专利名称：一种多级干式真空泵机组的水冷系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种水冷技术，具体说是一种多级干式真空泵的水循环冷却系 统。
背景技术：
多级干式真空泵具有工作腔内无油，可以获得洁净真空，适用于半导体行业、化 学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。随着半导体工业、电 子工业的蓬勃兴起，对于真空环境的要求越来越多、越来越严格。干式真空泵不需要润滑油 来润滑密封，做到了无油蒸汽污染，而且对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感。所以， 由干式真空泵组成的真空系统得到了广泛的应用，并在半导体工业、电子工业的发展过程 中起到了推动的作用。由于在半导体和光伏等产业的工艺中，产生的气体温度都比较高。高温气体进入 泵体内部，后气体将部分热量传给了干泵，同时由于多级干泵自身也不断压缩气体，产生大 量热量，这些热量也有很大一部分传导到泵体上。经过多方面的热量传导干泵自身的温度 就比较高，使得泵体内部的零部件由于高温而变形，不能达到良好的抽气效果，不能保证泵 正常运行和人员安全，因此通过对泵体的冷却从而达到保护泵自身及使用人员的安全成为 亟待解决的问题。
实用新型内容为了解决干式真空泵冷却的问题，本实用新型的目的在于提供一种多级干式真空 泵机组的水循环冷却系统。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的一种多级干式真空泵机组的水循环冷却系统，包括总进水管路、总出水管路、变频 器水冷块、腔体水冷块、电磁阀和集水器，冷却水通过总进水管路进入，先冷却上下泵电机 变频器水冷块，之后分为三路，一路冷却水流经多级干泵电机后进入齿轮腔上下表面腔体 水冷块，最后进入电磁阀和集水器，由电磁阀控制通断汇入总出水管；一路冷却水进入罗茨 泵电机后进入齿轮腔上下表面腔体水冷块，最后进入电磁阀和集水器，由电磁阀控制通断 并汇入总出水管；另一路直接接入电磁阀和集水器后由电磁阀集水器再分出两路，一路 流经罗茨泵轴承腔、油箱和泵体下表面腔体水冷块进行冷却后进入电磁阀和集水器由电磁 阀控制通断汇入总出水管路，一路流经多级干泵的腔体上下表面腔体水冷块进行冷却后进 入电磁阀和集水器由电磁阀控制通断汇入总出水管路；所述冷却水管路采用导热好的紫铜管制成，并嵌在铝制水冷块内，铝块与多级干 泵表面之间涂有导热硅胶并采用螺钉固定；所述进水管路和出水管路通过4个电磁阀和1个电磁阀集水器连接并控制，所述 电磁阀设置在电磁阀和集水器组件上，每个电磁阀与各自的管路和电磁阀集水器相连接。本实用新型的优点与积极效果为[0010]1.本实用新型对两个电机的变频器水冷，罗茨泵电机、多级泵电机、罗茨泵和多级 干泵可以选择冷却；2.本实用新型采用4个电磁阀和一个电磁阀集水器控制进水和出水节约空间；3.本实用新型水冷管采用紫铜管，水冷管与泵表面接触部分采用铜管镶嵌在铝块 内方式，铝块与多级干泵表面之间涂有导热硅胶并采用螺钉固定，传热效果好；4.本使用新型可以有效地降低泵体的温度，保证泵的正常运行保证人员安全。
图1为本实用新型的结构示意图；其中1电磁阀和集水器，2总出水管路，3总进水管路，4多级干泵电机，5变频器 水冷块，6罗茨泵电机，7腔体水冷块。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详述。如图1所示，冷却水通过总进水管路3进入，先冷却上下泵电机变频器水冷块5，这 样保证任何情况下变频器都得到冷却，之后分为三路，一路冷却水流经多级干泵电机4后 进入齿轮腔上下表面腔体水冷块7，最后进入电磁阀和集水器1，由电磁阀控制通断汇入总 出水管2 ；—路冷却水进入罗茨泵电机6后进入齿轮腔上下表面腔体水冷块7，最后进入电 磁阀和集水器1，由电磁阀控制通断并汇入总出水管2 ；由于齿轮腔发热量也比较大所以这 里也对其进行水冷另一路直接接入电磁阀和集水器1后由电磁阀集水器再分出两路，一路流经罗茨 泵轴承腔、油箱和泵体下表面腔体水冷块7进行冷却后进入电磁阀和集水器1由电磁阀控 制通断汇入总出水管路，一路流经多级干泵电机4的腔体上下表面腔体水冷块7进行冷却 后进入电磁阀和集水器1由电磁阀控制通断汇入总出水管路。所述进水管路和出水管路通过4个电磁阀和1个电磁阀集水器连接并控制，所述 电磁阀设置在电磁阀和集水器1组件上，每个电磁阀与各自的管路和电磁阀集水器相连 接。本实用新型在抽气过程中可以有效地降低泵体的温度，保证泵的正常运行保证人 员安全，可广泛的应用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业使用的干 式真空泵机组中。
权利要求1.一种多级干式真空泵机组的水循环冷却系统，包括总进水管路(3)、总出水管路 (2)、变频器水冷块(5)、腔体水冷块(7)、电磁阀和集水器(1)，其特征在于冷却水通过总 进水管路(3)进入，先冷却上下泵电机变频器水冷块(5)，之后分为三路，一路冷却水流经 多级干泵电机(4)后进入齿轮腔上下表面腔体水冷块(7)，最后进入电磁阀和集水器(1)， 由电磁阀控制通断汇入总出水管(2 )； —路冷却水进入罗茨泵电机(6 )后进入齿轮腔上下表 面腔体水冷块(7)，最后进入电磁阀和集水器(1)，由电磁阀控制通断并汇入总出水管(2)；另一路直接接入电磁阀和集水器(1)后由电磁阀集水器再分出两路，一路流经罗茨泵 轴承腔、油箱和泵体下表面腔体水冷块(7)进行冷却后进入电磁阀和集水器(1)由电磁阀 控制通断汇入总出水管路，一路流经多级干泵电机(4)的腔体上下表面腔体水冷块(7)进 行冷却后进入电磁阀和集水器(1)由电磁阀控制通断汇入总出水管路。
2.按权利要求1所述的多级干式真空泵机组的水循环冷却系统，其特征在于所述冷 却水管路采用导热好的紫铜管制成，并嵌在铝制水冷块内，铝块与多级干泵表面之间涂有 导热硅胶并采用螺钉固定。
3.按权利要求1所述的多级干式真空泵机组的水循环冷却系统，其特征在于所述进 水管路和出水管路通过4个电磁阀和1个电磁阀集水器连接并控制，所述电磁阀设置在电 磁阀和集水器(1)组件上，每个电磁阀与各自的管路和电磁阀集水器相连接。
专利摘要本实用新型公开一种多级干式真空泵机组的水循环冷却系统。包括总进水管路、总出水管路，冷却水通过总进水管冷却上下泵电机变频器水冷块后分为三路，一路冷却多级干泵电机齿轮腔后总出水管路；一路冷却水冷却罗茨泵电机和齿轮腔后汇入总出水管路；另一路直接接入电磁阀集水器后再分出两路，一路冷却罗茨泵轴承腔、油箱和泵体下表面水冷块后汇入总出水管路，一路流经多级干泵的腔体上下表面腔体水冷块进行冷却后汇入总出水管路。本实用新型的优点1.对变频器总进行水冷，对罗茨泵电机、多级干泵的电机、罗茨泵表面和多级干泵表面可以选择冷却；2.采用电磁阀和电磁阀集水器控制进水和出水节约空间；3.传热效果好。
文档编号F04B39/06GK201884247SQ20102064318
公开日2011年6月29日 申请日期2010年12月6日 优先权日2010年12月6日
发明者刘在行, 张振厚, 王光玉 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司