一种实现倾斜电镀的电镀槽体的制作方法

1.本发明涉及一种电镀槽体，尤其涉及一种实现倾斜电镀的电镀槽体。


背景技术：

2.针对太阳能电池的制备方法，传统的丝网印刷银浆方式已经被电镀镍铜等金属电极的方式所取代，从而大大降低了电极的制造成本。
3.目前电镀设备主要有两种，一种是链式电镀设备，一种是槽式挂镀设备。链式电镀设备的原理是硅片在阴极滚轮上通过，下表面接触阳极电镀液完成电镀，这种方式的缺陷在于只能实现单面电镀，效率较低，且金属容易反镀到阴极滚轮上，对电镀的质量也有影响。槽式挂镀设备的原理是将装有硅片的夹具放到阳极电镀液内，夹具与阴极接通完成电镀，这种方式的缺陷在于现有的夹具均未硬着力，为了防止硅片脱离夹具，夹具的夹紧力会比较大，容易损伤硅片，碎片率较高。


技术实现要素：

4.本发明的目的是克服现有的缺陷，提供一种实现倾斜电镀的电镀槽体，解决目前电镀过程中存在效率低、电镀质量差、碎片率高的问题。
5.为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：
6.一种实现倾斜电镀的电镀槽体，包括槽体，所述槽体内沿夹具移动方向并排间隔设置有若干夹具输送单元，每个所述夹具输送单元包括平行的底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致，所述侧面移动支撑组件位于所述底部移动支撑组件的斜上方；所述槽体上方设置有夹具推动装置，所述夹具推动装置与设备阴极接通，所述槽体内设置有阳极板。
7.进一步地，每个所述夹具输送单元的输送终点前方对应的所述槽体的槽壁上开设有槽壁缺口。
8.进一步地，所述底部移动支撑组件为第一滚轮组或滑动轨道槽。
9.进一步地，所述侧面移动支撑组件为第二滚轮组或滑动挡杆。
10.进一步地，所述夹具推动装置包括两个支撑架，两个所述支撑架分别设置在所述槽体外在其夹具移动方向的两侧，每个所述支撑架朝向所述槽体的一侧设置有同步输送装置，两个所述同步输送装置上共同架设有一个阴极主杆，所述阴极主杆的下端连接有若干阴极推杆，每个所述阴极推杆向下延伸至所述槽体内且与一个所述夹具输送单元对应。
11.进一步地，所述同步输送装置为同步带，所述阴极主杆的两端分别固定在对应侧的同步带上。
12.进一步地，所述阳极板设置有若干个且两两一组，每组所述阳极板设置在所述夹具输送单元输送方向的两侧，每个所述阳极板的端部通过接线与设备阳极接通。
13.进一步地，每个所述夹具输送单元输送方向的两侧设置有循环喷管，所述循环喷管与设备循环泵连接。
14.进一步地，相邻所述夹具输送单元之间设置有中间隔板。
15.本发明一种实现倾斜电镀的电镀槽体，利用槽体内设置的夹具输送单元使装有硅片的夹具在电镀液内通过电镀槽体，实现双面电镀，提高电镀效率，阴极与电镀液接触少，反镀情况得到明显改善，输送过程中夹具处于倾斜状态，夹具压板和硅片的重力能够帮助稳定硅片的位置，从而降低硅片对于夹具夹紧力的需求，降低碎片率。
附图说明
16.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
17.图1是本发明的结构示意图；
18.图2是图1中a处的放大示意图。
具体实施方式
19.以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
20.如图1、2所示，一种实现倾斜电镀的电镀槽体，包括槽体1，槽体1内沿夹具移动方向并排间隔设置有四个夹具输送单元，每个夹具输送单元包括平行的底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致，侧面移动支撑组件位于底部移动支撑组件的斜上方；槽体1上方设置有夹具推动装置，夹具推动装置与设备阴极接通，槽体1内设置有阳极板2。
21.夹具推动装置包括两个支撑架3，两个支撑架3分别设置在槽体1外在其夹具移动方向的两侧，每个支撑架3朝向槽体1的一侧设置有同步带4，两个同步带4上共同架设有一个阴极主杆5，阴极主杆5的两端分别固定在对应侧的同步带4上，阴极主杆5的下端连接有四个阴极推杆6，每个阴极推杆6向下延伸至槽体1内且与一个夹具输送单元对应。
22.工作原理：
23.利用机械手等机构将装有硅片的夹具b放到电镀槽体内，每个夹具对应放到一个夹具输送单元内，夹具底部落在底部移动支撑组件上，夹具侧面靠在侧面移动支撑组件上，同步带运转带动阴极推杆水平移动，阴极推杆下端与夹具上端的侧面接触并推动夹具在两个支撑组件上移动，在夹具的移动过程中，硅片的电镀工艺正常进行(电镀工艺属于现有技术，在此不予赘述，槽体内涉及电镀工艺的必要部件均具备)，移动到槽体另一端时，电镀工艺也已完成，通过机械手等机构将其转移至下一道工序。
24.每个夹具输送单元的输送终点前方对应的槽体1的槽壁上开设有槽壁缺口7。为了整个电镀工艺的连续作业，在槽壁开设缺口，完成电镀后的硅片直接从缺口运到下一个工艺槽体进行下一道工序，无需机械手的转移，提高生产效率。
25.底部移动支撑组件为第一滚轮组8，做好夹具移动过程中的底部支撑，也可以根据需要设置为滑动轨道槽等实现夹具自由移动的支撑结构。
26.侧面移动支撑组件为滑动挡杆9，做好夹具移动过程中的侧面支撑，同一夹具输送单元内设置有两根，也可以根据需要设置为第二滚轮组等实现夹具自由移动的支撑结构。
27.阳极板2设置有八个且两两一组，每组阳极板2设置在夹具输送单元输送方向的两
侧，每个阳极板2的端部通过接线10与设备阳极接通。这种结构能够缩短阳极板与夹具之间的距离，提高阳极板的作用效率。
28.每个夹具输送单元输送方向的两侧设置有循环喷管11，循环喷管11与设备循环泵连接。循环喷管用于将药液注入到槽体内部，这种结构能够提高阳极板和夹具之间的药水交换量，从而提高电镀效率。
29.相邻夹具输送单元之间设置有中间隔板12，能够加强槽体的整体强度，保证多通道电镀作业的稳定，防止槽体变形。
30.本发明一种实现倾斜电镀的电镀槽体，利用槽体内设置的夹具输送单元使装有硅片的夹具在电镀液内通过电镀槽体，实现双面电镀，提高电镀效率，阴极与电镀液接触少，反镀情况得到明显改善，输送过程中夹具处于倾斜状态，夹具压板和硅片的重力能够帮助稳定硅片的位置，从而降低硅片对于夹具夹紧力的需求，降低碎片率。
31.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。


