下层部件的固定装置及具有该固定装置的流体控制装置制造方法

下层部件的固定装置及具有该固定装置的流体控制装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种使调平作业变得容易且将基于弹性部件的振动吸收效果进一步提高的下层部件的固定装置、以及具有该固定装置的流体控制装置，该调平作业使下层部件的上表面彼此成为同一平面。该下层部件的固定装置构成为，一旦将下层部件（2）固定后，使所需要的下层部件（2）以抵抗弹性部件（21）的弹力的方式向上方移动，由此，能够将多个下层部件（2）的上表面位置微调整。弹性部件（21）是由橡胶或者合成树脂构成的环状体，在弹性部件的内周面的上部以及下部设有用于能够使弹性部件（21）相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口（21a）、（21b）。
【专利说明】下层部件的固定装置及具有该固定装置的流体控制装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种固定装置，另外还涉及具有该固定装置的流体控制装置，该固定装置例如在如下的流体控制装置中使用，该流体控制装置通过将多个接头(通路块接头)固定在支承部件上且以跨过这些接头的方式固定流体控制设备而组装得到，该固定装置将配置在支承部件与流体控制设备(上层部件)之间的通路块接头(下层部件)固定在支承部件上。
【背景技术】
[0002]在专利文献I中，作为本发明对象的下层部件的固定装置而公开了图7中所示的
>J-U装直。
[0003]在图7中，两个通路块接头(51)安装在支承部件(52)上，跨过两个接头(51)而安装有上层的流体控制设备(省略图示)。在各通路块接头(51)中设有在将通路块接头(51)向支承部件(52)安装时供接头固定螺栓(53)穿插的螺栓穿插孔(54)。在支承部件(52)上开设有在将通路块接头(51)安装到支承部件(52)上时使用的螺纹孔(55)。
[0004]各接头(51)的螺栓穿插孔(54)由大径部(54a)和小径部(54b)构成，该大径部(54a)具有比螺栓头部(53a)的直径更大的直径，该小径部(54b)经由层差部(54c)而与该大径部(54a)相连，并且具有尺寸处于螺栓头部(53a)的直径与螺栓轴部(53b)的直径之间的直径。
[0005]在螺栓穿插孔(54)的小径部(54b)中嵌入有圆筒状隔垫物(56)，该隔垫物(56)的下端支承在支承部件(52)上，上端位于大径部(54a)内。隔垫物(56)具有比螺栓轴部(53b)的直径更大的内径，并且具有比螺栓头部(53a)的直径更小的外径。在该隔垫物(56)中嵌入有接头固定螺栓(53)的轴部(53b)，该接头固定螺栓(53)的头部(53a)由隔垫物(56)的上端面支承。隔垫物(56)用来规定接头固定螺栓(53)的紧固量，当将接头固定螺栓(53)穿插到螺栓穿插孔(54)内并螺入至支承部件(52)的螺纹孔(55)中时，隔垫物(56)在接头固定螺栓(53)的头部(53a)与支承部件(52)之间顶撑，而使进一步的紧固无法进行。
[0006]在隔垫物(56)的上端部，嵌盖有外径与接头固定螺栓(53)的头部(53a)的直径大致相等的圆环状的橡胶垫圈(57)。橡胶垫圈(57)由接头固定螺栓(53)的头部(53a)与螺栓穿插孔(54)的层差部(54c)夹着。橡胶垫圈(57)的上下方向的长度设定为，在接头固定螺栓(53)的紧固完成状态下，在橡胶垫圈(57)上施加有压缩力。因此，两个接头(51)被橡胶垫圈(57)向支承部件(52)方向弹压。
[0007]根据这样的下层部件的固定装置，由于橡胶垫圈(57)具有弹性，所以能够使其进一步压缩变形，在两个接头(51)的上表面没有成为同一平面的情况下，能够使上表面较低的接头(51)向上方移动。
