一种硅片的非弹性夹具的制作方法

本技术涉及太阳能电池及半导体制造，尤其是指一种硅片的非弹性夹具。

背景技术：

1、电镀过程中，需要将待镀件与直流电源的阴极连接，具有用于涂覆的金属的阳极与直流电源的阳极连接，两者浸没在含有金属离子的电镀液中，当电源接通后，金属离子沉积在零件表面形成金属镀层；电镀时需要将硅片放入电镀液当中，在此过程中，硅片需要以夹具作为载体。目前所使用的夹具采用平板式夹具，存在以下缺陷：

2、1、从两侧将硅片夹在中间，硅片表面由硬质装夹头夹紧，装夹力度较大，碎片率较高；

3、2、夹具采用锁紧装置锁紧，拆装耗时长，降低了生产效率；

4、3、硅片采用平铺式装载，占用面积较大，不仅容易出现夹具变形的情况，还导致设备体积较大，电镀液消耗较大。

技术实现思路

1、为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中硅片电镀过程中，夹具结构不合理，造成硅片电镀存在较大局限性的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片的非弹性夹具，包括：外框架，其上设有两条平行设置的直线导轨；固定安装板，其一侧边与外框架固定连接，所述固定安装板上设有若干硅片固定夹爪；活动安装板，其一侧边连接有两个滑块，所述两个滑块和两条平行设置的直线导轨一一对应设置，所述滑块和直线导轨滑动连接，所述活动安装板上设有若干硅片活动夹爪，所述若干硅片活动夹爪和若干硅片固定夹爪一一对应设置，所述硅片活动夹爪和硅片固定夹爪之间夹持硅片。

3、在本实用新型的一个实施例中，所述外框架为矩形框架，并且外框架内中心位置处设有中间连接横梁。

4、在本实用新型的一个实施例中，所述外框架与中间连接横梁平行的两个边以及中间连接横梁的下端面上均设有矩形连接块，所述固定安装板的上端边缘与矩形连接块固定连接。

5、在本实用新型的一个实施例中，所述固定安装板呈“日”字形设置，并且所述固定安装板两个矩形通孔内壁上均连接有两两相对的硅片固定夹爪。

6、在本实用新型的一个实施例中，所述硅片固定夹爪远离矩形通孔内壁的端部设有矩形凸部一，所述矩形凸部一与硅片活动夹爪相对的端面上设有夹持凸部一。

7、在本实用新型的一个实施例中，所述活动安装板呈“日”字形设置，并且所述活动安装板两个矩形通孔内壁上均连接有两两相对的硅片活动夹爪。

8、在本实用新型的一个实施例中，所述硅片活动夹爪远离矩形通孔内壁的端部设有矩形凸部二，所述矩形凸部二与硅片固定夹爪相对的端面上设有夹持凸部二，所述夹持凸部二和夹持凸部一处于同一直线上，并且夹持凸部二和夹持凸部一用以贯穿硅片上的通孔。

9、在本实用新型的一个实施例中，所述固定安装板与活动安装板相对的端面上设有若干限位柱，所述限位柱用以限定固定安装板与活动安装板之间距离大于硅片厚度。

10、在本实用新型的一个实施例中，所述固定安装板两个矩形通孔内部底面上设有硅片垫块，所述硅片的下端边缘置于硅片垫块上。

11、在本实用新型的一个实施例中，所述固定安装板两个矩形通孔一侧内壁上设有支撑凸部，所述支撑凸部上设有定位柱，所述硅片长边的一侧边与定位柱相接触。

12、本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

13、本实用新型所述的硅片的非弹性夹具，采用组合式设计，其中一侧为固定结构，通过活动的另一侧对产品进行通电和固定，结构设计简单，能够对硅片进行稳定夹持，保证有效装夹的同时降低碎片率；另外，硅片取放方便，耗时短，提高了生产效率；采用花篮式夹具进行层叠式装载，减小占用面积，降低了对设备体积和电镀液用量的需求。

技术特征：

1.一种硅片的非弹性夹具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述外框架为矩形框架，并且外框架内中心位置处设有中间连接横梁。

3.根据权利要求2所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述外框架与中间连接横梁平行的两个边以及中间连接横梁的下端面上均设有矩形连接块，所述固定安装板的上端边缘与矩形连接块固定连接。

4.根据权利要求1所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述固定安装板呈“日”字形设置，并且所述固定安装板两个矩形通孔内壁上均连接有两两相对的硅片固定夹爪。

5.根据权利要求4所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述硅片固定夹爪远离矩形通孔内壁的端部设有矩形凸部一，所述矩形凸部一与硅片活动夹爪相对的端面上设有夹持凸部一。

6.根据权利要求5所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述活动安装板呈“日”字形设置，并且所述活动安装板两个矩形通孔内壁上均连接有两两相对的硅片活动夹爪。

7.根据权利要求6所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述硅片活动夹爪远离矩形通孔内壁的端部设有矩形凸部二，所述矩形凸部二与硅片固定夹爪相对的端面上设有夹持凸部二，所述夹持凸部二和夹持凸部一处于同一直线上，并且夹持凸部二和夹持凸部一用以贯穿硅片上的通孔。

8.根据权利要求1所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述固定安装板与活动安装板相对的端面上设有若干限位柱，所述限位柱用以限定固定安装板与活动安装板之间距离大于硅片厚度。

9.根据权利要求4所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述固定安装板两个矩形通孔内部底面上设有硅片垫块，所述硅片的下端边缘置于硅片垫块上。

10.根据权利要求4所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述固定安装板两个矩形通孔一侧内壁上设有支撑凸部，所述支撑凸部上设有定位柱，所述硅片长边的一侧边与定位柱相接触。

技术总结
本技术涉及一种硅片的非弹性夹具，包括：外框架，其上设有两条平行设置的直线导轨；固定安装板，其一侧边与外框架固定连接，固定安装板上设有若干硅片固定夹爪；活动安装板，其一侧边连接有两个滑块，滑块和直线导轨滑动连接，活动安装板上设有若干硅片活动夹爪，若干硅片活动夹爪和若干硅片固定夹爪一一对应设置，硅片活动夹爪和硅片固定夹爪之间夹持硅片。本技术所述的硅片的非弹性夹具，采用组合式设计，其中一侧为固定结构，通过活动的另一侧对产品进行通电和固定，结构设计简单，能够对硅片进行稳定夹持，保证有效装夹的同时降低碎片率；另外，硅片取放方便，耗时短，提高了生产效率。

技术研发人员：戴军,罗银兵,刘勇
受保护的技术使用者：罗博特科智能科技股份有限公司
技术研发日：20231106
技术公布日：2024/6/18