电沉积设备和电沉积方法与流程

本申请涉及显示，具体涉及一种电沉积设备和电沉积方法。

背景技术：

1、纳米材料，是指其结构单元的尺寸介于1纳米至100纳米范围之间。由于纳米材料的尺寸已经接近电子的相干长度，纳米材料的性质因为强相干所带来的自组织使得性质发生很大变化。并且，纳米材料的尺度已接近光的波长，具有体积效应、表面效应、量子尺寸效应和宏观量子隧道效应等，因此纳米材料在熔点、磁性、光学、导热、导电特性等方面具有独特的性质，故纳米材料在很多领域都有重要的应用价值。

2、量子点(quantum dots，qd)是一类典型的纳米材料，其具备小尺寸、高的能量转换效率等特点，在照明、显示技术、太阳能电池、光开关、传感及检测等领域都有十分重要的应用前景。并且qd还具有高亮度、窄发射、发光颜色可调、稳定好等特性，很符合显示技术领域超薄、高亮、高色域、高色饱的发展趋势，因此在近年来成为了最具潜力的显示技术新材料。

3、其中，qd等纳米材料的图案化技术的开发对于其在led、显示技术、太阳能电池、光开关、传感及检测等领域的应用都具有重要价值。目前qd图案化的技术主要有光刻法和喷墨打印法，然而二者分别面临着发光效率低，稳定性差和重复性差，加工时间长等问题。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种电沉积设备，以解决上述背景技术中存在的技术问题。

2、在一方面，为了解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种电沉积设备，包括：贴合机构、点胶平台、进液装置、加电装置、控制模块；

3、所述点胶平台包括第一表面，所述点胶平台用于将第一电极基板固定于所述第一表面；

4、所述贴合机构包括与所述第一表面相对设置的第二表面，所述贴合机构用于将第二电极基板固定于所述第二表面；

5、所述控制模块分别与所述贴合机构、所述进液装置、所述加电装置电连接，用于控制所述贴合机构移动，以使所述第一表面和所述第二表面之间形成均匀的间隙；

6、所述控制模块还用于控制所述进液装置将预设的纳米粒子溶液注入所述间隙中，并控制所述加电装置向所述第一电极基板和所述第二电极基板施加电压，以对所述第一电极基板和/或所述第二电极基板进行电沉积处理；所述纳米粒子溶液包括带有电荷的纳米粒子。

7、在本发明实施例中，所述贴合机构还包括x轴移动滑轨、y轴移动滑轨，以及z轴移动滑轨，所述x轴移动滑轨和所述y轴移动滑轨为相互垂直、且均平行于水平面的移动滑轨，所述z轴移动滑轨为垂直于水平面的移动滑轨；

8、所述x轴移动滑轨、所述y轴移动滑轨、所述z轴移动滑轨，分别用于供所述贴合机构沿所述x轴、y轴和z轴方向移动。

9、在本发明实施例中，所述第一表面和所述第二表面分别设有若干个微孔；

10、所述第一表面上的所述微孔用于通过真空吸附的方式固定所述第一电极基板，所述第二表面上的所述微孔用于通过真空吸附的方式固定所述第二电极基板。

11、在本发明实施例中，所述第一表面和所述第二表面分别设有凸起的加电探针；

12、所述第一表面上的所述加电探针用于与所述第二电极基板电连接，并为所述第二电极基板供电；

13、所述第二表面上的所述加电探针用于与所述第一电极基板电连接，并为所述第一电极基板供电。

14、在本发明实施例中，所述加电探针为可伸缩式探针。

15、在本发明实施例中，所述加电探针为可移动式探针。

16、在本发明实施例中，所述电沉积设备还包括：清理装置以及气体收集装置；

17、所述清理装置用于对所述电沉积处理后的所述第一电极基板和/或所述第二电极基板进行清洗，以去除未沉积的杂质，并对清洗后的所述第一电极基板和/或所述第二电极基板进行加热处理，以使所述第一电极基板和/或所述第二电极基板上存在的溶液挥发；