[0008]也就是说，形成如下的结构:一旦将各下层部件(51)固定后，使所需要的下层部件(51)以抵抗弹性部件(57)的弹力的方式向上方移动，由此，能够将多个下层部件(51)的上表面位置微调整。由此，能够简单地进行上层部件(51)的安装，并且，能够对夹在下层部件(51)与上层部件之间的所有的密封部施加适当的按压力，从而确保密封性。在此，在专利文献I中，作为弹性部件而例示了截面是矩形的橡胶垫圈(57)。
[0009]现有技术文献
[0010]专利文献1:日本专利第3774800号公报
[0011]根据上述专利文献I的下层部件的固定装置，当将用于固定下层部件的螺栓紧固时，隔垫物保持在螺栓头部与支承部件之间，此时，由于弹性部件将各下层部件朝向支承部件弹压，所以各下层部件不会晃动，另一方面，通过使弹性部件压缩弹性变形，而使上表面较低的下层部件向从支承部件离开的方向移动，而能够使下层部件的上表面彼此成为同一平面，由此，具有会使上层部件向下层部件的安装变得容易的优点。而且，弹性部件会吸收振动，由此，在防止一旦适当地紧固了的螺栓受到振动等的影响而松动这一点上也变得有利。
[0012]但是，在截面是矩形的弹性部件中，由于其压缩弹性变形量是有限的，所以在多个下层部件的上表面位置的微调整(调平)时，具有难以使下层部件的上表面彼此移动到成为同一平面为止的问题。

【发明内容】

[0013]本发明的目的是提供一种使调平作业变得容易且将基于弹性部件的振动吸收效果进一步提高的下层部件的固定装置、以及具有该固定装置的流体控制装置，该调平作业使下层部件的上表面彼此成为同一平面。
[0014]根据该发明的下层部件的固定装置，该下层部件的固定装置是将配置在支承部件与上层部件之间的带有螺栓穿插孔的下层部件通过螺栓而固定在支承部件上的装置，下层部件的螺栓穿插孔由大径部以及小径部构成，所述大径部具有比螺栓头部的直径更大的直径，所述小径部经由层差部与所述大径部的下方相连，并且具有尺寸处于螺栓头部的直径与螺栓轴部的直径之间的直径，在螺栓穿插孔的小径部中嵌入有圆筒状隔垫物，所述圆筒状隔垫物具有比螺栓轴部的直径更大的内径，并且其下端支承在支承部件上且其上端位于大径部内，在螺栓头部与层差部之间夹设有将下层部件向着支承部件弹压的弹性部件，所述下层部件的固定装置的特征在于，弹性部件在其外周面、内周面、上表面以及下表面的至少一个部位上设有用于能够使弹性部件相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口。
[0015]弹性部件在设置切口之前的截面形状是矩形、圆形(包括长圆形、椭圆形)、多边形等，优选为，将矩形(上下方向较长的矩形)的四个角切除得到的八边形。由此，弹性部件具有:与螺栓头部的下表面或者隔垫物的凸缘下表面抵接的上表面、与螺栓穿插孔的层差部抵接的下表面、与螺栓穿插孔的大径部的圆周面抵接的外周面、和与隔垫物的外周面抵接的内周面，在上表面、下表面、外周面以及内周面中的至少一个面上设有用于形成凹部的至少一个的切口。
[0016]优选为，弹性部件是由橡胶或者合成树脂构成的环状体。
[0017]弹性部件能够通过变形而使下层部件向上方移动，在使用仅能够压缩变形的弹性部件的结构中向上方的可移动量受到限制，与之相对，通过使弹性部件能够弹性弯曲变形，能够用较小的力进行下层部件的向上方的移动，能够容易进行使弹性部件的上表面彼此成为同一平面的调平作业。而且，弹性部件也能够通过弹性变形来吸收振动。[0018]隔垫物具有没有凸缘(圆筒体)的情况，还具有在上端部设有凸缘的情况。在隔垫物没有凸缘的情况下，弹性体配置在螺栓的头部下表面与层差之间，在隔垫物具有凸缘的情况下，弹性体配置在隔垫物的凸缘的下表面与层差之间。优选为，弹性部件配置在设于隔垫物上端部的凸缘的下表面与层差部之间。
[0019]切口的截面形状例如是大致矩形，但并不限定于此，也可以为三角形或者圆弧。
[0020]切口例如具有分别设在弹性部件的内周面或者外周面的上部以及下部的两个部位上(截面形状为大致横T字形)的情况。
[0021]而且，切口例如具有在弹性部件的内周面以及外周面的上下的中央部上分别各设有一个，合计设在两个部位上(截面形状为大致I字形或者大致Z字形)的情况。
