反射镜器件的制造方法与流程

本公开的一个方面涉及一种具有可动部的反射镜器件的制造方法。

背景技术：

1、在专利文献1中记载了具有可动部的反射镜器件的制造方法。在专利文献1所记载的制造方法中，在半导体基板形成了多个具有可动结构体的微机械结构体之后，进行切片，使多个微机械结构体彼此分离。此时可动结构体弯曲。接着，在可动结构体上形成了作为反射镜发挥功能的金属层之后，对微机械结构体的整体进行加热。通过该加热处理，使可动结构体平坦化。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2014-168819号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、对于如上所述的反射镜器件的制造方法，寻求更加良好地制造反射镜器件。因此，本公开的一个方面的目的在于提供一种能够良好地制造具有可动部的反射镜器件的反射镜器件的制造方法。

3、用于解决技术问题的技术方案

4、本公开的一个方面的反射镜器件的制造方法是具备：结构体，其包括支撑部、可动部、以及以可动部能够摆动或移动的方式将可动部连结于支撑部的连结部；以及设置于可动部上的反射镜层的反射镜器件的制造方法，该制造方法包括：第1形成工序，在晶圆上形成各自对应于结构体的多个部分；第2形成工序，在多个部分的各个中的对应于可动部的部分上形成反射镜层；加热工序，在第1形成工序和第2形成工序之后，对多个部分的各个中的对应于可动部的部分进行加热；以及切断工序，在加热工序之后，以多个部分彼此分离的方式将晶圆切断。

5、在形成反射镜层时，存在在反射镜层产生残余应力的情况，并且存在由于该残余应力而在反射镜层产生翘曲的情况。在该状态下，如果反射镜器件出厂，则担心在使用时由于环境温度或自身发热而缓和残余应力，从而反射镜层的翘曲量发生变化。对此，在该反射镜器件的制造方法中，在晶圆上形成各自对应于结构体的多个部分，并且在多个部分的各个中的对应于可动部的部分上形成反射镜层之后，对多个部分的各个中的对应于可动部的部分进行加热。由此，能够缓和存在于反射镜层内的残余应力，并且能够抑制在使用反射镜器件时反射镜层的翘曲量发生变化。另外，在该反射镜器件的制造方法中，在该加热后切断晶圆。由此，与晶圆切断之后进行加热处理的情况相比，能够使加热时的反射镜层的温度在多个部分之间均匀化。其结果，能够抑制反射镜器件的质量的偏差。另外，通过在晶圆状态下进行加热，例如能够在用于加热的恒温槽内配置多个反射镜器件。其结果，能够提高反射镜器件的制造效率。进而，例如在加热之后测定反射镜层的翘曲量时，能够在晶圆状态下测定翘曲量。在该情况下，由于容易准确地把握反射镜层的位置，因此，能够实现测定的效率化。进而，例如在加热之后对反射镜层进行清洁时，能够在晶圆状态下进行清洁，能够提高清洁的操作性。进而，在晶圆切断之后进行加热处理时，有时切断时产生的晶圆的碎片附着于反射镜层，在该情况下，担心由于在加热处理时对碎片进行加热，从而构成碎片的半导体材料在反射镜层内扩散，反射镜层的反射率降低。对此，在该反射镜器件的制造方法中，由于在晶圆状态下加热之后切断晶圆，因此，能够抑制这样的情况。其结果，可以确保反射镜器件的质量。如上所述，根据该反射镜器件的制造方法，能够良好地制造具有可动部的反射镜器件。

6、本公开的一个方面的反射镜器件的制造方法也可以在加热工序和切断工序之间，进一步包括测定反射镜层的翘曲量的测定工序。在该情况下，能够在晶圆状态下测定反射镜层的翘曲量，从而能够实现测定的效率化。

7、在切断工序中，也可以通过激光的照射在晶圆的内部形成改质区域，使龟裂从改质区域沿晶圆的厚度方向伸展，由此切断晶圆。在该情况下，能够降低切断时作用于晶圆的应力，从而能够抑制由于该应力引起的反射镜层和可动部发生变形。另外，能够抑制在切断时反射镜层的翘曲量发生变化。

