专利名称:机加光电工艺的制作方法
1、机加光电工艺属电真空工艺。
2、光刻、玻璃模版溅靶电镀或拷贝电镀工艺对此工艺进行理解，检索，审查有参考作用。如1951年的2805986号专利和以后的2529086号专利。
3、本工艺的目的用精密机械加工，光电，化学等工艺和一般的物质条件代替必须有高精密照像制版机和高精密长线条玻璃刻线机以及其整一套高物质条件的光刻和玻璃模版溅靶电镀或拷贝电镀工艺制取电子束管一系列各种不同面积、线数、透明度和金属的方孔靶网。
4、发明的内容1)原理用精密机械加工两支螺杆，平行装成方框架，将丝绕进道道螺纹制成直线丝架，拷贝制出方孔底版代光刻工艺的照像制底版和玻璃模版溅靶电镀工艺的刻制玻璃模版;用拷贝电镀工艺制网代光刻工艺的晒象腐蚀制网和玻璃模版溅靶电镀制网。并用螺纹的道数和两次曝光时用平行移位模调整距离使线数倍增来控制线数;用螺杆的长度来控制面积，用丝料的直径控制线条的粗细和网的透明度。用电镀不同的金属控制金属。则可制出各种不同线数、透明度、面积和金属的方孔靶网。
2)工艺(1)精密机械加工两支一级精度，100线/cm，140cm长的不锈钢螺杆，使其平行装成正方形框架。螺纹的深度使丝绕好后约有三分之一在螺纹外。如示意图。
(2)选择眼力好、细心，耐心和有事业心的人，在适当强而柔和的灯光下，固定稳丝料，试验训练将12μ金属丝绕进道道螺纹，制成直线丝架。
(3)在细微粒罗甸干片上用直线丝架拷贝，将100W的灯泡装上长圆形筒，距离约2～3米，曝光约5分钟，制成直线底版。
(4)用直线底版和同样干片，两次正交曝光，拷贝制成方孔底版。
(5)同样干片和直线底版，在两次曝光时用平行移位模调整线间距离，使线数成倍增加，以提高线数。
(6)罗甸干片的制取①选用特选平玻璃，切成所需大小的正方形。
②洗净后在带水的情况下，用1%的蛋白液上一层极薄的蛋白，凉干。
③在蛋白片上涂上一层碘化棉胶液。其配方是在1.5%的白罗甸100毫升中加6～8毫升的由碘化镉18.76克;碘化铵8.54克;溴化铵3.2克;蒸馏水33毫升;酒精200毫升配成的红碘液。
④待胶液半干时，浸入10%的硝酸银液中，待光敏层(卤素银盐)均匀后取出。
⑤在自来水中冲100～120分钟。
⑥用蒸馏水洗后，再于蒸馏水中浸3分钟。
⑦在用丹柠酸100克;柠檬酸5克;蒸馏水1000毫升配成的增感液浸3分钟。取出在空气中凉干，即成罗甸干片。
(7)拷贝电镀①如(3)用罗甸干片及方孔底版曝光。
②用1分1%的硝酸银液加3分由柠檬酸0.5克;对苯二酚10克;蒸馏水100毫升配成的溶液的显影液显影。
③在一般的硫代硫酸钠液中定影。
④如需要加厚、用显影液加厚。
⑤需要减薄，用3分25%的硫代硫酸液加1分25%的铁氰化钾液，再加4分蒸馏水的减薄液。
⑥将拷贝出的方孔网线版，检查线条合格，导电性能好后，装好导电性能好的挂具，在一般和脉冲或反向电镀槽内进行电镀，得网。
5、发明与已有工艺相比的优点及积极效果1)本工艺比光刻和玻璃模溅靶电镀或拷贝电镀工艺都简短。只要加工成一个直线丝架就能拷贝出大生产所需的大量底版;除加工丝架外，全部工艺只有拷贝和拷贝电镀;只要有合格底版，15～30分钟就能拷贝电镀出一片网。这比光刻有了合格底版晒象腐蚀网和有玻璃模版后溅靶电镀网都能缩短1～多倍时间。
2)本工艺制直线丝架不需要如光刻和玻璃模版溅靶电镀所需的大面积恒温湿，高真空卫生的工作间，也不需要专门的高精密机器，和其整一套附属设备及其所需的昂贵优质的金属箔或光学玻璃，金刚石刀具及其磨料等。只要委托精密机械加工部门加工一个框架。用手工绕上丝，在一般的暗房和电镀间，搞好真空卫生，用一般的化工和金属材料就能出与已有工艺相同的产品-网。这不但适合大生产，尤其适合物质条件差的单位生产。
