专利名称：多级干式真空泵触摸屏控制装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路制造设备真空环境获得领域，具体地说是一种多级干式 真空泵触摸屏控制电路。
背景技术：
近几年，随着集成电路(IC)行业的蓬勃发展，IC设备真空制造设备真空环境获 得作为该行业不可或缺的设备也在日新月异的改进，干式真空泵因其洁净无油等优势在IC 设备真空获得领域得到很好的应用，由于IC行业对真空环境的要求十分苛刻，不同的工艺 要求有不同的真空度、抽速曲线以及不同的氮气清洗流量等各种参数，这就需要根据不同 的生产工艺和应用场合适当调整泵的控制参数以适应现场需求。传统的真空泵有油污染的 缺陷，而没有人机操作界面带来的不便也日见明显，另外IC生产线要求长期运转稳定，一 条生产线需要很多台真空泵，生产线和泵房有一定距离，因此对干式真空泵的远程智能控 制显得尤为重要。目前，能够满足上述生产需要的多级干式真空泵远程智能控制技术尚未 见报道。
实用新型内容针对现有技术中存在的多级干式真空泵的控制不能智能控制的不足之处，本实用 新型要解决的技术问题是提供一种多级干式真空泵触摸屏控制装置。为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是本实用新型多级干式真空泵触摸屏控制装置包括液晶屏驱动模组、显示屏、电 源转换模块、通讯模块、触摸屏驱动模块以及触摸屏，其中液晶屏驱动模组通过触摸屏驱动 模块接收触摸屏的输入信号，液晶屏驱动模组的输出信号送至显示屏进行显示，电源转换 模块为显示屏提供背光电压，液晶屏驱动模组通过通讯模块与多级干式真空泵进行通讯连 接。所述显示屏采用彩色液晶屏显示图片、文字及数据，能根据需要灵活的设计显示 界面；所述触摸屏采用外围电路简单的电阻式触摸屏；所述液晶屏驱动模组采用集成度 高、抗干扰能力强的集成式人机界面驱动模块。本实用新型还设有外部接口，液晶屏驱动模组通过扁平电缆与该外部接口相连， 并进一步连接显示屏及通讯模块。本实用新型具有以下有益效果及优点1.本实用新型采用夏普4. 3寸真彩色液晶屏做为显示单元，屏幕尺寸大，色彩美 观，汉字、图片、数据、字符随意显示，解决传统字符型显示屏只能显示英文的缺陷。2.本实用新型采用电阻式触摸屏做为按键输入，在液晶屏上利用形象的图标做为 按键提示，较传统的薄膜按键更直观，方便，性能也更可靠。3.本实用新型采用M600模块做为液晶驱动单元，可以直接驱动彩色液晶屏，实现 65K色显示，传统的单片机无法驱动65K色彩色屏，ARM系统需要很多的外围电路，而M600基本不需要外围电路，集成度高，抗干扰能力强，性能更稳定可靠，并且提供通讯接口，内部 集成丰富的指令，利用串口就可以方便的进行控制。
图1为本实用新型电路原理图。
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步详细说明。
具体实施方式
本实用新型多级干式真空泵触摸屏控制装置包括液晶屏驱动模组U1、显示屏 U2、电源转换模块U3、通讯模块U4、触摸屏驱动模块U5以及触摸屏TO，其中液晶屏驱动模 组Ul通过触摸屏驱动模块U5接收触摸屏U6的输入信号，液晶屏驱动模组Ul的输出信号 送至显示屏U2进行显示，电源转换模块U3为显示屏U2提供背光电压，液晶屏驱动模组Ul 通过通讯模块U4与多级干式真空泵进行通讯连接。本实施例中，显示屏U2采用夏普4. 3时彩色液晶屏显示图片、文字及数据，能根据 需要灵活的设计显示界面；触摸屏U6采用外围电路简单的电阻式触摸屏，外围电路简单， 使用方便；所述液晶屏驱动模组Ul采用M600，集成度高、抗干扰能力强的集成式人机界面 驱动模块。