专利名称：一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法
技术领域：
本发明涉及电容式触摸屏技术领域，具体为一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的
制作方法。
(二)
背景技术：
现有的电容式触摸屏结构包括(1)单面纳米铟锡金属氧化物(IT0)膜玻璃基板 上贴上另外一层IT0膜的结构、(2)双面ITO膜玻璃基板，这两种结构均需要通过其四边边 缘的IT0导线连通不在同一表面的IT0膜，为满足控制芯片的输入阻抗的限制，必须要降低 边缘设置的ITO导线的电阻值，现有的成熟做法是预先在玻璃基板的ITO膜区域丝印上保 护层后，将ITO导线上加上一层金属膜，现有的金属膜制作工艺在ITO玻璃基板的ITO导 线上溅射之后形成金属膜层，金属膜层上覆盖一层阻抗保护层，然后通过紫外线的露光照 射使之显象，再进行蚀刻，最后对阻抗保护层进行剥离。其金属膜处理工艺复杂，加工成本 高。
(三)
发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法，其 加工工艺简单、加工成本低。 其技术方案是这样的其包括中心带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基
板，其特征在于所述ITO导线表面所覆盖的金属膜通过镀金工艺制作而成，其镀金工艺步
骤依次为玻璃基板的脱脂、敏化、活化、通过无电解镀金将ITO导线镀上预处理金属膜、通
过电解镀金将ITO导线镀上金属膜。
其进一步特征在于 所述镀金工艺的步骤具体如下 (1)、脱脂玻璃基板在含硫化合物的中性脱脂液进行浸渍处理，温度15°C 2『C，时间5分钟；之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后，再 用纯氮气吹干； (2)、敏化用氨水将氯化锡、盐酸肼的混合液调整到PH3 PH5的碱性范围后，将 玻璃基板放入混合液中进行浸渍处理，温度15°C 28°C ，时间2分钟 4分钟；之后依次用 去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声清洗玻璃基板后，再用纯氮气吹干；
(3)、活化用氨水将氯化钯、盐酸的混合液调整到PH3 PH6的碱性范围后，将玻 璃基板放入混合液中进行浸渍处理，温度15t: 28t:，时间2分钟 4分钟；之后依次用去 离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗后，再用纯氮气吹干； (4)、无电解镀金将玻璃基板非电镀区域的IT0膜区域丝印上保护层后，将玻璃 基板放入含有酸性化学镀镍磷合金溶液进行浸渍处理，温度48°C 52°C，时间5分钟 10 分钟，使得IT0导线上形成厚度为1 y m 3 ii m的镍磷合金金属膜，镍磷合金金属膜中磷元 素的所占的质量百分数为2% 4%;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后，再用纯氮气吹干；然后将整个玻璃基板置于温度148°C 152t:的环境中进 行5小时 10小时的退火处理； (5)、电解镀金采用电镀镍金，预先把电镀区域的IT0导线全部接通，ITO导线一 端作为阴极，导通电流，电流密度为2A/dm2 5A/dm2， ITO导线另一端作为阳极，连接镍板， 导通电流直至ITO导线的金属膜的厚度到达40 ii m 100 ii m ;之后依次用去离子水、丙酮、 无水醇三种液体超声波清洗后，再用纯氮气吹干；然后将整个玻璃基板置于温度148°C 152t:的环境中进行23小时 25小时的退火处理。 采用本发明的方法，将所述ITO导线表面所覆盖的金属膜通过镀金工艺制作而成 后，其ITO导线的电阻值的效果和溅射金属膜工艺一样。由于其镀金工艺步骤依次为玻璃 基板的脱脂、敏化、活化、通过无电解镀金将电镀区域的ITO导线镀上预处理金属膜、通过 电解镀金将ITO导线镀上金属膜，其无需经过复杂的溅射、蚀刻工艺，其加工工艺简单、加 工成本低。
具体实施方式
具体实施例一 将带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板放入含硫化合物的中性脱脂液 进行浸渍脱脂处理，其温度15°C，时间5分钟，之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体 超声波清洗玻璃基板各30分钟后，再用纯氮气吹干； 将lg/L的氯化锡，0. 5g/L的盐酸肼的混合液，用氨水调整到PH3的碱性范围后，将 玻璃基板放入混合液进行浸渍处理，温度15°C，时间4分钟，之后依次用去离子水、丙酮、无 水醇三种液体超声清洗玻璃基板后，再用纯氮气吹干； 将0. lg/L的氯化钯，0. 3cc/L的盐酸的混合液，用氨水调整到PH3的碱性范围后， 将玻璃基板放入混合液进行浸渍处理，温度15°C，时间4分钟，之后依次用去离子水、丙酮、 无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板各30分钟后，再用纯氮气吹干； 将玻璃基板非电镀区域的ITO膜区域丝印上保护层后，将玻璃基板放入含有酸性 化学镀镍磷合金溶液进行浸渍处理，温度48°C，时间5分钟，使得ITO导线上形成厚度为 1 P m的镍磷合金金属膜，镍磷合金金属膜中磷元素的所占的质量百分数为2%;之后依次用 去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后，再用纯氮气吹干；然后将整个玻 璃基板置于温度14『C的环境中进行10小时的退火处理； 采用电镀镍金，预先把电镀区域的ITO导线全部接通，ITO导线靠近ITO膜的一端 为阴极，其导通电流，ITO导线靠近玻璃基板边缘的一端为阳极，其连接镍板，其阴、阳极面 积比等于l : 1.5，其电解液为金属离子为镍离子的电解液，导通电流，电解液温度为15t:， 其电流密度为2A/dm2，经过97. 5分钟后，ITO导线的金属膜的厚度到达40 y m(电流密度为 1A/dm2时其成膜速度为0. 205 ii m/分)，停止电离；之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种 液体超声波清洗后，再用纯氮气吹干；然后将整个玻璃基板置于温度14『C的环境中进行 25小时的退火处理。
具体实施例二 将带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板放入含硫化合物的中性脱脂液 进行浸渍脱脂处理，其温度28°C，时间5分钟，之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板各30分钟后，再用纯氮气吹干； 将lg/L的氯化锡，0. 5g/L的盐酸肼的混合液，用氨水调整到PH5的碱性范围后，将 玻璃基板放入混合液进行浸渍处理，温度28°C，时间2分钟，之后依次用去离子水、丙酮、无 水醇三种液体超声清洗玻璃基板后，再用纯氮气吹干； 将0. lg/L的氯化钯，0. 3cc/L的盐酸的混合液，用氨水调整到PH6的碱性范围后， 将玻璃基板放入混合液进行浸渍处理，温度28°C，时间2分钟，之后依次用去离子水、丙酮、 无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板各30分钟后，再用纯氮气吹干； 将玻璃基板非电镀区域的ITO膜区域丝印上保护层后，将玻璃基板放入含有酸性 化学镀镍磷合金溶液进行浸渍处理，温度52°C ，时间10分钟，使得ITO导线上形成厚度为 3 y m的镍磷合金金属膜，镍磷合金金属膜中磷元素的所占的质量百分数为4%;之后依次用 去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后，再用纯氮气吹干；然后将整个玻 璃基板置于温度152t:的环境中进行5小时的退火处理； 采用电镀镍金，预先把电镀区域的IT0导线全部接通，IT0导线靠近IT0膜的一端 为阴极，其导通电流，ITO导线靠近玻璃基板边缘的一端为阳极，其连接镍板，其阴、阳极面 积比等于l : 2，其电解液为金属离子为镍离子的电解液，导通电流，电解液温度为35t:，其 电流密度为5A/di^，经过97. 5分钟后，IT0导线的金属膜的厚度到达100iim(电流密度为 1A/dm2时其成膜速度为0. 205 ii m/分)，停止电离；之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种 液体超声波清洗后，再用纯氮气吹干；然后将整个玻璃基板置于温度152t:的环境中进行 23小时的退火处理。
具体实施例三 将带有IT0膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板放入含硫化合物的中性脱脂液 进行浸渍脱脂处理，其温度23°C，时间5分钟，之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体 超声波清洗玻璃基板各30分钟后，再用纯氮气吹干； 将lg/L的氯化锡，0. 5g/L的盐酸肼的混合液，用氨水调整到PH4的碱性范围后，将 玻璃基板放入混合液进行浸渍处理，温度23°C，时间3分钟，之后依次用去离子水、丙酮、无 水醇三种液体超声清洗玻璃基板后，再用纯氮气吹干； 将0. lg/L的氯化钯，0. 3cc/L的盐酸的混合液，用氨水调整到PH5的碱性范围后， 将玻璃基板放入混合液进行浸渍处理，温度23°C，时间3分钟，之后依次用去离子水、丙酮、 无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板各30分钟后，再用纯氮气吹干； 将玻璃基板非电镀区域的ITO膜区域丝印上保护层后，将玻璃基板放入含有酸性 化学镀镍磷合金溶液进行浸渍处理，温度50°C，时间8分钟，使得IT0导线上形成厚度为 2 y m的镍磷合金金属膜，镍磷合金金属膜中磷元素的所占的质量百分数为3% ;之后依次用 去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后，再用纯氮气吹干；然后将整个玻 璃基板置于温度15(TC的环境中进行7小时的退火处理； 采用电镀镍金，预先把电镀区域的IT0导线全部接通，IT0导线靠近玻璃基板边 缘的一端为阴极，其导通电流，IT0导线靠近IT0膜的一端为阳极，其连接镍板，其阴、阳极 面积比等于l : 1.75，其电解液为金属离子为镍离子的电解液，导通电流，电解液温度为 25t:，其电流密度为3A/di^，经过114分钟后，IT0导线的金属膜的厚度到达70iim(电流密 度为1A/dm2时其成膜速度为0. 205 ii m/分)，停止电离；之后依次用去离子水、丙酮、无水醇
5三种液体超声波清洗后，再用纯氮气吹干；然后将整个玻璃基板置于温度15(TC的环境中 进行24小时的退火处理。
权利要求
一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法，其包括中心带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板，其特征在于所述ITO导线表面所覆盖的金属膜通过镀金工艺制作而成，其镀金工艺步骤依次为玻璃基板的脱脂、敏化、活化、通过无电解镀金将ITO导线镀上预处理金属膜、通过电解镀金将ITO导线镀上金属膜。
2. 根据权利要求1所述一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法，其特征在于 所述镀金工艺的步骤具体如下(1) J兑脂玻璃基板在含硫化合物的中性脱脂液进行浸渍处理，温度15°C 2『C，时间5分钟；之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后，再用纯氮 气吹干；(2) 、敏化用氨水将氯化锡、盐酸肼的混合液调整到PH3 PH5的碱性范围后，将玻璃 基板放入混合液中进行浸渍处理，温度15°C 28°C ，时间2分钟 4分钟；之后依次用去离 子水、丙酮、无水醇三种液体超声清洗玻璃基板后，再用纯氮气吹干；(3) 、活化用氨水将氯化钯、盐酸的混合液调整到PH3 ra 6的碱性范围后，将玻璃基 板放入混合液中进行浸渍处理，温度15°C 28°C ，时间2分钟 4分钟；之后依次用去离子 水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗后，再用纯氮气吹干；(4) 、无电解镀金将玻璃基板非电镀区域的ITO膜区域丝印上保护层后，将玻璃基板 放入含有酸性化学镀镍磷合金溶液进行浸渍处理，温度48°C 52°C，时间5分钟 10分 钟，使得ITO导线上形成厚度为1 y m 3 i！ m的镍磷合金金属膜，镍磷合金金属膜中磷元素 的所占的质量百分数为2% 4%;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗 玻璃基板后，再用纯氮气吹干；然后将整个玻璃基板置于温度148°C 152t:的环境中进行 5小时 10小时的退火处理；(5) 、电解镀金采用电镀镍金，预先把电镀区域的IT0导线全部接通，IT0导线一端作 为阴极，导通电流，电流密度为2A/dm2 5A/dm2， IT0导线另一端作为阳极，连接镍板，导通 电流直至IT0导线的金属膜的厚度到达40 ii m 100 ii m ;之后依次用去离子水、丙酮、无水 醇三种液体超声波清洗后，再用纯氮气吹干；然后将整个玻璃基板置于温度148°C 152°C 的环境中进行23小时 25小时的退火处理。
全文摘要
本发明为一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法。其加工工艺简单、加工成本低。其包括中心带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板，其特征在于所述ITO导线表面所覆盖的金属膜通过镀金工艺制作而成，其镀金工艺步骤依次为玻璃基板的脱脂、敏化、活化、通过无电解镀金将ITO导线镀上预处理金属膜、通过电解镀金将ITO导线镀上金属膜。
文档编号C25D5/02GK101706703SQ200910310319
公开日2010年5月12日 申请日期2009年11月24日 优先权日2009年11月24日
发明者佐川文彦 申请人:无锡阿尔法电子科技有限公司