一种双面电泳架的制作方法
【专利摘要】本发明涉及双面GPP保护晶体管芯片生产设备，具体是一种改造后的电泳用双面电泳架。双面电泳架包括横梁、负极板、正极环、托板、定位板、插槽和侧板，其中横梁的两端水平固定在两侧板的上部内侧，两定位板分别固定在两侧板的上部外侧，用于与电泳设备电源连接的插槽固定在其中的一个侧板的上端，托板的两端水平固定在两侧板的下部内侧，数个负极板和正极环依次交替固定在托板上。使用双面电泳架，硅片两面同时电泳一致性好，避免两次单面电泳造成的硅片两面玻璃层厚度不一致的问题，两面同时电泳不易损坏，由此提高了产品良率及可靠性。
【专利说明】一种双面电泳架
【技术领域】
[0001]本发明涉及双面GPP保护晶体管芯片生产设备，具体是一种改造后的电泳用双面电泳架。
【背景技术】
[0002]目前，半导体行业内生产双面GPP保护晶体管(二极管、放电管等)芯片两面都需要进行玻璃钝化保护，双面电泳工艺通常采用先电泳一面，再电泳另一面的工艺。现有技术存在问题:1、两次电泳造成两面的玻璃层厚度不一致，2、在第二次电泳后，发现第一次电泳面外围的部分区域玻璃脱落，产生参数不良、良率低及可靠性差等问题。
【发明内容】
[0003]本发明的目的就是为克服现有技术的不足，提供一种双面电泳架。通过使用重新设计的双面电泳架进行双面一次电泳工艺，可以提高产品的良率及可靠性。
[0004]本发明采取的技术方案是:一种双面电泳架，其特征在于:包括横梁、负极板、正极环、托板、定位板、插槽和侧板，其中横梁的两端水平固定在两侧板的上部内侧，两定位板分别固定在两侧板的上部外侧，用于与电泳设备电源连接的插槽固定在其中的一个侧板的上端，托板的两端水平固定在两侧板的下部内侧，数个负极板和正极环依次交替固定在托板上。
[0005]本发明所产生的有益效果是:使用双面电泳架，硅片两面同时电泳一致性好，避免两次单面电泳造成的硅片两面玻璃层厚度不一致的问题，两面同时电泳不易损坏，由此提高了产品良率及可靠性。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1是本发明整体结构示意图；
图2是图1中正极环结构侧视局部放大图；
图3是图1中负极板结构平面示意图；
图4是侧托板结构局部放大示意图；
图5是中托板结构局部放大意图；
图6是两侧侧托板和中托板相对位置局部放大不意图。
【具体实施方式】
[0007]以下结合附图和实施例对本发明作进一步说明:
参照图1，一种双面电泳架包括横梁1、负极板2、正极环3、托板4、定位板5、插槽6和侧板7，其中横梁I的两端水平固定在两侧板7的上部内侧，两定位板5分别固定在两侧板7的上部外侧，用于与电泳设备电源连接的插槽6固定在其中的一个侧板7的上端，托板4的两端水平固定在两侧板7的下部内侧，数个负极板2和正极环3依次交替固定在托板4上。
[0008]参照图2和图3，固定在托板4上的负极板2包括加工为一体的负极板体2A和导线连接头2B ;固定在托板4上的正极环3包括加工为一体的外环3A和内环3B。
[0009]参照图4、图5和图6，本实施例的托板4为分体结构，包括两侧的侧托板4A和中托板4B，两侧的侧托板4A上分别依次交替设有数个负极板槽4A1和正极环槽4A2，同时在两侧的侧托板4A两端的侧面设有安装孔4A3，中托板4B上依次交替对应设有数个负极板槽4B1和Y型触点4B2，同时在中托板4B —端的侧面设有导线槽4B3，在中托板4B两端的侧面设有安装孔4B4，中托板4B的两端水平固定在两侧板7的下部内侧，两侧的侧托板4A对称位于中托板4B左右上方，且向内侧倾斜并留有间距，分别固定在两侧板7的下部内侧，即两侧的侧托板4A和中托板4B组成弧形。
[0010]参照图4和图6，两侧的侧托板4A上的正极环槽4A2设于加固和加高部分,加固和加高部分的高度为2±0.3mm,宽度为10±0.3mm。因为正极环反复插拔，因此对正极环槽进行加高加固。