3)光刻工艺由于照像制底的放大图或模型不易精密，照像时又易失真和招灰，腐蚀工艺又不易控制质量，成品率最低。玻璃模版刻制工艺长，成品率约为45%左右。一块玻璃模版溅靶电镀100次左右就得报废，而且所出的网也有一定的报废。本工艺制的原大直线丝架比放大图和模型都精密，拷贝又不易失真和招灰，故制出的底版质量高。同理拷贝电镀网的质量也高。
4)有1)、2)、3)项的优点，成品率高，所需工时少，各种费用少。产品的成本比已有工艺的能成倍或多倍地降低。当然经济效益能成倍或多倍地提高。
权利要求
1.机加光电工艺属电真空技术。用来研制一系列电子束管所需的方孔靶网。光刻工艺制此类网是用照像法制底版，用晒象腐蚀法制网。玻璃模版溅钯电镀工艺制此类网是刻制方孔玻璃模版(模基)，在玻璃模版上溅钯电镀网。本发明的特征是用精密机械加工一个用两支一级精度的螺杆平行装成正方形框架；用手工将丝料绕进道道螺纹制成直线丝架；在细微粒干片上拷贝制成方孔底版；再拷贝电镀制网。
2.在权利要求
1所述的工艺中，用精密机床加工两支一级精度有一定道数螺纹和长度的不锈钢螺杆，平行装成正方形框架。
3.在权利要求
2所述工艺中，螺纹的道数根据网的线数来定;螺杆的长度根据网的面积来定;螺纹的深度使绕进的丝料有三分之一在螺纹外。
4.在权利要求
1所述工艺中，选择眼力好、细心、耐心、有事业心的人，在一定强而柔和的灯光下，固定稳丝料，用手工试验训练将丝绕进道道螺纹，制成直线丝架。如。
5.在权利要求
4所述工艺中，也可在放大镜或显微镜下用手工绕丝。
6.在权利要求
1所述工艺中，根据网线条的粗细和线数，用直线丝架在细微粒罗甸干片或超细微粒干片上拷贝，制成直线底版。制100～250线/CM的底片用细微粒罗干片。制250～500/CM的底片用超细微粒干片。
7.在权利要求
1所述工艺中，用直线阴图底版在干片上两次正交曝光拷贝制成方孔底版。
8.在权利要求
1所述工艺中，用螺纹的道数和在两次曝光时用平行移位模调正线间的距离，使线数倍增来控制和提高底版的线数。
9.在权利要求
1所述工艺中，细微粒罗甸干片的制取，基本工艺与湿片同，只有下述几点不同(1)红碘配方碘化鎘18.67克;碘化铵8.54克;溴化铵3.2克;蒸馏水33毫升;酒精1000毫升。(2)碘化棉胶的配方在100毫升1.5%的白罗甸中加6～8毫升红碘。(3)制成湿片后需在丹柠酸100克，柠檬配5克，蒸馏水1000毫升的增感液中浸3分钟，在空气中凉干。
10.在权利要求
1所述工艺中，拷贝电镀制网(1)拷贝与一般拷贝同，只以下溶液不同①显影和加厚溶3份由柠檬酸0.5克，对苯二酚10克和蒸馏水100毫升配成的溶液加1份1%的硝酸银液;②减薄溶3份25%硫代硫酸钠液，加1份25%铁氰化钾液，再加4份蒸馏水。(2)电镀拷贝出线条合格，导电性能好的网版，装好导电性能好的挂具，进行电镀。可用一般电镀，脉冲电镀和反向电镀。
11.在权利要求
10所述工艺中，根据网要求的金属，用同种金属的电镀液电镀。即铜质网用铜的电镀液，镍质网用镍的电镀液，……。
专利摘要
机加光电工艺属电真空工艺。需要解决直线丝架，拷贝制方孔底版和拷贝电镀制网的技术。工艺简短，是电子束管一系列方孔靶网的高质、快速、高效、低物质需要的大生产工艺。能制各种分子筛和各种仪器等的方孔网。有底版后可制各种形状复杂不规则的精密件，用脉冲和反向电镀能增加产品的强度和厚度。使感光胶抗FH，可制光栅和网目。
文档编号C25D1/00GK87103656SQ87103656
公开日1988年5月18日 申请日期1987年5月22日
发明者袁秉良 申请人:袁秉良导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan