专利名称：专用于压电泵的伞形阀的制作方法
技术领域：
专用于压电泵的伞形阀一、技术领域[0001 ] 本实用新型涉及一种微型泵泵阀，尤其是指一种专用于压电泵的伞形阀。二、背景技术[0002]背景技术中的微型泵泵阀有，无激励源阀(无源阀)、压电激励阀、热激励阀、静电激励阀、磁激励阀、电磁/静电激励阀、记忆合金阀、压电阀等。[0003]上述阀的特性是[0004]1、无激励源阀可分为悬臂梁单向阀和双扇门型阀两种。这种阀的工作原理是，当悬臂梁受到正向压力呈打开状态、液体或气体进入泵腔，悬臂梁受到反向压力呈关闭状态， 液体或气体在单向阀作用下，被定向挤压排出。[0005]该阀的加工采用电化学选择掺杂，KOH蚀刻和各向异性深蚀刻(EDP)等工艺， 最后将整块芯片切割成单个阀体。每个阀悬臂梁的尺寸为600um*300um*10um，在一块 25. 4*25. 4mm芯片上可获得800个阀。这种阀的主要特点是响应快、尺寸小、死区体积小。[0006]双扇门型微型阀，它将两个大小相同的扇门以相反方向形成在硅片上，每扇门的两片扇叶与硅片表面成54. 74度，扇叶之间的缝隙呈常开状态，缝宽25um。这种阀的工作原理是，当正向压力作用到膜片上后，使其上的两扇门以不同方式变形；左门呈打开状态，右门呈关闭状态，如果改变压力作用方向，情形会相反。该阀的加工采用硼离子扩散、各向异性蚀刻、阳极焊接和除去氧化层等工艺，阀扇门的尺寸为780*158(^2um)。主要适用于控制介质粒径为25um以内的流体系统。[0007]2、压电激励阀可分为常闭、常开和三通等形式。常闭式压电阀的结构由耐热玻璃底座、呈台面结构的可挠性膜片、通气管和压电激励器等部分组成。这种阀的工作原理是， 在正常情况下硅台面与出气口相连呈关闭状态；给激励器通电后，使膜片发生凹变，台面离开出气口，阀呈打开状态。该阀的加工采用各向异性蚀刻硅、各向同性蚀刻玻璃和放电打孔等工艺。阀台面的面积为50um2。[0008]常开式压电阀的结构与常闭阀不同之处在于，可挠性硅膜片上的台面距出气口之间在正常情况下有一个间隙，可供流体通过，当压电激励器通电使台面向上凸变时，出气口被切断，阀处于关闭状态。[0009]三通阀的结构是，它的硅膜片上有中心和环形两个台面。中心台面呈常开状态，环形台面呈常闭状态。这种阀的工作原理是，在正常情况下流体可从右阀口输入中阀口输出。 当给压电激励器通电后，中心台面上凸，环形台面下凹，流体可从左阀口流入中阀口流出。[0010]3、热激励阀通常由激励器(加热元件)、变形梁或膜片和阀体等部分组成。利用双金属形变、热膨胀和热传导等原理制成的热电阀，它由双晶悬臂梁、凸形膜片和阀体等部分组成。双晶悬臂梁是一个由η型SI外延层、ρ型SI和金属化AI构成加热电阻的三层结构。这种阀的工作原理是，在未通电情况下，流体可直接射到凸形膜片上并产生一个向下的压力，使阀的出口关得更紧。当加热电阻通电后，由于SI、AI两种材料的热膨胀系数不同使悬臂梁向下弯曲，将阀的入口加大，流体射入凸形膜片下部产生一个压力又使膜片上凸，从而打开阀门出口使流体涌出。该阀的加工采用化学蚀刻、外延生长、硅片直接键合和阳极化焊接等工艺，外形尺寸为14. 5*8. 5*1. 45mm，悬臂梁的工作频率可达IKHz。[0011]4、静电激励阀结构是由顶、底导电聚合物壳和一个三层膜片结构组成。顶底壳作为激励电极，膜片由两层聚酞亚胺和放在它们中间的一层金组成。这种阀的工作原理是，当给激励电极加以电压后，可挠性膜片将根据电压的方向和大小不同，产生凸凹形变，从而使谐振腔内产生相应方向与大小的脉冲压力打开或关闭阀的出入口。该阀的加工采用表面微加工、模压、蚀刻、钻孔和LIGA等工艺。膜片的直径3. 3mm、厚25um。[0012]5、磁激励阀磁激励阀的结构是由上下阀座、活门和磁激励器等部分组成。活门由多晶硅和磁性材料构成。这种阀的工作原理是，在激励器产生的磁场作用下，位于磁路中的活门受力向上或向下运动，使输入的流体向上或向下运动。该阀的加工采用热氧化、外延生长、蚀刻和LPCVD等工艺。活门的尺寸为40*40*lum，阀的总面积小于100*100um。它的主要特点是尺寸小、驱动力大，并适用于导电液体的输送。[0013]6、电磁/(或)静电激励阀其是将电磁、静电两种激励方式结合在一起制成微型阀，它由永久磁铁和放在磁铁之间的两块硅片组成。上面的硅片有锥形气流入口和顶电极； 下面的硅片用4根悬臂梁将表面涂有金属电极的可挠性膜片托起，并与入口形成一个扁谐振腔。这种阀的工作原理是，利用加给膜片电极之间的脉冲电压Ul产生的洛仑兹力和加给膜片与反向顶电极之间的脉冲电压U2产生库仑力使膜片变形以打开或关闭阀口 ；实际中将Ul的脉冲持续时伺设计得很短，而U2的持续时间较长，因此当Ul正脉冲关闭阀口时，U2 同时关闭阀口并在Ul消失后保持一段时间阀的关闭，直至第2个Ul负脉冲打开阀口时U2 同时转换并又维持一段时间到下一个Ul正脉冲时转换。Ul起状态转换作用，U2起状态保持作用。该阀的加工采用标准IC和LPCVD、各向异性蚀刻等工艺，芯片尺寸为8*2*3mm。[0014]7、记忆合金阀记忆合金阀(SMA)是在高温下烧制成一定形状，冷却后可用作敏感或执行元件，当通电将它加热到一定温度时，它将产生恢复或部分恢复原有形状的力。利用这种特性制成的SMA梁式常工阀，它由SMA梁、聚亚胺膜片、垫块、阀座和通气管等部分组成。这种阀的工作原理是，当给SMA梁通电后，它的形变通过垫块传给膜片，使膜片向下凹变挡住通气管，从而关闭阀门。该阀的加工采用激光切割、电解光刻、自旋镀膜等工艺，SMA 梁为NiT材料，阀座的内、外直径分别为0. 5mm和1mm。膜片厚度为3um。开关阀的响应时间为 0. 5-1. 2s。[0015]8、压电阀压电阀是把压电技术引入到气动阀中的一项新技术。在晶体构造中施加的张紧力、压应力或切应力，除了产生相应的变形外，还将在晶体中诱发出介电极化或电场。这一现象被称为正压电效应；反之，若在这种晶体上加上电场，从而使该晶体产生电极化，则晶体也将同时出现应变或应力，这就是逆压电效应。两者通称为压电效应。压电阀即是利用压电逆效应而研制的。[0016]压电阀是利用压电材料的变形量正比和施加在其上的电场强度这一特点，开发的一项比例调压阀。由于压电阀片在变形过程中不受机械摩擦力，且具有响应速度快的特点， 可满足高速系统的应用要求；相对于上述的微型泵阀，具有功耗低、响应快、没有电磁干扰、 寿命长及不会发热等优点。[0017]小结[0018]上述的无激励源阀(无源阀)结构较为简单、无激励装置，可以批量加工，适于微型泵或微型系统中；[0019]上述的各种有激励源阀，易于集成化并具有优良的动态特性，适于与硅热流量传感器一体化的应用，气动密封性好，弹性模量低等特点并与IC工艺兼容；[0020]上述的静电与电磁阀可以控制流量的方向且功耗低；[0021]上述的记忆合金阀可以在微小空间内输出高力值或大位移量，适于直接与微型系统执行元件配套；[0022]上述的压电阀具有灵敏度高、响应速度快，可满足高速系统的应用要求；相对于上述的微型泵阀，其有功耗低、响应快、没有电磁干扰、寿命长及不会发热等优点。在工业及过程自动化控制领域中有广阔的应用前景。[0023]但是上述背景技术虽有诸多的优点，但还存在不同程度的缺点和不足上述的各种阀体，结构比较复杂，加工工序多，工艺要求精湛，制造成本高昂，售价菲然，与压电泵产品配套对输送(介质)液体具有苛刻的条件和要求，且装配工艺复杂，综合成本高，产品的配套能力较差，市场难以推广和普及。[0024]在背景专利技术，本专利发明人曾在已授权的发明专利“超微型电子泵”ZL01U8771.3 ；“一种超微型液压式电子泵及其制作工艺方法”ZL 02114467. 2 ； “超微型液压式电子泵” ZL 02114470.2 ； “一种用于制造微型泵的压电陶瓷片和微型气泵” ZL200510012575. 6 ；“用于电子产品及CPU散热冷却系统的压电陶瓷泵” ZL200910109281.3中描述过多种型(形)状各异、不同材质结构、加工简单，价格低廉的金属和硅胶膜单悬臂梁阀、弹簧硅胶膜片阀、弹簧硅胶球阀、矩形弹性膜片阀、针阀，这些阀体不但具有背景技术的诸多优点、而且具有背景技术无可比拟的价格优势和制造成本优势，其原因是当压电振子的周边被夹持固定后产生的径向拉抻和变形、限制压电振子只能向上隆起产生凸凹变形的轴向机械运动，设置的泵阀进液口，可有效提高泵阀开合的灵敏度和自如性，并可利用低成本制作性能良好，结构简单实用的单向阀，制造这种单向阀只要几分钱，而前面所述的背景技术的微型泵泵阀需要几十元，甚至是几百元，本专利发明人的专利技术与上述背景技术的微型泵泵阀——无激励源阀(无源阀)、压电激励阀、热激励阀、静电激励阀、磁激励阀、电磁/静电激励阀、记忆合金阀、压电阀相比、制造成本是原来微型泵泵阀的千分之一，甚至是万分之一。[0025]尽管上述背景专利技术具有诸多的优点和特性，但在产业化和大批量生产中，仍会出现产品的一致性和气密性较差的现象，由此导致产品的二次返工率较高，难以提高工效。其主要原因是[0026]1、以不同形状，不同结构制作的金属、单悬臂梁阀很难用工艺工装保证安装阀体的平整度，以及固定泵阀强度的合适度，因而造成泵阀一致性和气密性效果差现象，影响泵的整体工作性能。[0027]2、此外在长时间工作中，由于流体(如水)中介质的附着物影响，会慢慢积累一定的杂质或污垢，将悬臂梁托垫架起，使阀体密封垫不能复位造成泄压和漏气现象，降低泵的工作性能。[0028]3、其金属、单悬臂梁阀固定端极易出现高频运动造成的撕裂、变形和移位现象，造成阀膜密封处泄压和漏气现象，影响压电泵自吸效果、降低压电泵的整体工作性能，和流体 (气体)运动速度和传速效率。三、发明内容[0029]本实用新型的目的是克服以上现有技术存在的不足，发明一种用于配套压电泵的高效单向阀，也就是研制一种专用于(流体)压电泵的伞形阀。其特点是该阀体具有整体开启的过流特性、具有结构简单、方便实用、开合自如、灵敏度高、响应速度快、密封效果好、 制造成本低、工作性能良好的特点，彻底解决了压电泵泵阀生产装配的现有工装工艺所带的问题，并适宜工业化生产。[0030]本实用新型的目的是通过泵阀结构设计，泵阀固定支架设计配合合理，提高泵阀的装配工艺，优化泵腔，达到泵阀的开启受力均勻、截止性能好，自吸能力好的目的。通过测试，工作效率与上述背景技术泵阀相比，提高30 % -100 %以上。[0031]本实用新型具有结构简单、响应速度快、体积小、重量轻、无噪音、压力大、不泻压、 止逆效果好、安装使用方便等特点。