光伏电池水平电镀装置的制作方法

本技术涉及半导体器件，尤其涉及一种光伏电池水平电镀装置。

背景技术：

1、目前，在光伏电池生产制造工艺中，通常采用水平电镀的方式在硅片表面电镀金属栅线。电镀的过程主要分为两个阶段：第一个阶段电镀高度2μm，简称打底过程，第二个阶段电镀高度8μm，简称增高过程。

2、现有技术中的水平电镀设备的打底过程和增高过程时间均较长，通常传统技术是通过增强电镀电流，以达到提高电镀效率，缩短电镀时间的目的。但是，由于电池片pvd(physical vapor deposition，物理气相沉积)的膜层厚度仅有100纳米左右，因此在提高电镀电流的同时，容易导致电池片pvd膜层被击穿，从而降低产品良率，增加成本。

3、因此，亟需设计一种光伏电池水平电镀装置，来解决以上技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种光伏电池水平电镀装置，提高电镀效率，节约电镀时间，提升产品良率，达到节约成本的目的。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、本实用新型提供一种光伏电池水平电镀装置，包括：

4、电解槽，所述电解槽内盛放有电解液；

5、导电辊，所述导电辊设置在所述电解槽内并浸没在所述电解液中，所述导电辊的外周侧设置有导电部，所述导电部包括阳极消铜区域和阴极电镀区域，所述阳极消铜区域的外侧设置有阳极组件，所述阳极组件通过所述阳极消铜区域内的所述导电部与电源正极电连接；

6、所述阳极组件和所述导电辊均设置为多个，沿电池片的传输方向，每一个所述导电辊的两侧分别配置一个所述阳极组件，且多个所述阳极组件的高度均低于所述导电辊的顶端，以使所述阳极组件位于相邻两个所述导电辊之间；

7、所述阴极电镀区域的外侧设置有用于放置电池片的阴极区，所述电池片通过所述阴极电镀区域内的所述导电部与电源负极电连接。

8、作为一种光伏电池水平电镀装置的可选技术方案，所述导电辊设置为至少一排，当所述导电辊设置为两排时，所述电池片位于两排所述导电辊之间，且两排所述导电辊错位设置。

9、作为一种光伏电池水平电镀装置的可选技术方案，所述光伏电池水平电镀装置还包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件与所述导电辊驱动连接，以驱动所述导电辊转动；所述第二驱动组件与所述电池片驱动连接，以驱动所述电池片在所述阴极区传输。

10、作为一种光伏电池水平电镀装置的可选技术方案，所述第一驱动组件设置为多个，且每一个所述第一驱动组件与每一个所述导电辊驱动连接。

11、作为一种光伏电池水平电镀装置的可选技术方案，所述第二驱动组件设置为多个，多个所述第二驱动组件位于所述电池片的上下两侧。

12、作为一种光伏电池水平电镀装置的可选技术方案，所述导电部还包括设于所述阳极消铜区域和所述阴极电镀区域之间的不带电区域；所述导电部沿着所述导电辊的外侧周向上依次均布有多个。

13、作为一种光伏电池水平电镀装置的可选技术方案，所述导电辊上设有多个电接触点，多个所述电接触点沿着所述导电辊的边缘设置，所述电接触点与所述导电部一一对应设置且电连接；对应于所述阳极消铜区域的所述电接触点与所述电源正极连接，对应于所述阴极电镀区域的所述电接触点与所述电源负极电连接。

14、作为一种光伏电池水平电镀装置的可选技术方案，所述光伏电池水平电镀装置还包括至少一个整流机；当所述整流机设置为一个时，所述整流机与多个所述导电辊、以及每一个所述导电辊两侧的所述阳极组件均电连接；当所述整流机设置为多个时，所述整流机与所述导电辊一一对应，所述整流机与一个所述导电辊、以及该所述导电辊两侧的所述阳极组件均电连接。

