一种镀液循环装置的制作方法

本技术涉及电镀，具体涉及一种镀液循环装置。

背景技术：

1、复合铜膜的生产制备中，通常对铜膜进行电镀以增厚复合薄膜的铜层。电镀设备包括电镀槽，电镀槽内盛放有电镀液，电镀液为电镀提供铜离子，为了降低生产成本，镀液通常需要进行循环使用。

2、经过电镀后的废镀液中含有大量的杂质，因此在镀液循环的过程中需要对镀液进行过滤。目前，镀液循环的方法为废镀液从电镀槽中排出，经过过滤泵后进入储槽，向储槽中补入铜料后再将镀液送至电镀槽中进行循环使用。但是，这种镀液循环方法只能实现对镀液进行过滤和补料。

3、综上所述，现有技术中存在以下问题：镀液循环只能对镀液进行过滤和补料，不能对流量进行调节。

技术实现思路

1、本实用新型实施例提供一种镀液循环装置，以解决现有技术中镀液循环设备只能对镀液进行过滤和补料，不能进行流量调节的问题。

2、本实用新型实施例提供一种镀液循环装置，包括：

3、过滤泵，所述过滤泵的入口连接电镀槽的镀液出口；

4、储液槽，所述过滤泵的出口连接所述储液槽；

5、压力泵，所述压力泵的入口连接所述储液槽，所述压力泵的出口连接所述电镀槽的镀液入口；

6、流量计，设置于所述储液槽和所述压力泵之间，所述流量计的入口连接所述储液槽，所述流量计的出口连接所述压力泵的入口；

7、控制件，所述控制件与所述压力泵、所述流量计电连接。

8、进一步地，所述储液槽中设置有离子检测仪，所述离子检测仪与所述控制件电连接。

9、进一步地，所述离子检测仪设置在所述储液槽与所述过滤泵的连接处。

10、进一步地，所述储液槽内设置有换热板和温度监测器，所述换热板与所述控制件电连接，所述温度监测器与所述控制件电连接。

11、进一步地，所述换热板平铺设置于所述储液槽的底面。

12、进一步地，所述换热板横向设置于所述储液槽的中间且平行于所述储液槽的底面。

13、进一步地，镀液循环装置还包括铜罐，所述铜罐设置于所述储液槽的顶板外侧，且所述铜罐靠近所述储液槽的一端设置有阀门，所述铜罐与所述控制件电连接。

14、进一步地，镀液循环装置还包括机架，所述机架包括垂直连接的横架和竖架，所述储液槽放置于所述横架上，所述压力泵、所述流量计以及所述控制件设置于所述竖架上。

15、进一步地，所述压力泵和所述流量计并排间隔设置，所述控制件设置于所述压力泵的上方。

16、进一步地，所述机架底部四个角分别设置一个滑轮。

17、本实用新型实施例可达到以下有益效果：

18、1、通过在储液槽和压力泵之间增加流量计，达到控制镀液循环时的流量的效果，流量计和压力泵的共同作用，使得镀液以稳定的速度送至电镀槽中；

19、2、通过增加离子检测仪，对镀液中的铜离子进行检测，从而能够准确地确认需要向镀液中补充的铜量，使得镀液中的铜离子能够维持在一个稳定的浓度；

20、3、通过增加换热板，达到对镀液的温度进行调节的效果。

技术特征：

1.一种镀液循环装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的镀液循环装置，其特征在于，所述储液槽(2)中设置有离子检测仪(7)，所述离子检测仪(7)与所述控制件(5)电连接。

3.如权利要求2所述的镀液循环装置，其特征在于，所述离子检测仪(7)设置在所述储液槽(2)与所述过滤泵(1)的连接处。

4.如权利要求1所述的镀液循环装置，其特征在于，所述储液槽(2)内设置有换热板(6)和温度监测器，所述换热板(6)与所述控制件(5)电连接，所述温度监测器与所述控制件(5)电连接。

5.如权利要求4所述的镀液循环装置，其特征在于，所述换热板(6)平铺设置于所述储液槽(2)的底面。

6.如权利要求4所述的镀液循环装置，其特征在于，所述换热板(6)横向设置于所述储液槽(2)的中间且平行于所述储液槽(2)的底面。

7.如权利要求2所述的镀液循环装置，其特征在于，还包括铜罐，所述铜罐设置于所述储液槽(2)的顶板外侧，且所述铜罐靠近所述储液槽(2)的一端设置有阀门，所述铜罐与所述控制件(5)电连接。

8.如权利要求1-7中任一项所述的镀液循环装置，其特征在于，还包括机架(9),所述机架(9)包括垂直连接的横架和竖架，所述储液槽(2)放置于所述横架上，所述压力泵(3)、所述流量计(4)以及所述控制件(5)设置于所述竖架上。

9.如权利要求8所述的镀液循环装置，其特征在于，所述压力泵(3)和所述流量计(4)并排间隔设置，所述控制件(5)设置于所述压力泵(3)的上方。

10.如权利要求8所述的镀液循环装置，其特征在于，所述机架底部四个角分别设置一个滑轮(10)。

技术总结
本技术提供了一种镀液循环装置，包括过滤泵，所述过滤泵的入口连接电镀槽的镀液出口；储液槽，所述过滤泵的出口连接所述储液槽；压力泵，所述压力泵的入口连接所述储液槽，所述压力泵的出口连接所述电镀槽的镀液入口；流量计，设置于所述储液槽和所述压力泵之间，所述流量计的入口连接所述储液槽，所述流量计的出口连接所述压力泵的入口；控制件，所述控制件与所述压力泵、所述流量计电连接。通过在镀液循环过程中增加流量计、离子检测仪、换热板，达到自动调节镀液流量、浓度、温度的目的，以获得一个稳定的镀液环境。

技术研发人员：臧世伟,请求不公布姓名
受保护的技术使用者：深圳金美新材料科技有限公司
技术研发日：20240223
技术公布日：2024/10/21