专利名称：一种冷却装置的制作方法
技术领域：
一种冷却装置 技术领域[0001]本实用新型涉及冷却器技术领域，特别是一种用于分子泵的冷却装置。
背景技术：
[0002]分子泵是一种常用的真空获得设备，其内部成型有腔室，在腔室中安装有高转速 电机，工作时高速旋转的转子将腔室内的气体分子压缩，并使之获得定向速度至排气口排 出。分子泵腔室中的电机转子在高速旋转的过程中会产生很大的热量，为了保证分子泵的 性能，需要对分子泵泵体及腔室进行冷却。现有技术的一般方法是在铝制泵体上直接成型 水槽，并向水槽中通入冷却水对分子泵进行冷却。这种冷却方式直接有效，但是由于铝制泵 体的化学稳定性较差，冷却水和水槽长时间接触很容易发生化学反应，导致水槽被冷却水 腐蚀而发生漏水的情况，严重影响分子泵的使用寿命。[0003]为了防止分子泵被冷却水腐蚀，增加分子泵的使用寿命，现有技术如中国专利 CN102374800A公开了一种双层盘管冷却器，包括冷却器筒体，设置在冷却器筒体上的冷却 水进口和冷却水出口，在冷却器筒体内装有双层盘管，双层盘管是由一根管道绕制而成的 内外层结构，外层结构的外层接口伸出冷却器筒体连接冷却水进口，内层接口伸出冷却器 筒体连接冷却水出口。[0004]如果将上述双层盘管结构用作分子泵的冷却装置，可以防止冷却水与分子泵的泵 体直接接触，防止漏水情况的发生，确保分子泵的使用寿命。但是双层盘管主要用于放置在 筒体内部并通过对流换热对筒体内的流体进行冷却，而分子泵内部腔室的气压变化明显， 如果将双层盘管直接安装在分子泵的腔室中，双层盘管很可能无法承受压力的变化而导致 破裂，可靠性很低；如果将双层盘管设置在腔室外，为了保证冷却装置的效果，则需要双层 盘管与分子泵的泵体紧密贴合，但是，盘管内外层结构的特点使得装配人员在安装过程中 很难通过一般工艺将盘管和泵体紧密贴合，装配难度很大。实用新型内容[0005]本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中的分子泵冷却装置存在可靠性 低且装配难度大，而提供了一种可靠性高且容易装配的冷却装置。[0006]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下[0007]—种冷却装置，设置在分子泵的泵体上，用于冷却所述泵体及所述泵体内的腔室； 所述冷却装置包括，[0008]冷却管，其两端分别与所述泵体上预置的入口和出口配合，用于通入冷却介质；[0009]所述冷却管盘设于所述泵体内的同一水平面上。[0010]上述冷却装置中，所述冷却管包括内管、外管和连接管，所述连接管用于连接所述 内管和所述外管，且所述连接管与所述内管、所述外管的连接接口处的管径相等。[0011]上述冷却装置中，所述内管、所述外管和所述连接管的管径均相等。[0012]上述冷却装置中，所述冷却管在所述泵体上预置的入口和出口位置均设置有管接头。[0013]上述冷却装置中，所述泵体上成型有用于设置所述冷却管的凹槽。[0014]上述冷却装置中，所述凹槽为圆弧槽。[0015]上述冷却装置中，还包括[0016]盖板，用于将所述冷却管固定在所述凹槽中，所述盖板为圆环形板件，所述泵体和 所述盖板的相应位置分别成型有用于固定的螺纹孔。[0017]上述冷却装置中，所述冷却管为铜管。[0018]上述冷却装置中，所述连接管为圆弧形管。[0019]上述冷却装置中，所述连接管的弯曲半径为10mm。[0020]本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点[0021]①本实用新型的冷却装置，设置在分子泵的泵体上，冷却装置包括冷却管，冷却管 两端分别与泵体上预置的入口和出口配合，用于通入冷却介质，且冷却管盘设于泵体内的 同一水平面上。冷却管设置在分子泵腔室的外部，避免了腔室中气压的变化对冷却管的损 害，大幅降低了冷却管发生破裂的几率，提高了冷却装置的可靠性；并且，冷却管盘设于泵 体的同一水平面上，这样的设计，可以事先将冷却管成型，在安装时直接放置在分子泵泵体 的相应位置，极大地降低了冷却装置的装配难度。[0022]②本实用新型的冷却装置，内管、外管和连接管的管径均相等。这样的设计，冷却 介质在冷却管中平稳流动，避免了冷却管内部紊流对冷却管的损伤，提高了冷却装置的使 用寿命。[0023]③本实用新型的冷却装置，泵体上成型有用于设置冷却管的凹槽，且凹槽为圆弧 槽。这样的设计，冷却管与泵体紧密贴合，冷却管与泵体的接触面积较大，有利于热量的传 导，提升了冷却装置的冷却效果。[0024]④本实用新型的冷却装置，冷却管为铜管。与铝制材料相比，铜管的化学稳定性更 好，冷却管不会受到冷却介质的腐蚀而发生漏水，提高了冷却装置的使用寿命。
[0025]为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施 例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中[0026]图1是本实用新型冷却装置的装配示意图；[0027]图2是本实用新型泵体的俯视图；[0028]图3是本实用新型冷却管的俯视图。[0029]图中附图标记表示为1-泵体，11-凹槽，12-腔室，2-冷却管，21-内管，22-连接 管，23-外管，24-管接头，3-盖板。
具体实施方式