可为不同型号的、各种各样的压电泵产品配套，适用于科研、水处理采样、仪器仪表、化工分析、医疗器械、医药卫生、生物医学、生物工程、自动控制、水处理、精密计量、实验检测、微流量配给、微全分析系统、芯片实验室和PCR芯片等多种流体，包括气体、水、特别是液体领域和场合。[0032]为了实现上述目的，本实用新型的技术解决方案如下为了更好地说明和理解技术内容，下面所述零部件后括号内带上标号，故烦同时参看附图和标号说明。[0033]1、专用于压电泵的伞形阀，其特征是由伞形阀和阀架组成，伞形阀的阀柄穿过并位于阀架中心通孔，该阀架中心通孔周围分布有可整体开启和关闭的过流通孔(6)，该过流通孔(6)与张开的伞形阀伞做开启和关闭的配合的对应。[0034]2、所述的专用于压电泵的伞形阀，其特征是所述的伞形阀是伞形阀A 1，其阀柄上有限位凸台(5)，张开的伞形上面凸起，张开的伞形下面为平面作为与阀架过流通孔(6) 流体进出口的配合面。[0035]3、所述的专用于压电泵的伞形阀，其特征是所述的伞形阀是伞形阀B 2，其阀柄上有限位凸台( ，张开的伞形上面为平面，张开的伞形下面为向下的圆形斜面或者是圆形弧面，作为与阀架过流通孔(6)流体进出口的配合面。[0036]4、所述的专用于压电泵的伞形阀，其特征是所述的伞形阀其阀柄上有限位凸台 (5)，张开的伞形上面为凸起或者平面，张开的伞形下面为向上的圆形斜面或者是圆形弧面，作为与阀架过流通孔(6)流体进出口的配合面。[0037]5、上述所述的任意一种专用于压电泵的伞形阀，其特征是伞形阀为伞形结构的单向阀，其材质为硅橡胶，阀体比重0. 95-1. 4g/m3之间，厚度0. 30-0. 8毫米之间，肖氏硬度在48-56度之间，也包括上述数值之间其中的任意一个数。[0038]6、上述所述的任意一种专用于压电泵的伞形阀，其特征是伞形阀为伞形结构的单向阀，其材质为硅橡胶，阀体比重在1. 1-1. 2g/m3之间，厚度在0. 45-0. 55毫米之间，肖氏硬度在49-52度之间，也包括上述数值之间其中的任意一个数。[0039]7、上述所述的任意一种专用于压电泵的伞形阀，其特征是在伞形阀和阀架互相配合面上涂装甲基硅油。[0040]换一个角度来说，本实用新型的技术解决方案和优点与效果是[0041]1、设计制作一种伞形结构的，单向阀，其特点是可在不改变尺寸的情况下，以此件为基准制作上述不同型号的各种各样的伞形结构的单向阀；可适用于为不同型号的、各种各样的压电泵产品配套。[0042]2、设计一种伞形结构的单向阀，该单向阀主要技术特点为阀片材质为硅橡胶，阀体比重、厚度、肖氏硬度都有一个取值范围，根据负载工作压力的需要，调整泵阀材质的比重、软硬度和厚度，而适应泵阀与压电陶瓷换能片的跟从和配合，提高压电气泵的泵阀密封效果和工作性能。[0043]3、设计一种泵阀固定支架，该固定支架具有结构简单、安装使用方便的特点，该固定支架的特点是固定支架即是泵腔中相连接的一个重要组成部分，可在固定支架的周边、 增加或减少密封圈直径大小即可改变泵腔容积，使压力增大或者减小。[0044]4、本实用新型具有简单、实用、紧凑、制造成本低的优点和特性。[0045]5、本实用新型彻底改变了背景技术存在的缺点和不足是，它不需要背景技术复杂的加工工艺和加工工序，而是利用整体开启阀的过流特性和本实用新型的技术特点，使阀体进、出两端面上产生均勻的压力差，从而自动的稳定的实现开启和关闭工作，达到单向阀的作用。本实用新型的伞形单向阀与上述的背景技术微型泵泵阀相比较，具有明显的性价比综合特征；与上述背景技术微型泵泵阀制造成本相比，是其制造成本的千分之一，甚至是万分之一。