一种新型的单晶圆电镀震荡机构的制作方法

本技术涉及晶圆电镀，具体为一种新型的单晶圆电镀震荡机构。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，而晶圆电镀是将电解质溶液中的金属离子还原为金属并沉积在晶圆表面的过程，此过程是需要通过外部提供的电子进行还原反应来实现的，半导体晶圆电镀工艺中，普遍采用水平喷流式杯镀和垂直挂镀两种方式，此时，杯镀式将晶圆覆盖在一个杯状的镀槽上，电镀以一杯一片的方式进行，而挂镀式则是将晶圆垂直浸入镀液中，一个镀槽可以同时进行多片电镀。然而，现有的而半导体晶圆在垂直挂镀时则会产生氢气气泡，此氢气气泡便会附着于晶圆表面，而由于氢气气泡的存在，会造成晶圆表面镀层不均，影响镀层厚度的全片均匀性，导致产品良率低，产品成本高，效率低。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型的单晶圆电镀震荡机构，具备去除晶圆表面的氢气气泡、采用前后震荡的方式对晶圆的电镀、使得晶圆表面的镀层更加均匀的优点，解决了上述背景技术中所提出的问题。

2、本实用新型提供如下技术方案：一种新型的单晶圆电镀震荡机构，包括壳体，所述壳体的内部活动套接有阴极导向杆，所述阴极导向杆的右侧固定安装有位于壳体右侧的连接板，所述连接板远离阴极导向杆的一侧安装有驱动气缸，所述阴极导向杆的前方设置有阳极导向杆，所述阴极导向杆的上方安装有阴极钛板，所述阴极钛板的下端固定有位于前后两侧阴极导向杆之间的晶圆夹具，所述阴极导向杆左右两侧的外壁固定套接有轴套，所述阳极导向杆的外壁安装有阳极钛网。

3、优选的，所述壳体的外壁固定套接有位于驱动气缸下方的支撑板，所述支撑板的上端面固定安装有位于壳体右侧的安装板，且安装板的左侧与驱动气缸的右端固定连接，所述壳体左右两侧的上端均开设有位置相对应的通孔，所述壳体内壁的前后两侧均开设有位置相对应的凹槽，前后两侧的所述凹槽之间活动安装有隔板，所述壳体内壁的右侧开设有滑槽，所述滑槽的内壁活动安装有位于阳极钛网与晶圆夹具之间的加固板。

4、优选的，所述阳极导向杆的左右两侧均固定安装有螺纹杆，且螺纹杆的外壁与通孔的内壁活动套接。

5、优选的，所述阳极钛网包括网体，所述网体上端面的左右两侧均固定安装有位于阳极导向杆前方的延长杆，所述延长杆远离网体的一端固定连接有位于阳极导向杆后方的限位板。

6、优选的，所述晶圆夹具的正面和背面均固定安装有位于阴极导向杆上方的横板，所述横板远离晶圆夹具的一端固定连接有位于阴极导向杆外侧的竖板。

7、优选的，所述隔板的前后两端的外壁与凹槽的内壁活动卡接，所述隔板的上端面均匀分布有弧形槽，所述隔板右侧的内壁与加固板左侧的外壁活动卡接。

8、与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

9、1、本实用新型通过驱动气缸、晶圆夹具、阳极导向杆和阴极钛板之间的配合，利用驱动气缸的设置，实现了晶圆前后震荡的作用，有效地解决了垂直挂镀时晶圆表面产生氢气气泡的问题，采用驱动气缸内部输出轴的伸缩运动带动晶圆夹具前后晃动的方式，达到了晶圆前后晃动取出表面附着气泡的效果。

技术特征：

1.一种新型的单晶圆电镀震荡机构，包括壳体(9)，其特征在于：所述壳体(9)的内部活动套接有阴极导向杆(1)，所述阴极导向杆(1)的右侧固定安装有位于壳体(9)右侧的连接板(8)，所述连接板(8)远离阴极导向杆(1)的一侧安装有驱动气缸(2)，所述阴极导向杆(1)的前方设置有阳极导向杆(3)，所述阴极导向杆(1)的上方安装有阴极钛板(4)，所述阴极钛板(4)的下端固定有位于前后两侧阴极导向杆(1)之间的晶圆夹具(6)，所述阴极导向杆(1)左右两侧的外壁固定套接有轴套(7)，所述阳极导向杆(3)的外壁安装有阳极钛网(5)。

2.根据权利要求1所述的一种新型的单晶圆电镀震荡机构，其特征在于：所述壳体(9)的外壁固定套接有位于驱动气缸(2)下方的支撑板(10)，所述支撑板(10)的上端面固定安装有位于壳体(9)右侧的安装板(14)，且安装板(14)的左侧与驱动气缸(2)的右端固定连接，所述壳体(9)左右两侧的上端均开设有位置相对应的通孔(12)，所述壳体(9)内壁的前后两侧均开设有位置相对应的凹槽(17)，前后两侧的所述凹槽(17)之间活动安装有隔板(18)，所述壳体(9)内壁的右侧开设有滑槽(20)，所述滑槽(20)的内壁活动安装有位于阳极钛网(5)与晶圆夹具(6)之间的加固板(11)。

3.根据权利要求1所述的一种新型的单晶圆电镀震荡机构，其特征在于：所述阳极导向杆(3)的左右两侧均固定安装有螺纹杆(13)，且螺纹杆(13)的外壁与通孔(12)的内壁活动套接。

4.根据权利要求1所述的一种新型的单晶圆电镀震荡机构，其特征在于：所述阳极钛网(5)包括网体(501)，所述网体(501)上端面的左右两侧均固定安装有位于阳极导向杆(3)前方的延长杆(502)，所述延长杆(502)远离网体(501)的一端固定连接有位于阳极导向杆(3)后方的限位板(503)。

5.根据权利要求1所述的一种新型的单晶圆电镀震荡机构，其特征在于：所述晶圆夹具(6)的正面和背面均固定安装有位于阴极导向杆(1)上方的横板(15)，所述横板(15)远离晶圆夹具(6)的一端固定连接有位于阴极导向杆(1)外侧的竖板(16)。

6.根据权利要求2所述的一种新型的单晶圆电镀震荡机构，其特征在于：所述隔板(18)的前后两端的外壁与凹槽(17)的内壁活动卡接，所述隔板(18)的上端面均匀分布有弧形槽(19)，所述隔板(18)右侧的内壁与加固板(11)左侧的外壁活动卡接。

技术总结
本技术涉及晶圆电镀技术领域，且公开了一种新型的单晶圆电镀震荡机构，包括壳体，所述壳体的内部活动套接有阴极导向杆，所述阴极导向杆的右侧固定安装有位于壳体右侧的连接板，所述连接板远离阴极导向杆的一侧安装有驱动气缸，所述阴极导向杆的前方设置有阳极导向杆，所述阴极导向杆的上方安装有阴极钛板。本技术通过驱动气缸、晶圆夹具、阳极导向杆和阴极钛板之间的配合，利用驱动气缸的设置，实现了晶圆前后震荡的作用，有效地解决了垂直挂镀时晶圆表面产生氢气气泡的问题，采用驱动气缸内部输出轴的伸缩运动带动晶圆夹具前后晃动的方式，达到了晶圆前后晃动取出表面附着气泡的效果。

技术研发人员：李佳昊,盖文政,蔡明东,孙学巍
受保护的技术使用者：青岛晶诚电子设备有限公司
技术研发日：20240104
技术公布日：2024/8/16