技术特征：
1.一种实现倾斜电镀的电镀槽体，其特征在于：包括槽体，所述槽体内沿夹具移动方向并排间隔设置有若干夹具输送单元，每个所述夹具输送单元包括平行的底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致，所述侧面移动支撑组件位于所述底部移动支撑组件的斜上方；所述槽体上方设置有夹具推动装置，所述夹具推动装置与设备阴极接通，所述槽体内设置有阳极板。2.根据权利要求1所述的一种实现倾斜电镀的电镀槽体，其特征在于：每个所述夹具输送单元的输送终点前方对应的所述槽体的槽壁上开设有槽壁缺口。3.根据权利要求1所述的一种实现倾斜电镀的电镀槽体，其特征在于：所述底部移动支撑组件为第一滚轮组或滑动轨道槽。4.根据权利要求1所述的一种实现倾斜电镀的电镀槽体，其特征在于：所述侧面移动支撑组件为第二滚轮组或滑动挡杆。5.根据权利要求1所述的一种实现倾斜电镀的电镀槽体，其特征在于：所述夹具推动装置包括两个支撑架，两个所述支撑架分别设置在所述槽体外在其夹具移动方向的两侧，每个所述支撑架朝向所述槽体的一侧设置有同步输送装置，两个所述同步输送装置上共同架设有一个阴极主杆，所述阴极主杆的下端连接有若干阴极推杆，每个所述阴极推杆向下延伸至所述槽体内且与一个所述夹具输送单元对应。6.根据权利要求5所述的一种实现倾斜电镀的电镀槽体，其特征在于：所述同步输送装置为同步带，所述阴极主杆的两端分别固定在对应侧的同步带上。7.根据权利要求1所述的一种实现倾斜电镀的电镀槽体，其特征在于：所述阳极板设置有若干个且两两一组，每组所述阳极板设置在所述夹具输送单元输送方向的两侧，每个所述阳极板的端部通过接线与设备阳极接通。8.根据权利要求1所述的一种实现倾斜电镀的电镀槽体，其特征在于：每个所述夹具输送单元输送方向的两侧设置有循环喷管，所述循环喷管与设备循环泵连接。9.根据权利要求1所述的一种实现倾斜电镀的电镀槽体，其特征在于：相邻所述夹具输送单元之间设置有中间隔板。

技术总结
本发明提供了一种实现倾斜电镀的电镀槽体，包括槽体，槽体内沿夹具移动方向并排间隔设置有夹具输送单元，每个夹具输送单元包括底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致，侧面移动支撑组件位于底部移动支撑组件的斜上方；槽体上方设置有夹具推动装置，夹具推动装置与设备阴极接通，槽体内设置有阳极板。本发明提供的实现倾斜电镀的电镀槽体，利用槽体内设置的夹具输送单元使装有硅片的夹具在电镀液内通过电镀槽体，实现双面电镀，提高电镀效率，阴极与电镀液接触少，反镀情况明显改善，输送过程中夹具处于倾斜状态，夹具压板和硅片的重力能够帮助稳定硅片的位置，降低硅片对于夹具夹紧力的需求，降低碎片率。片率。片率。


技术研发人员：王落军 张三洋 温旭军 陶俊
受保护的技术使用者：无锡琨圣智能装备股份有限公司
技术研发日：2022.09.06
技术公布日：2022/12/1