[0046]6、为了对伞形的单向阀结构等参数进行测试，通过有限元仿真推导其理论流量及过流面积公式，同时结合实验数据对伞形单向阀结构设计、性能对比、过流特性、泄漏、耐压等特性进行测试，优化泵腔结构，解决泵阀固定支架圆盘面积和进液、排液过流面积之间的结构设计及其相互合理配比，提高泵阀的跟从性和压电泵的整体工作效率。性能稳定，安全可靠。[0047]7、为了减少整体开启伞形单向阀运动中机械摩擦带来的工作噪音，同时增强泵阀的开合强度，采用了在伞形阀和阀架互相配合面上涂装甲基硅油(市售的各种型号的甲基硅油均可)的工艺。需要说明的是甲基硅油具有卓越的耐高温性、耐低温性，优良的电绝缘性，良好的耐老化性，具有低的表面张力，具有无毒无味的生理惰性，粘温系数低，压缩性较高，挥发性低，润滑性较好等。因而整体开启伞形单向阀工作噪音低、开合自如、灵敏度高、 响应速度快、尤其是伞形单向阀在运动过程中可以防止其偏移，提高泵阀的密封性、工作性能稳定、自吸能力良好。[0048]本实用新型的结构包括但不限于上述结构。
[0049]图1(a)是本实用新型的实施例1伞形阀A的结构示意图；图1 (b)本实用新型的实施例2伞形阀B的结构示意图；图2(a)是图1(a)中实施例1的工作原理剖视示意图；图 2(b)是图1(b)中实施例2的工作原理剖视示意图；图3是本实用新型的实施例1中阀架 A的第一种结构示意图，图4是图3的A-A剖视图；图5是本实用新型的实施例1中阀架A 的第二种结构示意图，图6是图5的B-B剖视图；图7是本实用新型的实施例1中阀架A的第三种结构示意图，图8是图7的C-C剖视图；图9是本实用新型的实施例2中阀架B的第一种结构示意图，图10是图9的D-D剖视图；图11是本实用新型的实施例2阀架B的第二种结构示意图，图12是图11的E-E剖视图；图13是本实用新型的实施例2阀架B的第三种结构示意图，图14是图13的F-F剖视图；图15是本实用新型的阀架上装配两个进、出伞形阀的结构示意图。[0050]上述图中标号说明1.伞形阀A，2.伞形阀B，3.阀架A，4.阀架B，5、限位凸台，6、 过流通孔。五具体实施方式
[0051]参见图1(a)，这是一个伞形阀，阀柄(伞把或者称作手把)上有限位凸台5，该限位凸台5截面呈“一”字形、“十字”形、“三点”形、“圆”形等形状；张开的伞形上面凸起， 张开的伞形下面为平面作为与阀架过流通孔6流体进出口配合的一个面，这个结构可称为 “伞形阀A 1”。[0052]参见图1(b)，这个伞形阀与上述结构基本相同，不同点是在张开的伞形上面为平面，下面为向下的斜面(图示)，作为与阀架过流通孔6流体进出口配合的一个面，这个结构可称为“伞形阀B 2”。[0053]实施例1 参见图2(a)，这是一个伞形阀A 1与阀架A 3相连接配合的结构，伞形阀A 1中伞柄通过(或者说穿过)并位于阀架A 3中心的孔，其伞柄上的限位凸台5卡在阀架A 3通孔外，由于流体作用在伞形阀A 1伞面上下两侧的压力不同，使伞形阀A 1张开的伞形平面可上下往复运动，就像飞翔的蝴蝶翅膀上下运动一样，该伞形阀A 1张开的伞形下平面与阀架A 3上面的流体进出口过流通孔6作开启和关闭的配合，该过流通孔6具有整体开启和关闭的特性。另外还有一种上下运动方式，当伞形阀A 1中伞柄上的限位凸台5卡在阀架A 3通孔外较远的地方，如有0.3-1毫米远处，则伞形阀A 1整体可上下往复运动；或者伞形阀A 1整体和伞面可共同可上下往复运动；总之来实现伞形阀A 1张开的伞形下平面与阀架A 3上面的流体进出口过流通孔6作整体开启和关闭的配合。