具体连接为液晶屏驱动模组Ul的第1脚为串行数据输入，接通讯模块U4的第10 脚，液晶屏驱动模组Ul的第8脚为串行数据输出，接通讯模块U4的第12脚，液晶屏驱动模 组Ul的第25 40脚为显示数据信号接显示屏U2的第8 28脚，液晶屏驱动模组Ul的 第13脚为时钟信号接显示U2的第30脚，液晶屏驱动模组Ul的第15 17脚为控制信号 接显示U2的第31 33脚。触摸屏驱动模块U5的第1 4脚接触摸屏U6的第1 4脚， 触摸屏驱动模块TO的第6脚为串行数据输出，接液晶屏驱动模组Ul的第49脚，将触摸键 值传递给液晶屏驱动模组Ul。电源转换模块U3将+3. 3V电压转换为+25V电压，为显示屏U2提供背光电源，具 体连接为电源转换模块U3的第8脚通过第1电阻R5接+3. 3V电源，电源转换模块U3的 第7脚和第6脚短接接+3. 3V电源，电源转换模块U3的第5脚为电压输出调节端，通过电 位器VRl和第2电阻R4接+25V输出，同时通过第3电阻R3接地。电源转换模块U3的第 4脚和第2脚接地，电源转换模块U3的第3脚通过电容C19接地，电源转换模块U3的第1 脚为电源转换输出端，通过电感Ll接+3. 3V，第1 6电容Cl C6为滤波电容。为了便于接线，本实施例在多级干式真空泵触摸屏的电路板上还设有外部接口， 液晶屏驱动模组Ul通过扁平电缆与该外部接口相连，并进一步通过线缆连接显示屏U2及 通讯模块U4。
权利要求一种多级干式真空泵触摸屏控制装置，其特征在于包括液晶屏驱动模组(U1)、显示屏(U2)、电源转换模块(U3)、通讯模块(U4)、触摸屏驱动模块(U5)以及触摸屏(U6)，其中液晶屏驱动模组(U1)通过触摸屏驱动模块(U5)接收触摸屏(U6)的输入信号，液晶屏驱动模组(U1)的输出信号送至显示屏(U2)进行显示，电源转换模块(U3)为显示屏(U2)提供背光电压，液晶屏驱动模组(U1)通过通讯模块(U4)与多级干式真空泵进行通讯连接。
2.按权利要求1所述的多级干式真空泵触摸屏控制装置，其特征在于所述显示屏 (U2)采用彩色液晶屏显示图片、文字及数据，能根据需要灵活的设计显示界面。
3.按权利要求1所述的多级干式真空泵触摸屏控制装置，其特征在于所述触摸屏 (U6)采用外围电路简单的电阻式触摸屏。
4.按权利要求1所述的多级干式真空泵触摸屏控制装置，其特征在于所述液晶屏驱 动模组(Ul)采用集成度高、抗干扰能力强的集成式人机界面驱动模块。
5.按权利要求1所述的多级干式真空泵触摸屏控制装置，其特征在于还设有外部接 口，液晶屏驱动模组(Ul)通过扁平电缆与该外部接口相连，并进一步连接显示屏(U2)及通 讯模块(U4)。
专利摘要本实用新型涉及一种多级干式真空泵触摸屏控制装置，包括液晶屏驱动模组、显示屏、电源转换模块、通讯模块、触摸屏驱动模块以及触摸屏，其中液晶屏驱动模组通过触摸屏驱动模块接收触摸屏的输入信号，液晶屏驱动模组的输出信号送至显示屏进行显示，电源转换模块为显示屏提供背光电压，液晶屏驱动模组通过通讯模块与多级干式真空泵进行通讯连接。本实用新型显示单元屏幕尺寸大，色彩美观，汉字、图片、数据、字符随意显示，解决传统字符型显示屏只能显示英文的缺陷；采用电阻式触摸屏做为按键输入，在液晶屏上利用形象的图标做为按键提示，较传统的薄膜按键更直观，方便，性能也更可靠；内部集成丰富的指令，利用串口就可以方便的进行控制。
文档编号F04B49/00GK201689404SQ20102021551
公开日2010年12月29日 申请日期2010年6月4日 优先权日2010年6月4日
发明者张利国, 张振厚, 王光玉, 薛玉茹, 郭丽娟 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司