[0022]而且，切口具有仅设在弹性部件的内周面或者外周面的上下的中央部的一个部位上的(截面形状为大致C字形或者大致口字形)情况。
[0023]而且，切口具有在弹性部件的内周面或者外周面的上部、下部以及中央部上分别各设有一个，合计设在三个部位上的(截面形状为大致横n字形)情况。
[0024]而且，切口具有在弹性部件的内周面以及外周面的上下的中央部和上表面以及下表面的中央部上分别各设有一个，合计设在四个部位上的情况。
[0025]切口并不限定于上述的构成，只要能够得到能够使弹性部件相对于上下方向的力弹性弯曲变形的作用，就能够进行各种变更。
[0026]根据本发明的流体控制装置，其具有:多个通路块接头，设有向上方开口的流体通路；多个流体控制设备，设有与通路块接头的流体通路连通且向下方开口的流体通路；多个密封部，夹设在通路块接头的流体通路与流体控制设备的流体通路之间的对接面中；支承多个通路块接头的支承部件；将各通路块接头安装到支承部件上的多个螺栓；和将各流体控制设备安装到通路块接头上的多个螺栓，所述流体控制装置的特征在于，通路块接头为下层部件，其通过上述任一项所述的下层部件的固定装置而安装在支承部件上。
[0027]此外，在本说明书中，上下是指附图的上下，该上下是为了便于说明而设定的，固定装置以及流体控制装置除了在如图所示的状态下沿水平面设置之外，也具有上下翻转地沿水平面设置，或者沿垂直面设置的情况。
[0028]发明的效果
[0029]根据本发明的下层部件的固定装置，弹性部件是由橡胶或者合成树脂构成的环状体，在弹性部件的外周面、内周面、上表面以及下表面的至少一个部位上设有用于使弹性部件相对于上下方向的力而能够弹性弯曲变形的切口，由此，与使用只能够压缩变形的弹性部件的结构相比，能够用较小的力进行下层部件的上下方向的移动，能够易于进行使弹性部件的上表面彼此成为同一平面的调平作业。而且，在弹性部件上施加有振动时，弹性部件通过弹性变形来吸收该振动，因此，能够提高使用了本发明的下层部件的固定装置的装置(例如流体控制装置)的振动吸收效果。
【专利附图】

【附图说明】
[0030]图1是将表示使用了本发明的下层部件的固定装置的流体控制装置的一个实施方式的一部分剖切了的侧视图。
[0031]图2是本发明的下层部件的固定装置的主要部分的放大剖视图。[0032]图3的(a)表示使下层部件从图2的状态向上方移动了的状态，图3的(b)表示与其相对应的现有装置的状态。
[0033]图4是表示在本发明的下层部件的固定装置中所使用的弹性部件的示例的剖视图。
[0034]图5是表示在本发明的下层部件的固定装置中所使用的弹性部件的其他示例的首1J视图。
[0035]图6是说明下层部件的固定装置的调平功能的图。
[0036]图7是表示现有的下层部件的固定装置的侧剖视图。
[0037]附图标记说明
[0038](2)、(3)通路块接头(下层部件)
[0039](4)、(5)、(6)、(7)流体控制设备(上层部件)
[0040](9)支承部件
[0041](10)螺栓
[0042](IOa)螺栓头部
[0043](11)螺栓穿插孔
[0044](Ila)大径部
[0045](IOb)螺栓轴部
[0046](Ilb)小径部
[0047](Ilc)层差部
[0048](I2)隔垫物
[0049](21)、(22)、(23)、(24)、(25)、(26)、(27)弹性部件
[0050](21a)、(21b)、(22a)、(22b)、(23a)、(23b)、(24a)、(24b)、(25a)、(26a)、(26b)、(26c)、(27a)、(27b)、(27c)、(27d)切口
【具体实施方式】
[0051]参照以下【专利附图】

【附图说明】本发明的实施方式。在以下的说明中，上下，是指图1的上下。