[0054]实施例2:参见图2(b)，与图2(a)基本相同，不同点是图2 (b)中的伞形阀是伞形阀B 2，这是一个伞形阀B 2与阀架B 4相连接配合的剖视示意图，可上下的伞形阀B 2中伞柄通过并位于阀架B 4的中心孔中，其伞柄上的限位凸台5卡在阀架B 4通孔外面，由于流体作用在伞形阀伞面上下两侧的压力不同，使伞形阀B 2张开的伞形下斜面与阀架B 4 上面的流体进出口过流通孔6作开启和关闭的配合，为了配合的更好，伞形阀B 2张开的伞形下斜面与阀架B 4上面的斜面相对应且作为彼此的配合面，过流通孔6就是位于这个阀架B4斜面上面的。[0055]实施例3 就是上面的两个实施例的综合，即所述的伞形阀其阀柄上有限位凸台 5，张开的伞形上面为凸起或者为平面，张开的伞形下面为向上的圆形斜面或者是圆形弧面，作为与阀架过流通孔(6)流体进出口的配合面。[0056]参见图3和图4，阀架A 3作为第一种结构示意图，中心通孔是用作穿过伞形阀阀柄的，该中心通孔周围均布三个截面呈弧形槽的过流通孔6，用作流体通过的孔道。[0057]参见图5和图6，阀架A 3作为第二种结构示意图，基本同图3和图4，不同之处是阀架A 3中心通孔周围均布四个截面呈弧形槽的过流通孔6。[0058]参见图7和图8，阀架A 3作为第三种结构示意图，基本同图3和图4，不同之处是阀架A 3中心通孔周围均布三个截面呈园形的过流通孔6。当然该过流通孔6也可有2、4、 5、6个等均布。[0059]参见图9和图10，阀架B 4作为第一种结构示意图，中心通孔是用作穿过伞形阀阀柄的，该中心通孔周围均布三个截面呈弧形槽的过流通孔6，用作流体通过的孔道。与图3 和图4基本相同，不同点是采用的阀架B 4，图10中阀架B 4下底面呈圆形弧面(圆弧面) 或者呈圆形斜面作为与伞形阀B 2的开启和关闭的配合面。从图10看阀架B 4下底面剖面呈圆弧线，从立体角度看是个凹下的园球面(圆形弧面)。[0060]参见图11和图12，阀架B 4作为第二种结构示意图，基本同图9和图10，不同点是该阀架B 4中心通孔周围均布四个截面呈弧形槽的过流通孔6。[0061]参见图13和图14，阀架B 4作为第三种结构示意图，基本同图9和图10，不同点是该阀架B 4中心通孔周围均布三个截面呈圆形的过流通孔6。当然该过流通孔6可有2、 4、5、6个等均布。[0062]参见图15，在阀架A 3上装配两个一正一反的伞形阀A 1，可作为进、出流体的阀门。这也是上述各个伞形阀在阀架上的工作状态示意图。[0063]需要说明的是[0064]1、上述阀架A 3、阀架B 4上的各种截面不同的、数量不同的过流通孔6均属于流体的通道，都是与伞形阀张开的伞形面作为流体进出口配合面。[0065]2、伞形阀张开的伞形下面为平面或者为向下的圆形斜面或者是向下的圆形弧面， 伞形阀张开的伞形下面还可以是向上的圆形斜面或者是圆形弧面，均可作为与阀架过流通孔(6)流体进出口的配合面。[0066]3、伞形阀为伞形结构的单向阀，其材质为硅橡胶，阀体比重0. 95-1. 4g/m3之间，厚度0. 30-0. 8毫米之间，肖氏硬度在48-56度之间，也包括上述数值之间其中的任意一个数， 如阀体比重为 0. 96,0. 97,0. 98,0. 99,1. 00,1. 01,1. 02,1. 03,1. 04,1. 05,1. 06,1. 07,1. 10、 1. 11,1. 12、1. 13、1. 14、1. 15、1. 16、1. 17、1. 18、1. 19、1. 20、1. 25、1. 30、1. 35、1. 38、1. 39、 1. 