[0011]本实施例设计尺寸:以4英寸硅片使用双面电泳架的设计为例:中托板4B与两侧托板4A间距为40±0.3mm，两侧托板4A向内侧倾斜角度为45±2° ,负极板体2A圆形部分直径为105±0.3mm，厚度为1±0.05臟，导线接线头2B宽度为15±0.3mm，长度为±0.3mm,负极板槽4A1宽度为1.1 ±0.05mm mm,正极环槽4A2宽度为2.1 ±0.05mm,外环外圆直径为105±0.3mm,环宽(即外表面半径与内表面半径之差)为2±0.05mm,厚度为1±0.05mm,内环内圆直径为98 ± 0.3mm，厚度为0.8±0.05臟，负极板2与正极环3的间距为30 ± 5mm。
[0012]双面电泳架根据被加工硅片的尺寸进行设计，其中正极环的内环外侧的圆直径比硅片直径略大，内侧的圆的直径比硅片直径略小，内环与外环的厚度差小于硅片厚度，保证硅片与正极环接触良好，同时保护硅片，负极板外径与正极环外径相等。托板4结构尺寸则根据负极板和正极环的尺寸进行设计。
[0013]本发明的设计原理及装配关系如下:固定在一侧侧板7上端的插槽6与电泳设备的插头匹配，两侧侧板7与横梁1、定位板5用螺丝连接，电泳设备上的定位柱插入定位板上的孔，使电泳架与电泳设备的位置固定。托板4由两侧托板4A和中托板4B共三块托板组成，三块托板组成弧形，并通过两侧托板4A上的安装孔4A3和中托板4B上的安装孔4B4与侧板7使用螺丝连接，负极板2插入三块托板(两侧托板4A和中托板4B)构成的弧形的负极板槽中，负极板2的导线连接头2B穿过中托板4B的负极板槽4B1，在中托板4B下通过导线与插槽6相连。在进行双面电泳时，将需要电泳的硅片放在正极环3的外环3A和内环3B中间，然后插入两侧托板4A的正极环槽4A2中，同时保证与中托板4B上的Y型触点4B2良好接触，将电泳架放入电泳液进行电泳，电泳设备插头与插槽6连接，通电后，因为硅片与正极环3接触，硅片与正极环3同时带正电，相邻两侧负极板带负电，可以使电泳液在电场的作用下向硅片运动，沉积在沟槽上，形成玻璃层。
[0014]本发明的负极板、正极环及定位板材质为不锈钢、其它结构件材料为四氟乙烯。
[0015]以上4英寸硅片双面一次电泳后的实测数据见下表(玻璃层厚度规范值:20±3um):
【权利要求】
1.一种双面电泳架，其特征在于:包括横梁(I)、负极板(2)、正极环(3)、托板(4)、定位板(5)、插槽(6)和侧板(7)，其中横梁(I)的两端水平固定在两侧板(7)的上部内侧，两定位板(5)分别固定在两侧板(7)的上部外侧，用于与电泳设备电源连接的插槽(6)固定在其中的一个侧板(7)的上端，托板(4)的两端水平固定在两侧板(7)的下部内侧，数个负极板(2 )和正极环(3 )依次交替固定在托板(4 )上。
2.根据权利要求1所述的一种双面电泳架，其特征在于:所述固定在托板(4)上的负极板(2)包括加工为一体的负极板体(2A)和导线连接头(2B);所述固定在托板(4)上的正极环(3)包括加工为一体的外环(3A)和内环(3B)。
3.根据权利要求2所述的一种双面电泳架，其特征在于:所述的托板(4)为分体结构，包括两侧的侧托板(4A)和中托板(4B)，两侧的侧托板(4A)上分别依次交替设有数个负极板槽(4A1)和正极环槽(4A2)，同时在两侧的侧托板(4A)两端的侧面设有安装孔(4A3)，中托板(4B)上依次交替对应设有数个负极板槽(4B1)和Y型触点(4B2)，同时在中托板(4B)一端的侧面设有导线槽(4B3)，在中托板(4B)两端的侧面设有安装孔(4B4)，中托板(4B)的两端水平固定在两侧板(7)的下部内侧，两侧的侧托板(4A)对称位于中托板(4B)左右上方，且向内侧倾斜并留有间距，分别固定在两侧板(7)的下部内侧，即两侧的侧托板(4A)和中托板(4B)组成弧形。
4.根据权利要求3所述的一种双面电泳架，其特征在于:所述的两侧的侧托板(4A)上的正极环槽(4A2)设于加固和加高部分，加固和加高部分的高度为2±0.3mm,宽度为10±0. 3mm。
【文档编号】C25D13/16GK104178793SQ201410426889
【公开日】2014年12月3日 申请日期:2014年8月27日 优先权日:2014年8月27日
【发明者】薄勇, 杨玉聪, 刘玉涛, 安毅力, 王晓捧 申请人:天津中环半导体股份有限公司