专利名称：一种分子泵拖动盘的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种分子泵拖动盘。具体地说是一种加工工艺简单的分子泵拖动
背景技术：
复合分子泵的拖动级主要有螺旋形和盘形两种。其中盘形拖动级主要由高速旋转 的平板圆盘和在盘面上开有沟槽的静止圆盘构成。工作时，气体分子被旋转圆盘带动产生 一定的圆周速度，同时沿着拖动盘沟槽走向产生径向的速度分量，以实现抽气。目前，市场 上的拖动盘上开的沟槽基本都是等薄筋槽，即去沟槽之后剩下的厚度相等。如中国专利文 献CN87208695提出了一种可用于盘形分子泵的抽气圆盘，该实用新型的抽气圆盘的一侧 或两侧面上开有沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形抽气沟槽或直线沟槽，即抽气沟槽槽 壁的线形为圆弧线形或直线形，其中抽气沟槽槽壁为等宽的圆弧线形薄壁，沟槽为非等宽 的圆弧形沟槽。由于该实用新型的沟槽槽壁为薄壁，使得槽壁的刚度小，加工时去除量大， 不可以使用较大的进给量，从而导致加工效率低，而沟槽为非等宽的圆弧形沟槽，沟槽形状 较复杂，加工时需要进行多次铣削走刀，费时费钱。
实用新型内容为此，本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中分子泵拖动盘加工工艺复 杂的问题，提供一种加工工艺简单的分子泵拖动盘。 为解决上述技术问题，本实用新型的一种分子泵拖动盘，包括盘体以及呈放射状 设置在所述盘体上的沟槽，所述沟槽为等宽沟槽。 上述的分子泵拖动盘，所述盘体上靠近所述盘体外缘处还设有与所述盘体同心的 环形槽，且所述环形槽与所述等宽沟槽末端相通。 上述的分子泵拖动盘，所述等宽沟槽左右两侧壁所在的两条圆弧曲线由两条半径
不同的同心圆弧构成，所述同心圆的圆心落在以所述盘体的圆心为圆心的一个圆周上。 上述的分子泵拖动盘，所述等宽沟槽与所述环形槽的槽深相等。 上述的分子泵拖动盘，所述等宽沟槽在所述盘体上呈放射状周向均匀分布。 上述的分子泵拖动盘，所述盘体的一侧或两侧侧面上开有所述等宽沟槽。 本实用新型的的上述技术方案相比现有技术具有以下优点，1、本实用新型将沟槽
设为等宽沟槽，使得槽形变得简单，加工起来简单方便，减少铣削走刀次数，而且所述盘体
上加工完等宽沟槽后残留的槽壁较宽，特别是槽壁靠近所述盘体外周的一端，槽壁宽槽壁
的刚度就好，加工时可以使用加大的进给量，从而提高了加工效率。2、盘体上靠近盘体外圆
周处还设有与盘体同心的环形槽，且环形槽与等宽沟槽末端相通，由于等宽沟槽是采用铣
削而成，而环形槽却可以用车削，由于在加工过程中，铣削比车削费时，加工成本高，故在等
宽沟槽末端设一环形槽来取代等宽沟槽末端的一段，这样可以进一步减少铣削量，提高加
工效率。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施
例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中 图1是本实用新型的分子泵拖动盘的加工去除量示意图； 图2是本实用新型的分子泵拖动盘的正视图； 图3是本实用新型的分子泵拖动盘的剖视图。 图中附图标记表示为l-盘体、2-等宽沟槽、3-槽壁、4-环形槽、5-盘体外缘。
具体实施方式
如图1至图3所示，本实施例的分子泵拖动盘，包括盘体1以及呈放射状设置在盘 体1上的沟槽，为了使拖动盘的加工简单，减少铣削走刀次数，所述沟槽设为等宽沟槽2。所 述等宽沟槽2在所述盘体1上呈放射状周向均匀分布。由于沟槽为等宽沟槽2，因此，所述 盘体1上加工完等宽沟槽2后残留的槽壁3较宽，特别是槽壁3靠近所述盘体1外周的一 端，槽壁3宽刚度好，加工时可以使用加大的进给量，从而提高了加工效率。所述盘体1上 靠近所述盘体外缘5处还设有与所述盘体1同心的环形槽4，且所述环形槽4与所述等宽 沟槽2末端相通。由于等宽沟槽2是采用铣削而成，而环形槽4却可以用车削，在加工过程 中，铣削比车削费时，加工成本高，故在等宽沟槽2末端设一环形槽4来取代等宽沟槽2末 端的一段，这样可以进一步减少铣削量，提高加工效率。所述等宽沟槽2左右两侧壁所在的 两条圆弧曲线由两条半径不同的同心圆弧构成，所述同心圆的圆心落在与所述盘体1同圆 心的一个圆周上。所述等宽沟槽2与所述环形槽4的槽深相等，槽深按分子泵的设计参数 而定，但不能穿透盘体1。所述盘体1的一侧侧面上设有所述等宽沟槽2。 其它实施例中，所述盘体1的两侧侧面上设有所述等宽沟槽2。 显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对 于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或 变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或 变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
权利要求一种分子泵拖动盘，包括盘体(1)以及呈放射状设置在所述盘体(1)上的沟槽，其特征在于所述沟槽为等宽沟槽(2)。
2. 根据权利要求1所述的分子泵拖动盘，其特征在于所述盘体(1)上靠近所述盘体外缘(5)处还设有与所述盘体(1)同心的环形槽(4)，且所述环形槽(4)与所述等宽沟槽 (2)末端相通。
3. 根据权利要求1所述的分子泵拖动盘，其特征在于所述等宽沟槽(2)左右两侧壁所在的两条圆弧曲线由两条半径不同的同心圆弧构成，所述同心圆的圆心落在以所述盘体 (1)的圆心为圆心的一个圆周上。
4. 根据权利要求2所述的分子泵拖动盘，其特征在于所述等宽沟槽(2)与所述环形 槽(4)的槽深相等。
5. 根据权利要求1所述的分子泵拖动盘，其特征在于所述等宽沟槽(2)在所述盘体(1)上呈放射状周向均匀分布。
6. 根据权利要求l所述的分子泵拖动盘，其特征在于所述盘体(1)的一侧或两侧侧面上设有所述等宽沟槽(2)。
专利摘要本实用新型的分子泵拖动盘，包括盘体(1)以及呈放射状设置在所述盘体(1)上的沟槽，所述沟槽为等宽沟槽(2)。该实用新型的分子泵拖动盘加工工艺简单。
文档编号F04D19/04GK201461510SQ20092010939
公开日2010年5月12日 申请日期2009年6月29日 优先权日2009年6月29日
发明者李明月, 邹蒙 申请人:北京中科科仪技术发展有限责任公司