4 等 g/m3 ；如阀体厚度为 0. 31,0. 32,0. 33,0. 34,0. 35. · · 0. 4,0. 50,0. 60,0. 65,0. 70、 1. 75,0. 78,0. 79、0. 8等毫米；如阀体肖氏硬度在48、49、50、51、52、53、M、55、56度。根据测试伞形阀的阀体比重在1. l_1.2g/m3之间，厚度在0. 45-0. 55毫米之间，肖氏硬度在49-52 度之间时，效果显得较好。[0067]4、以上仅为本实用新型之较佳实施例，但其并不限制本实用新型的实施范围，即不偏离本实用新型的权利要求所作之等同变化与修饰，仍应属于本实用新型之保护范围。
权利要求1.专用于压电泵的伞形阀，其特征是由伞形阀和阀架组成，伞形阀的阀柄穿过并位于阀架中心通孔，该阀架中心通孔周围分布有可整体开启和关闭的过流通孔(6)，该过流通孔(6)与张开的伞形阀伞做开启和关闭的配合的对应。
2.根据权利要求1所述的专用于压电泵的伞形阀，其特征是所述的伞形阀是伞形阀A (1)，其阀柄上有限位凸台(5)，张开的伞形上面凸起，张开的伞形下面为平面作为与阀架过流通孔(6)流体进出口的配合面。
3.根据权利要求1所述的专用于压电泵的伞形阀，其特征是所述的伞形阀是伞形阀B O)，其阀柄上有限位凸台(5)，张开的伞形上面为平面，张开的伞形下面为向下的圆形斜面或者是圆形弧面，作为与阀架过流通孔(6)流体进出口的配合面。
4.根据权利要求1所述的专用于压电泵的伞形阀，其特征是所述的伞形阀其阀柄上有限位凸台(5)，张开的伞形上面为凸起或者平面，张开的伞形下面为向上的圆形斜面或者是圆形弧面，作为与阀架过流通孔(6)流体进出口的配合面。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的专用于压电泵的伞形阀，其特征是伞形阀为伞形结构的单向阀，其材质为硅橡胶，阀体比重0. 95-1. 4g/m3之间，厚度0. 30-0. 8毫米之间， 肖氏硬度在48-56度之间，也包括上述数值之间其中的任意一个数。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的专用于压电泵的伞形阀，其特征是伞形阀为伞形结构的单向阀，其材质为硅橡胶，阀体比重在1. 1-1. 2g/m3之间，厚度在0. 45-0. 55毫米之间，肖氏硬度在49-52度之间，也包括上述数值之间其中的任意一个数。
7.根据权利要求1-4任意一项所述的专用于压电泵的伞形阀，其特征是在伞形阀和阀架互相配合面上涂装甲基硅油。
专利摘要本实用新型涉及一种专用于压电泵的伞形阀。
背景技术：
中的微型泵泵阀有无激励源阀、压电激励阀、热激励阀、记忆合金阀、压电阀等，都存在一定的缺点，如上述的各种阀体，结构比较复杂，制造成本高昂，有的出现产品的一致性和气密性较差的现象。本实用新型的目的是研制一种专用于压电泵的伞形阀。结构是由伞形阀和阀架组成，伞形阀的阀柄穿过并位于阀架中心通孔，该阀架中心通孔周围分布有过流通孔，该过流通孔与张开的伞形阀伞做开启和关闭的对应配合。优点和用途是具有结构简单、灵敏度高、密封效果好、制造成本低、工作性能良好的特点，适用于水处理、化工分析、医疗器械、生物医学、自动控制等多种流体，包括气体、水、特别是液体领域和场合。
文档编号F04B53/10GK202273846SQ20112032484
公开日2012年6月13日 申请日期2011年8月31日 优先权日2011年8月31日
发明者杨竹君, 胡军 申请人:杨竹君, 胡军