[0052]图1示意地表示使用有本发明的下层部件的固定装置的流体控制装置的一例。流体控制装置(I)在半导体制造装置等中使用，其具有:多个通路块接头(下层部件)(2),(3),设有向上方开口的流体通路；多个流体控制设备(上层部件)(4)、(5)、(6)、(7)，设有与通路块接头(2)、(3)的流体通路连通且向下方开口的流体通路；多个密封部(省略图示)，夹设在通路块接头(2)、(3)的流体通路和设置于流体控制设备(4)、(5)、(6)、(7)的主体(4a)、(5a)、(6a)、(7a)上的流体通路之间的对接面中；支承多个通路块接头(2)、(3)的支承部件
(9);将各通路块接头(2)、(3)安装到支承部件(9)上的多个螺栓(10);和将各流体控制设备(4)、(5)、(6)、(7)安装于通路块接头(2)、(3)上的多个螺栓(20)。
[0053]如后所述，在通路块接头(2)、(3)的固定时，在螺栓(10)的基础上，还使用了隔垫物(12)以及弹性部件(21)。
[0054]图2放大表示本发明的下层部件的固定装置，下层部件的固定装置是通过螺栓
(10)而将上述的通路块接头(下层部件)(2)固定到支承部件(9)上的装置，如图2所示，在下层部件(2)上设有由大径部(Ila)以及小径部(Ilb)构成的螺栓穿插孔(11)，该大径部(Ila)具有比螺栓头部(IOa)的直径更大的直径，该小径部(lib)经由层差部(11c)与大径部(I Ia)的下方相连，并且具有尺寸处于螺栓头部(IOa)的直径与螺栓轴部(IOb)的直径之间的直径，在螺栓穿插孔小径部(Ilb)中嵌入有带凸缘(12a)的圆筒状隔垫物(12)，该隔垫物(12)具有比螺栓轴部(IOb)的直径更大的内径，并且其下端支承在支承部件(9)上，其上端在大径部(Ila)内支承螺栓头部(10a)，在隔垫物(12)的凸缘(12a)的下表面和层差部(He)之间夹有将下层部件(2)向下方(朝向支承部件(9))弹压的环状的弹性部件(21)。而且，配置在支承部件(9)与上层部件(4)、(5)、(6)、(7)之间的带有螺栓穿插孔(11)的下层部件(2)，通过螺栓(10)而安装于支承部件(9)上。此外，隔垫物(12)也可以没有凸缘(12a)，在该情况下，弹性部件(21)夹在螺栓头部(IOa)的下表面和层差部(lie)之间。
[0055]根据本发明的下层部件的固定装置，在弹性部件(21)的形状中具有特征，弹性部件(21)是由橡胶或者合成树脂构成的环状体，并且，在图2所示的上层部件(用附图标记(5a)表示上层部件的主体)固定前的形状中，在其外周面的上下部设有切口(21a)、(21b)，由此，能够使弹性部件(21)弹性弯曲变形。
[0056]图6是说明下层部件的固定装置的调平功能的图，表示上层部件固定前(图6的Ca))与固定后(图6的(b))的位置关系。在图6中，螺栓(10)将隔垫物(12)固定于支承部件(9)上，螺栓(10)以及隔垫物(12)相对于支承部件(9)而变得不能移动。而且，如图6的(a)所示，下层部件(2)从隔垫物(12)经由弹性部件(E)而承受朝下的力，由此下层部件
(2)的下表面与支承部件(9)抵接，变得不能移动。橡胶制的弹性部件(E)的弹力与手的力相比较小，因此，通过使朝上的力以抵抗该弹力的方式作用在下层部件(2)上，而如图6的(b)所示，能够用手将下层部件(2)向上方抬起。因此，在某个下层部件(2)的上表面较低的情况下，通过使该下层部件(2)以抵抗弹性部件(E)的弹力的方式向上方移动，而能够进行下层部件(2)的上表面位置的微调整，即进行调平。
[0057]在此，在图7所示的现有结构中，作为弹性部件(E)而使用橡胶垫圈(57)，该橡胶垫圈(57)的截面为矩形，将形成在接头固定螺栓(53)的头部(53a)与螺栓穿插孔(54)的层差部(54c)之间的空间填充。因此，在将该橡胶垫圈(57)作为弹性部件(E)来使用的情况下，当在上层部件固定的情况下使下层部件(2)移动时的可移动量受到限制，另外，通过使下层部件(2)向上方移动而会使弹性部件(E)的弹力(斥力)大幅增加，因此具有使调平作业变得困难的问题。
[0058]图2所示的本发明的下层部件的固定装置的弹性部件(21)中，其截面形状成为由垂直部以及从垂直部的中央部向径向外侧延伸的水平部所构成的大致横T字形状，并且，成为使垂直部的内周侧的上下的角部被切掉的形状。换言之，弹性部件(21)构成为，以将截面形状为沿上下较长的长方形的四个角切掉的作为八边形的环状体为基准，而在其外周面的上部以及下部设有切口(21a)、(21b)。
