一种抽真空泵机组的制作方法

文档序号:5442165阅读:118来源:国知局
专利名称:一种抽真空泵机组的制作方法
技术领域
本实用新型涉及抽真空设备,具体涉及一种抽真空泵机组。
背景技术
目前非晶硅太阳能电池生产领域在进行硅基镀膜这一工序时,是在沉积炉里完成的,而生产时沉积炉内需要有很高的真空度,所以有很多厂家就使用由一个高真空泵为主泵串联一个前级泵组成的抽真空泵机组来对沉积炉进程抽真空,这种组合真空度高,但是因为高真空泵与前级泵的名义抽速之比一般在4 : I至10 : I之间,所以当机组遇到突然断电的情况时,高真空泵会因为惯性而将前级泵内的真空油吸入到高真空泵并会沿着管道污染沉积室,造成沉积室内镀膜玻璃的污染甚至报废。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种抽真空泵机组,抽真空度高、防回油,成本低又节倉泛。为了解决背景技术中所存在的问题,本实用新型采用以下技术方案它包括有罗
茨泵、罗茨泵排气管、滑阀真空泵、滑阀真空泵进气管、压差阀;所述的罗茨泵排气口接罗茨泵排气管一端,滑阀真空泵进气口接滑阀真空泵进气管一端,罗茨泵排气管另一端与滑阀真空泵进气管另一端用压差阀连接。当机组正常运转时,压差阀两端压力相等,压差阀不工作,当遇到突然断电时,罗茨泵与滑阀真空泵会因为惯性继续运转,但因他们的抽速之比比较大而导致压差阀两端压力两端压力不相等,这时压差阀就会依靠被调介质自身压力变化进行自动调节,自动消除管线的剩余压力及压力波动引起的流量偏差而使压差阀两端压力平衡,直至罗茨泵与滑阀真空泵停止运转,从而避免了罗茨泵回吸真空油情况的出现,另外压差阀在工作时不需通电或额外提供动力。本实用新型抽真空度高、防回油,成本低又节能。

图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
参见图1,一种抽真空泵机组,它包括有罗茨泵I、罗茨泵排气管2、滑阀真空泵3、滑阀真空泵进气管4、压差阀5;所述的罗茨泵I排气口接罗茨泵排气管2 —端,滑阀真空泵3进气口接滑阀真空泵进气管4 一端,罗茨泵排气管2另一端与滑阀真空泵进气管4另一端用压差阀5连接。当机组正常运转时,压差阀5两端压力相等,压差阀5不工作,当遇到突然断电时,罗茨泵I与滑阀真空泵3会因为惯性继续运转,但因他们的抽速之比比较大而导致压差阀5两端压力两端压力不相等,这时压差阀5就会依靠被调介质自身压力变化进行自动调节,自动消除管线的剩余压力及压力波动引起的流量偏差而使压差阀5两端压力平衡,直至罗茨泵I与滑阀真空泵3停止运转,从而避免了罗茨泵I回吸真空油情况的出现,另外压差阀5在工作时不需通电或额外提供动力。本实用新型抽真空度高、防回油,成本低 又节能。
权利要求1.一种抽真空泵机组,其特征在于,它包括有罗茨泵(I)、罗茨泵排气管(2)、滑阀真空泵(3)、滑阀真空泵进气管(4)、压差阀(5); 所述的罗茨泵(I)排气口接罗茨泵排气管(2) —端,滑阀真空泵(3)进气口接滑阀真空泵进气管(4) 一端,罗茨泵排气管(2)另一端与滑阀真空泵进气管(4)另一端用压差阀(5)连接。
专利摘要一种抽真空泵机组,它涉及抽真空设备。它包括有罗茨泵、罗茨泵排气管、滑阀真空泵、滑阀真空泵进气管、压差阀,所述的罗茨泵排气口接罗茨泵排气管,滑阀真空泵进气口接滑阀真空泵进气管,罗茨泵排气管与滑阀真空泵进气管之间用压差阀连接,压差阀会依靠被调介质自身压力变化进行自动调节,自动消除管线的剩余压力及压力波动引起的流量偏差而使压差阀两端压力平衡,压差阀在工作时不需通电或额外提供动力。本实用新型抽真空度高、防回油,成本低又节能。
文档编号F04B37/14GK202673613SQ20122025388
公开日2013年1月16日 申请日期2012年5月25日 优先权日2012年5月25日
发明者怀忠庆, 姚群 申请人:合肥圣泰光电科技有限公司
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