[0030]实施例一[0031]如图1-3所示，是本实用新型的冷却装置的优选实施例。所述冷却装置设置在分 子泵的泵体I上，用于冷却所述泵体I及所述泵体I内的腔室12，所述冷却装置包括冷却管 2和盖板3。在本实施例中，所述冷却管2为铜管。进一步地,所述冷却管2为直径8mm的无氧铜管。[0032]所述冷却管2盘设于所述泵体I内的同一水平面上，在本实施例中，所述泵体I上 成型有用于设置所述冷却管2的凹槽11，且所述凹槽11为圆弧槽。所述凹槽11的形状适 于与所述冷却管2紧密贴合，以提升所述冷却装置的冷却效果。[0033]所述冷却管2的两端分别与所述泵体I上预置的入口和出口配合，用于通入冷却 介质。在本实施例中，所述冷却管2在所述泵体I上预置的入口和出口位置均设置有管接 头24。进一步地，所述冷却介质为冷却水。[0034]所述冷却管2包括内管21、外管23和连接管22，其中所述连接管22用于连接所 述内管21和所述外管23。在本实施例中，所述内管21、所述外管23和所述连接管22为一 体成型的。进一步地，所述连接管22为圆弧形管，且所述连接管22的弯曲半径为10mm。[0035]在本实施例中，所述连接管22与所述内管21、所述外管23的连接接口处的管径相 等。进一步地，所述内管21、所述外管23和所述连接管22的管径均相等。[0036]所述盖板3用于将所述冷却管2固定在所述凹槽11中，所述盖板3为圆环形板件， 所述泵体I和所述盖板3的相应位置分别成型有用于固定的螺纹孔。在本实施例中，所述 螺纹孔沿所述盖板3的周向均匀分布，进一步地，所述螺纹孔的数目为四个。[0037]实施例二[0038]与实施例一相比，在本实施例中，所述内管21和所述外管23之间还设置有至少一 个主管，所述连接管22将所述内管21、所述主管、所述外管23依次连接形成所述冷却管2。 在本实施例中，所述主管的数目为一个。[0039]相应地，与实施例一相比，本实施例的所述凹槽11也需要进行相应的调整，以使 所述凹槽11适于与所述冷却管2紧密贴合。[0040]在其他实施例中，所述冷却管2的直径可以根据所述泵体I和所述腔室12的尺寸 变化，相应地，所述凹槽11的尺寸也需要进行相应调整，以使所述冷却管2可以与所述泵体 I紧密贴合。[0041]在其他实施例中，所述连接管22的弯曲半径还可以是15mm、18mm等。[0042]在其他实施例中，所述螺纹孔的数目还可以为三个、五个等。[0043]在其他实施例中，所述主管的数目还可以是两个或者三个，根据所述泵体I尺寸 的不同，可以选取不同的主管数目，相应地，所述凹槽11也需要进行相应调整。[0044]在其他实施例中，所述冷却介质还可为冷却液或冷却气体，同样可以实现本实用 新型的目的。[0045]在其他实施例中，所述冷却管2还可以是分体成型的。[0046]显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对 于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或 变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或 变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
权利要求1.一种冷却装置，设置在分子泵的泵体(I)上，用于冷却所述泵体(I)及所述泵体(I)内的腔室(12);所述冷却装置包括， 冷却管(2)，其两端分别与所述泵体(I)上预置的入口和出口配合，用于通入冷却介质； 其特征在于所述冷却管(2)盘设于所述泵体(I)内的同一水平面上。
2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于所述冷却管(2)包括内管(21)、外管(23)和连接管(22)，所述连接管(22)用于连接所述内管(21)和所述外管(23)，且所述连接管(22)与所述内管(21)、所述外管(23)的连接接口处的管径相等。
3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于所述内管(21)、所述外管(23)和所述连接管(22)的管径均相等。
4.根据权利要求3所述的冷却装置，其特征在于所述冷却管(2)在所述泵体(I)上预置的入口和出口位置均设置有管接头(24 )。
5.根据权利要求1-4任一所述的冷却装置，其特征在于所述泵体(I)上成型有用于设置所述冷却管(2)的凹槽(11)。
6.根据权利要求5所述的冷却装置，其特征在于所述凹槽(11)为圆弧槽。
7.根据权利要求6所述的冷却装置，其特征在于还包括 盖板(3)，用于将所述冷却管(2)固定在所述凹槽(11)中，所述盖板(3)为圆环形板件，所述泵体(I)和所述盖板(3)的相应位置分别成型有用于固定的螺纹孔。
8.根据权利要求7所述的冷却装置，其特征在于所述冷却管(2)为铜管。
9.根据权利要求8所述的冷却装置，其特征在于所述连接管(22)为圆弧形管。
10.根据权利要求9所述的冷却装置，其特征在于所述连接管(22)的弯曲半径为IOmm0
专利摘要一种冷却装置，设置在分子泵的泵体上，用于冷却所述泵体及所述泵体内的腔室；所述冷却装置包括冷却管，所述冷却管的两端分别与所述泵体上预置的入口和出口配合，用于通入冷却介质；并且所述冷却管盘设于所述泵体内的同一水平面上。本实用新型提供的冷却装置可靠性高且容易装配。
文档编号F04D29/58GK202851468SQ20122042069
公开日2013年4月3日 申请日期2012年8月23日 优先权日2012年8月23日
发明者邹蒙, 陈智勇 申请人:北京中科科仪股份有限公司