15、作为一种光伏电池水平电镀装置的可选技术方案，所述电解槽连通有循环管道，所述循环管道用于为所述电解槽供给所述电解液。

16、作为一种光伏电池水平电镀装置的可选技术方案，所述阳极组件为阳极钛网。

17、作为一种光伏电池水平电镀装置的可选技术方案，所述阳极组件距离所述电池片之间的距离为l1，所述导电辊的直径为l2，l1＜l2。

18、本实用新型的有益效果至少包括：

19、本实用新型提供一种光伏电池水平电镀装置，该光伏电池水平电镀装置包括电解槽、导电辊和阳极组件。其中，电解槽内盛放有电解液。导电辊设置在电解槽内并浸没在电解液中，导电辊的外周侧设置有导电部，导电部包括阳极消铜区域和阴极电镀区域，阳极消铜区域的外侧设置有阳极组件，阳极组件通过阳极消铜区域内的导电部与电源正极电连接。阳极组件和导电辊均设置为多个，沿电池片的传输方向，每一个导电辊的两侧分别配置一个阳极组件，且多个阳极组件的高度均低于导电辊的顶端，以使阳极组件位于相邻两个导电辊之间。阴极电镀区域的外侧设置有用于放置电池片的阴极区，电池片通过阴极电镀区域内的导电部与电源负极电连接。通过将阳极组件设置成分段的结构形式，这样能够拉近阳极组件与电池片之间的距离，从而在电镀工艺的过程中，缩短铜离子被电离后迁移的距离，进而提高电镀效率，节约电镀时间，达到节约成本的目的。避免了传统技术中一味地增加电镀电流而导致电池片pvd膜层被击穿的风险。

技术特征：

1.光伏电池水平电镀装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述导电辊(200)设置为至少一排，当所述导电辊(200)设置为两排时，所述电池片(10)位于两排所述导电辊(200)之间，且两排所述导电辊(200)错位设置。

3.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述光伏电池水平电镀装置还包括第一驱动组件和第二驱动组件(400)，所述第一驱动组件与所述导电辊(200)驱动连接，以驱动所述导电辊(200)转动；所述第二驱动组件(400)与所述电池片(10)驱动连接，以驱动所述电池片(10)在所述阴极区(110)传输。

4.根据权利要求3所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述第一驱动组件设置为多个，且每一个所述第一驱动组件与每一个所述导电辊(200)驱动连接。

5.根据权利要求3所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述第二驱动组件(400)设置为多个，多个所述第二驱动组件(400)位于所述电池片(10)的上下两侧。

6.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述导电部(210)还包括设于所述阳极消铜区域(220)和所述阴极电镀区域(230)之间的不带电区域(240)；所述导电部(210)沿着所述导电辊(200)的外侧周向上依次均布有多个。

7.根据权利要求6所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述导电辊(200)上设有多个电接触点，多个所述电接触点沿着所述导电辊(200)的边缘设置，所述电接触点与所述导电部(210)一一对应设置且电连接；对应于所述阳极消铜区域(220)的所述电接触点与所述电源正极连接，对应于所述阴极电镀区域(230)的所述电接触点与所述电源负极电连接。

8.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述光伏电池水平电镀装置还包括至少一个整流机；当所述整流机设置为一个时，所述整流机与多个所述导电辊(200)、以及每一个所述导电辊(200)两侧的所述阳极组件(300)均电连接；当所述整流机设置为多个时，所述整流机与所述导电辊(200)一一对应，所述整流机与一个所述导电辊(200)、以及该所述导电辊(200)两侧的所述阳极组件(300)均电连接。

9.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述电解槽(100)连通有循环管道(500)，所述循环管道(500)用于为所述电解槽(100)供给所述电解液。

10.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述阳极组件(300)为阳极钛网。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述阳极组件(300)距离所述电池片(10)之间的距离为l1，所述导电辊(200)的直径为l2，l1＜l2。

技术总结
本技术涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种光伏电池水平电镀装置。光伏电池水平电镀装置包括电解槽、导电辊和阳极组件。电解槽内盛放有电解液。导电辊设置在电解槽内并浸没在电解液中，导电辊的外周侧设置有导电部，导电部包括阳极消铜区域和阴极电镀区域，阳极消铜区域的外侧设置有阳极组件，阳极组件通过阳极消铜区域内的导电部与电源正极电连接。阳极组件和导电辊均设置为多个，沿电池片的传输方向，每一个导电辊的两侧分别配置一个阳极组件，且多个阳极组件的高度均低于导电辊的顶端，以使阳极组件位于相邻两个导电辊之间。该光伏电池水平电镀装置能够提高电镀效率，节约电镀时间，达到节约成本的目的。

技术研发人员：唐文胜,郁操,胡广豹,李剑,董刚强
受保护的技术使用者：苏州迈为科技股份有限公司
技术研发日：20230915
技术公布日：2024/5/16