专利名称：滑阀真空泵减振装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种单晶硅生产过程中使用的滑阀真 空泵减振装置。
背景技术：
目前用于生长人工晶体的直拉法单晶炉， 一般采用滑阀 真空泵来抽真空。在生产过程中滑阀真空泵会产生很大的振 动，而振动很容易通过地面传导到单晶炉处，从而造成单晶 与熔液液面的晃动，影响晶体生长。目前普遍的做法为真空 泵与单晶炉中间加入一条防振沟；但当多台真空泵形成形振
后，振动仍会通过防震沟传递到炉体。 发明内容
本实用新型的目的是要解决现有技术存在的上述问题， 提供一种防止因滑泵真空振动传至单晶炉处而导致单晶与 熔液液面晃动，确保晶体正常生长的滑阀真空泵减振装置。
本实用新型是这样实现的它有一个滑阀真空泵泵体和 底座，其特殊之处是在底座上设有减振弹簧。
上述的滑阀真空泵减振装置，所述的减振弹簧是由弹簧 体，连接在弹簧体两端的上下支撑座，设在上支撑座上的紧 固螺栓构成，所述的紧固螺栓通过螺母与底座连接。
本实用新型的优点是通过减振弹簧可起到减振作用， 防止滑阀真空泵振动后经过地面传导到单晶炉处而导致单 晶与熔液液面晃动，确保晶体正常生长。
图1是本实用新型的结构示意图； 图2是图1的左视图。
具体实施方式
如图所示，本实用新型有一个底座2，在底座2上设置 有滑阀真空泵泵体1，在底座2上连接有减振弹簧3，所述 的减振弹簧3是由弹簧体303、连接在弹簧体303两端的上、 下支撑座302和304、焊接在上支撑座302上的紧固螺栓301 构成，减振弹簧3通过紧固螺栓301和螺母与底座2连接。
权利要求1、一种滑阀真空泵减振装置，包括滑阀真空泵泵体和底座，其特征是在底座上设有减振弹簧。
2、 根据权利要求1所述的滑阀真空泵减振装置，其特 征是所述的减振弹簧是由弹簧体，连接在弹簧体两端的上、 下支撑座，设在上支撑座上的紧固螺栓构成；所述的紧固螺 栓通过螺母与底座连接。
专利摘要一种滑阀真空泵减振装置解决了在生产的过程中滑阀真空泵会产生振动并通过地面传导到单晶炉处，从而造成单晶与熔液液面的晃动，影响晶体生长的问题。它包括滑阀真空泵泵体和底座，在底座上设有减振弹簧。优点是通过设在底座上的减振弹簧可起到减振作用，防止滑阀真空泵振动后经过地面传导到单晶炉处，确保晶体正常生长。
文档编号F04C29/00GK201241834SQ20082021858
公开日2009年5月20日 申请日期2008年10月20日 优先权日2008年10月20日
发明者飞 孙, 晟 王 申请人:锦州阳光能源有限公司