[0059]本发明的下层部件的固定装置的弹性部件(21)具有切口(21a)、(21b)，因此能够使垂直部的上下端部以缩小该切口(21a)、(21b)的截面面积的方式弹性弯曲变形，弹性部件(21)变形后的形状如图3的(a)所示。
[0060]在图3的(b)中为了比较，表示使用了未设有切口的弹性部件(30)的情况。在图3的(b)中，在使下层部件(2)向上方移动时，在前期阶段弹性部件(30)将形成在隔垫物(12)的凸缘(12a)与层差部(He)之间的空间填充，斥力会变大，随后的下层部件(2)向上方的移动会变得困难。因此，具有在上层部件的主体(5a)与下层部件(2)之间一直残留有间隙(G)的可能性。
[0061]与之相对，如图3的(a)所示，图2所示的弹性部件(21)能够使上层部件主体(5a)与下层部件(2)之间没有间隙，且处于能够从该状态进一步弹性弯曲变形的状态，因此，使调平作业变得极其容易。另外，因为能够进一步弹性弯曲变形，所以与以往相比，对于振动吸收效果也变得有利。
[0062]上述示例是一个例子，弹性部件的形状能够进行各种变更。例如，也可以为，切口的数量为两个而对切口的设置位置进行变更，也能够使切口的数量为一个或者三个以上。在图4中表示切口的数量是两个的情况，在图5中表示切口的数量是一个或者三个以上的情况。
[0063]图4的(a)所示的弹性部件(21)与图2所示的弹性部件相同，图4的(a)所示的弹性部件(21)在弹性部件(21)的外周面的上部以及下部的两个部位上分别设有切口(21a)、(21b)，相对于此，图4的(b)所示的弹性部件(22)在弹性部件(22)的内周面的上部以及下部的两个部位上分别设有切口(22a)、(22b)(截面形状为内外相反的大致横T字形)。
[0064]图4的(C)所示的弹性部件(23)在弹性部件(23)的内周面以及外周面的上下的中央部上分别各设有一个，合计在两个部位上设有切口( 23a)、( 23b)。切口( 23a)、( 23b)的截面形状是与上述相同的大致矩形形状，由此，弹性部件(23)的截面形状形成为大致I字形。图4的(d)所示的弹性部件(24)与图4的(c)的弹性部件相同，在弹性部件(24)的内周面以及外周面的上下的中央部上分别各设有一个，合计在两个部位上设有切口(24a)、(24b)，通过使弹性部件(24)的切口(24a)、(24b)的截面形状形成为大致三角形，而使弹性部件(24)的截面形状形成为大致Z字形。
[0065]图5的(a)所示的弹性部件(25)仅在弹性部件(25)的内周面的上下的中央部的一个部位上设有切口(25a)，截面形状形成为大致C字形或者大致-字形。切口(25a)的截面形状能够为矩形、三角形、圆弧等。虽然省略图示，但也可以不将同样的切口(25a)设在内周面上,而设在外周面上。
[0066]图5的(b)所示的弹性部件(26)在弹性部件(26)的内周面的上部、下部以及中央部分别各设有一个，合计在三个部位上设有切口(26a)、(26b)、(26c)，弹性部件(26)的截面形状形成大致n字形。虽然省略图示，但也可以不将同样的切口(26a)、(26b)、(26c)设在内周面上,而设在外周面上。
[0067]图5的(C)所示的弹性部件(27)在弹性部件(27)的内周面以及外周面的上下的中央部和上表面以及下表面的中央部上分别各设有一个，合计在四个部位上设有切口(27a)、(27b)、(27c)、(27d)。