18、所述气体收集装置用于收集挥发的气体。

19、在本发明实施例中，所述贴合机构还包括微分头；

20、所述微分头用于对所述第二表面进行水平调整。

21、在另一方面，为了解决上述技术问题，本申请实施例还提供了一种电沉积方法，包括以下步骤：

22、将第一电极基板和第二电极基板分别固定于相对设置的第一表面和第二表面；

23、移动所述第一表面，以使所述第一表面和所述第二表面之间形成均匀的间隙；

24、将纳米粒子溶液注入所述间隙中，所述纳米粒子溶液包括带有电荷的纳米粒子；

25、向所述第一电极基板和所述第二电极基板施加电压，以对所述第一电极基板和/或所述第二电极基板进行电沉积处理。

26、在本发明实施例中，所述纳米粒子溶液包括带正电荷和/或负电荷的纳米粒子，所述向所述第一电极基板和所述第二电极基板施加电压，以对所述第一电极基板和/或所述第二电极基板进行电沉积处理，包括：

27、向所述第一电极基板和所述第二电极基板施加电压，以在所述第一电极基板和所述第二电极基板之间形成电场，使所述纳米粒子基于所述电场的电场力的作用，在所述第一电极基板和/或所述第二电极基板上形成纳米粒子薄膜。

28、本申请实施例提供了一种电沉积设备和电沉积方法，通过控制模块控制贴合机构移动，以使点胶平台的第一表面和贴合机构的第二表面之间形成均匀的间隙，并控制进液装置将预设的纳米粒子溶液注入间隙中，以及控制加电装置向固定于第一表面的第一电极基板和固定于第二表面的第二电极基板施加电压，以对第一电极基板和/或第二电极基板进行电沉积处理，实现纳米粒子的电沉积图案化加工，从而能够高效、快速地得到高品质的图案化加工纳米粒子薄膜。

技术特征：

1.一种电沉积设备，其特征在于，包括：贴合机构、点胶平台、进液装置、加电装置、控制模块；

2.根据权利要求1所述的电沉积设备，其特征在于，所述贴合机构还包括x轴移动滑轨、y轴移动滑轨，以及z轴移动滑轨，所述x轴移动滑轨和所述y轴移动滑轨为相互垂直、且均平行于水平面的移动滑轨，所述z轴移动滑轨为垂直于水平面的移动滑轨；

3.根据权利要求1所述的电沉积设备，其特征在于，所述第一表面和所述第二表面分别设有若干个微孔；

4.根据权利要求1所述的电沉积设备，其特征在于，所述第一表面和所述第二表面分别设有凸起的加电探针；

5.根据权利要求4所述的电沉积设备，其特征在于，所述加电探针为可伸缩式探针。

6.根据权利要求4所述的电沉积设备，其特征在于，所述加电探针为可移动式探针。

7.根据权利要求1所述的电沉积设备，其特征在于，所述电沉积设备还包括：清理装置以及气体收集装置；

8.根据权利要求1所述的电沉积设备，其特征在于，所述贴合机构还包括微分头；

9.一种电沉积方法，其特征在于，包括以下步骤：

10.根据权利要求9所述的电沉积方法，其特征在于，所述纳米粒子溶液包括带正电荷和/或负电荷的纳米粒子，所述向所述第一电极基板和所述第二电极基板施加电压，以对所述第一电极基板和/或所述第二电极基板进行电沉积处理，包括：

技术总结
本申请实施例公开了一种电沉积设备，包括贴合机构、点胶平台、进液装置、加电装置、控制模块，点胶平台包括第一表面，点胶平台用于将第一电极基板固定于第一表面，贴合机构包括与第一表面相对设置的第二表面，贴合机构用于将第二电极基板固定于第二表面，控制模块用于控制贴合机构移动，以使第一表面和第二表面之间形成均匀的间隙，并控制进液装置将预设的纳米粒子溶液注入间隙中，以及控制加电装置向第一电极基板和第二电极基板施加电压，以对第一电极基板和/或第二电极基板进行电沉积处理，实现纳米粒子的电沉积图案化加工，从而能够高效、快速地得到高品质的图案化加工纳米粒子薄膜。

技术研发人员：赵金阳
受保护的技术使用者：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1