述的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器，其特征在于，上电极(4)由绝缘支撑物(5)自硅衬底(3)正面垫起。
全文摘要
MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器，采用双温区化学气相沉积方法制备MgZnO纳米线阵列，由此获得MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器，其响应度高于现有MgZnO纳米线紫外光电探测器，属于半导体光电技术领域。本发明之MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器下电极位于硅衬底背面，MgZnO纳米线分布在硅衬底正面，上电极位于MgZnO纳米线上面，并与MgZnO纳米线欧姆接触，其特征在于，所述MgZnO纳米线竖直等高、整齐分布，构成MgZnO纳米线阵列。本发明用于环境污染监控、火焰光电探测、紫外预警以及通讯等领域。
文档编号B82Y15/00GK102881762SQ20121039526
公开日2013年1月16日 申请日期2012年10月17日 优先权日2012年10月17日
发明者蒋大勇, 赵曼, 梁庆成, 高尚, 赵建勋, 秦杰明 申请人:长春理工大学