8、也可以在第1形成工序之后实施第2形成工序。在该情况下，能够抑制由于形成多个部分时的热而引起的反射镜层的质量降低的情况。

9、在加热工序中，也可以通过对多个部分的各个中的对应于可动部的部分进行加热，使反射镜层的翘曲量减少。或者，也可以通过对多个部分的各个中的对应于可动部的部分进行加热，使反射镜层的翘曲量增加。在任一情况下，都能够缓和存在于反射镜层内的残余应力，从而能够抑制在使用反射镜器件时反射镜层的翘曲量发生变化。

10、在第2形成工序中，也可以通过溅射形成反射镜层。在该情况下，能够良好地形成反射镜层。

11、反射镜器件也可以进一步具备用于使驱动力作用于可动部的线圈或压电元件。在该情况下，在使用反射镜器件时容易产生热，但是根据该反射镜器件的制造方法，即使在这样的情况下，也能够抑制在使用反射镜器件时反射镜层的翘曲量发生变化。

12、在加热工序中，也可以将多个部分的各个中的对应于可动部的部分加热到60℃以上300℃以下。在该情况下，能够有效地缓和存在于反射镜层内的残余应力。

13、反射镜层的最大宽度也可以是0.5mm以上30mm以下。在该情况下，在使用反射镜器件时反射镜层的翘曲量容易发生变化，但是根据该反射镜器件的制造方法，即使在这样的情况下，也能够抑制在使用反射镜器件时反射镜层的翘曲量发生变化。

14、反射镜层也可以包含在可动部上依次形成的密合层、防扩散层、以及反射层。在该情况下，通过包含密合层，能够在可动部上稳定地形成反射镜层。另外，通过包含防扩散层，能够抑制在加热时在反射层与密合层之间发生金属扩散。

15、反射镜层也可以包含包括反射层的多个层，多个层包含：在第2形成工序的完成时刻残余压缩应力的层；以及在第2形成工序的完成时刻残余拉伸应力的层。在该情况下，可以减小在加热工序前的反射镜层的翘曲量。另外，能够减小加热工序中的反射镜层的翘曲量的变化，其结果，能够缩短加热时间，并且能够容易地控制反射镜层的翘曲量。

16、在加热工序中，也可以对晶圆的整体进行加热。在该情况下，能够使加热时的反射镜层的温度在多个部分之间均匀化。

17、在加热工序中，也可以不对晶圆的整体进行加热，对多个部分的各个中的对应于可动部的部分进行加热。在该情况下，即使加热工序中使用的热源的位置或输出发生偏差，通过热在晶圆内传导，也能够使反射镜层的温度在多个部分之间均匀化。

18、发明的效果

19、根据本公开的一方面，能够提供一种能够良好地制造具有可动部的反射镜器件的反射镜器件的制造方法。

技术特征：

1.一种反射镜器件的制造方法，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

6.根据权利要求1～4中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

7.根据权利要求1～6中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

8.根据权利要求1～7中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

9.根据权利要求1～8中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

10.根据权利要求1～9中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

11.根据权利要求1～10中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

12.根据权利要求1～11中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

13.根据权利要求1～12中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

14.根据权利要求13所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

15.根据权利要求1～12中任一项所述的反射镜器件的制造方法，其特征在于，

技术总结
本发明提供一种反射镜器件的制造方法。该反射镜器件的制造方法是具备包括支撑部、可动部和连结部的结构体、以及设置于可动部上的反射镜层的反射镜器件的制造方法。反射镜器件的制造方法包括：第1形成工序，在晶圆(wafer)上形成各自对应于结构体的多个部分；第2形成工序，在多个部分的各个中的对应于可动部的部分上形成反射镜层；加热工序，在第1形成工序和第2形成工序之后，对多个部分的各个中的对应于可动部的部分进行加热；以及切断工序，在加热工序之后，以将多个部分彼此分离的方式切断晶圆。

技术研发人员：井出智行,铃木大几,高桥干人
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14