[0068]图4 以及图 5 所示的弹性部件(21)、(22)、(23)、(24)、(25)、(26)、(27)的任意一个都是由橡胶或者合成树脂构成的环状体，在它们的外周面、内周面、上表面以及下表面的至少一个部位上，设有用于使弹性部件(21)、(22)、(23)、(24)、(25)、(26)、(27)相对于上下方向的力而能够弹性弯曲变形的切口(21a)、(21b)、(22a)、(22b)、(23a)、(23b)、(24a)、(24b)、(25a)、(26a)、(26b)、(26c)、(27a)、(27b)、(27c)、(27d)，易于进行使下层部件(2)的上表面彼此成为同一平面的调平作业，并且，能够进一步提高基于弹性部件(21)、(22)、(23)、(24)、(25)、(26)、(27)产生的振动吸收效果。[0069]工业实用性
[0070]本发明的下层部件的固定装置在如下的流体控制装置中使用，该流体控制装置以跨过多个接头的方式固定流体控制设备而组装得到，根据本发明能够得到易于进行使下层部件的上表面彼此成为同一平面的调平作业，并且，能够进一步提高基于弹性部件产生的振动吸收效果的流体控制装置。
【权利要求】
1.一种下层部件的固定装置，是将配置在支承部件与上层部件之间的带有螺栓穿插孔的下层部件通过螺栓而固定在支承部件上的装置，下层部件的螺栓穿插孔由大径部以及小径部构成，所述大径部具有比螺栓头部的直径更大的直径，所述小径部经由层差部与所述大径部的下方相连，并且具有尺寸处于螺栓头部的直径与螺栓轴部的直径之间的直径，在螺栓穿插孔的小径部中嵌入有圆筒状隔垫物，所述圆筒状隔垫物具有比螺栓轴部的直径更大的内径，并且其下端支承在支承部件上且其上端位于大径部内，在螺栓头部与层差部之间夹设有将下层部件向着支承部件弹压的弹性部件，所述下层部件的固定装置的特征在于，弹性部件在其外周面、内周面、上表面以及下表面的至少一个部位上设有用于能够使弹性部件相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口。
2.根据权利要求1所述的下层部件的固定装置，其特征在于，弹性部件是由橡胶或者合成树脂构成的环状体。
3.根据权利要求1或2所述的下层部件的固定装置，其特征在于，弹性部件配置在设于隔垫物上端部的凸缘的下表面与层差部之间。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，弹性部件在切口设置之前的截面形状为将沿上下较长的长方形的四个角切除得到的八边形。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，切口分别设在弹性部件的内周面以及外周面的任一方的上部以及下部。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，切口分别设在弹性部件的内周面以及外周面的上下的中央部。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，切口设在弹性部件的内周面以及外周面的任一方的上下的中央部。
8.根据权利要求1至4中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，切口分别设在弹性部件的内周面以及外周面的任一方的上部、下部以及中央部。
9.根据权利要求1至4中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，切口分别设在弹性部件的内周面以及外周面的上下的中央部和上表面以及下表面的中央部。
10.一种流体控制装置，其具有:多个通路块接头，设有向上方开口的流体通路；多个流体控制设备，设有与通路块接头的流体通路连通且向下方开口的流体通路；多个密封部，夹设在通路块接头的流体通路与流体控制设备的流体通路之间的对接面中；支承多个通路块接头的支承部件；将各通路块接头安装到支承部件上的多个螺栓；和将各流体控制设备安装到通路块接头上的多个螺栓，所述流体控制装置的特征在于，通路块接头为下层部件，且其通过权利要求1至9中任一项所述的下层部件的固定装置而安装在支承部件上。
【文档编号】F04B39/00GK103620241SQ201280023466
【公开日】2014年3月5日 申请日期:2012年3月6日 优先权日:2011年3月28日
【发明者】筱原努, 松田隆博, 中田知宏, 山路道雄 申请人:株式会社富士金