一种电镀金刚线硬质颗粒分散装置及其分散方法与流程

本发明涉及一种电镀金刚线的加工设备以及加工方法，尤其涉及一种电镀金刚线硬质颗粒分散装置及其分散方法。

背景技术：

1、在金刚线制造过程中，电镀金刚线是通过电镀工艺将高硬度高耐磨性的硬质颗粒牢固地固结于金属基线表面的一种工艺，而在该工艺中，硬质颗粒分布的均匀性将直接影响到硅片的表面质量，由于硬质颗粒的制备工艺，导致颗粒之间其表面电荷并不均匀，使得硬质颗粒容易团聚、流动性较差，导致在电镀工艺中硬质颗粒团聚异常的的问题难以得到有效的缓解，从而会导致硅片warp、ttv等异常率较高，且存在良品率无法进一步提升的问题。

2、现有的方法中大多数通过化学试剂对硬质颗粒表面进行化学改性，并加入分散剂提高颗粒间的分散效果，防止粘黏；但是在使用化学试剂进行改性，改性效率低下，且存在化学废液的情况，成本高且不环保。

技术实现思路

1、发明目的：本发明目的是提供一种电镀金刚线硬质颗粒分散效果好且环保的分散装置；本发明的另一目的是提供一种电镀金刚线硬质颗粒分散效果好且环保的分散方法。

2、技术方案：本发明所述的一种电镀金刚线硬质颗粒分散装置，包括筛分装置以及安装在筛分装置下端的第一容器，所述第一容器一侧连接有等离子气产生装置，第一容器下方连接有送料装置且送料装置另一端连接有第二容器，所述第二容器一侧连接有负离子气产生装置，第二容器下方设有收料装置。

3、进一步地，所述等离子气产生装置包括连通的第一惰性气体瓶与dbd等离子放电器，且第一容器与dbd等离子放电器连通。

4、进一步地，所述负离子气产生装置包括连通的第二惰性气体瓶和负离子放电器，并且第二容器与负离子放电器连通。

5、进一步地，所述第一惰性气体瓶与dbd等离子放电器之间、第一容器与dbd等离子放电器之间、第二惰性气体瓶和负离子放电器之间以及第二容器与负离子放电器之间均连接有气管。

6、一种使用上述分散装置的分散方法，包括如下步骤：

7、s1、超声清洗，使用乙醇为清洗剂，对硬质颗粒超声清洗后，再风干；

8、s2、等离子气处理，将超声清洗后的硬质颗粒放入筛分装置，然后打开等离子气产生装置，对第一容器内注入等离子气，注满后打开筛分装置，在第一容器内放入硬质颗粒进行表面电荷处理；

9、s3、负离子气处理，将上述等离子气处理后的硬质颗粒放入送料装置，然后打开负离子气产生装置，对第二容器内注入负离子气充气，注满后打开送料装置，在第二容器内放入离子气处理后的硬质颗粒进行表面电荷处理；

10、s4、收集，经过负离子气处理后的硬质颗粒，从第二容器放入到收料装置内。

11、进一步地，步骤s1中所述硬质颗粒为金刚石或碳化硅。

12、进一步地，步骤s1中所述硬质颗粒，粒径为2-10μm，表面电势为﹣1至﹢5mv。

13、进一步地，步骤s2中等离子气产生装置出气气压为0.15-0.2mpa。

14、进一步地，步骤s3中负等离子气产生装置出气气压为0.1-0.15mpa。

15、进一步地，步骤s2中等离子气处理硬质颗粒时间为10-30s；步骤s3中负等离子气处理硬质颗粒时间为5-20s。

16、有益效果：和现有技术相比，本发明具有以下显著的优点：

17、1、本发明的装置机械自动化较高，简单易操作，可控性强，不容易出现品控问题，并且处理量大，效率高，没有废液排放，更环保。

18、2、本发明的分散方法有效解决电镀金刚线硬质颗粒团聚、流动性差的问题，经分散处理后的硬质颗粒制成的成品表面颗粒分布较为均匀，消除了颗粒团聚的现象。

技术特征：

1.一种电镀金刚线硬质颗粒分散装置，其特征在于，包括筛分装置(4)以及安装在筛分装置(4)下端的第一容器(5)，所述第一容器(5)一侧连接有等离子气产生装置，第一容器(5)下方连接有送料装置(6)且送料装置(6)另一端连接有第二容器(9)，所述第二容器(9)一侧连接有负离子气产生装置，第二容器(9)下方设有收料装置(10)。

2.根据权利要求1所述的分散装置，其特征在于，所述等离子气产生装置包括连通的第一惰性气体瓶(1)与dbd等离子放电器(2)，且第一容器(5)与dbd等离子放电器(2)连通。

3.根据权利要求2所述的分散装置，其特征在于，所述负离子气产生装置包括连通的第二惰性气体瓶(8)和负离子放电器(7)，并且第二容器(9)与负离子放电器(7)连通。

4.根据权利要求3所述的分散装置，其特征在于，所述第一惰性气体瓶(1)与dbd等离子放电器(2)之间、第一容器(5)与dbd等离子放电器(2)之间、第二惰性气体瓶(8)和负离子放电器(7)之间以及第二容器(9)与负离子放电器(7)之间均连接有气管(3)。

5.一种使用权利要求1-4任一项所述分散装置的分散方法，其特征在于，包括如下步骤：

6.根据权利要求5所述的分散方法，其特征在于，步骤s1中所述硬质颗粒为金刚石或碳化硅。

7.根据权利要求5所述的分散方法，其特征在于，步骤s1中所述硬质颗粒，粒径为2-10μm，表面电势为﹣1至﹢5mv。

8.根据权利要求5所述的分散方法，其特征在于，步骤s2中等离子气产生装置出气气压为0.15-0.2mpa。

9.根据权利要求5所述的分散方法，其特征在于，步骤s3中负等离子气产生装置出气气压为0.1-0.15mpa。

10.根据权利要求5所述的分散方法，其特征在于，步骤s2中等离子气处理硬质颗粒时间为10-30s；步骤s3中负等离子气处理硬质颗粒时间为5-20s。

技术总结
本发明公开了一种电镀金刚线硬质颗粒分散装置，包括筛分装置以及安装在筛分装置下端的第一容器，所述第一容器一侧连接有等离子气产生装置，第一容器下方连接有送料装置且送料装置另一端连接有第二容器，所述第二容器一侧连接有负离子气产生装置，第二容器下方设有收料装置；还公开了使用上述分散装置的分散方法；此方法解决电镀金刚线硬质颗粒团聚、流动性差的问题，经分散处理后的硬质颗粒制成的成品表面颗粒分布较为均匀，消除了颗粒团聚的现象；处理工艺机械自动化较高，简单易操作，可控性强，不容易出现品控问题，并且处理量大，效率高，没有废液排放，更环保。

技术研发人员：李易凌,李玉伟,杜路鹏,王彦龙,姜海,周坤,卞林芝,沈婷
受保护的技术使用者：镇江原轼新型材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14