专利名称：：线性致动装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种线性致动装置，通过从流体进/出口导入压力流体，能够使得滑动台沿着缸体的轴向往复运动。
背景技术：
：迄今为止，由诸如流体压力缸等制成的线性致动装置(linearactuator)已作为传输工件的手段被予以采用。在日本实用新型No.2586276中，本申请人提出了一种线性致动装置，通过使滑动台(slidetable)沿着缸体(cylindermainbody)在直线上往复移动，该装置能够运送承载于滑动台上的工件。进一步，在日本专利公布开平No.2008-057679中，揭示了一种配备有非循环引导机构的线性致动装置，其中，多个钢滚珠布置在引导导轨和滑动台之间的主体中，从而钢滚珠跟随着滑动台的移位而移位。然而，具有如前述日本专利公布开平No.2008-057679中揭示的传统技术，例如，当滑动台在非平衡的负载被相对于该滑动台被施加的情况下而移位时，在引导导轨左侧和右侧的钢滚珠会发生移位，并且伴随着这样的移位，可能发生滑动台倾斜(歪斜)的情况。
发明内容本发明的总体目的在于提供一种线性致动装置，该线性致动装置能够可靠且稳定地停止滑动台的移动，并且与此同时，能够在滑动台被停止的时刻抑制运动的产生，从而抑制滑动台的倾斜，同时还能够简化设计，并且改善线性致动装置的使用简易性。本发明是一种线性致动装置，在该线性致动装置中，通过从流体进/出口导入压力流体，能够使得滑动台沿着缸体的轴向往复运动，该线性致动装置包括与进/出口连通的缸体，该缸体具有压力流体被注入其中的一对缸室；沿缸体的轴向往复运动的滑动台；具有一对活塞的缸机构，该对活塞可沿缸室滑动，滑动台在活塞的移位动作的作用下往复移动；用于沿缸体的轴向导引滑动台的导向机构，该导向机构附接在缸体上，并具有在内部形成有第一循环通道的扁平导向滑块(guideblock)，多个滚动体在循环通道中滚动并循环；以及设置于滑动台的一端部在宽度方向上的中央的止动机构，用于调节滑动台的往复移动，该宽度方向垂直于滑动台的轴向方向，其中，止动机构与滑动台一起移动，并且抵靠导向滑块的端部。根据本发明，在这种缸体中具有一对活塞的线性致动装置中，用于调节滑动台的往复移动的止动机构设置在滑动台的一端部在宽度方向上的中央，其中，滑动台沿缸体的轴向往复移动。另外，当滑动台借助其中包含活塞的缸机构往复移动时，与滑动台一起移动的止动机构抵靠导向机构的导向滑块的一端，从而制止滑动台的移动。因此，因为止动机构设置在滑动台的一端部在宽度方向上的中央，当止动机构抵靠导向滑块的一端并与其接合时，抑制了从线性致动装置上方看时侧向的移动的产生，并且能够避免当滑动台与导向滑块接合时可能发生的滑动台的倾斜。结果，滑动台的移动能够被止动机构可靠且稳定的制止。本发明的上述和其他目的、特征和优点在结合了附图的下述说明书中变得显而易见，本发明的优选实施例通过图示实例显示在附图中。图1是根据本发明的第一实施例的线性致动装置的外部立体图；图2为显示滑动台从图1中所示的线性致动装置向上分离的状态下的分解立体图；图3为从下方视角看去时图1所示的线性致动装置的分解立体图；图4为图1所示的线性致动装置的整体竖直剖面图；图5为沿图4中V-V线的截面图；图6为沿图4中VI-VI线的截面图；图7为沿图4中VII-VII线的截面图；图8为构成图1所示线性致动装置一部分的导向机构的外部立体图；图9为图8所示导向机构的分解立体图；和图10为整体竖直剖面图，显示图4中所示的线性致动装置中滑动台的端板沿着远离缸体的方向移位时的状态；图11是根据本发明的第二实施例的线性致动装置的外部立体图；图12为从图11所示的线性致动装置下方视角看去时的分解立体图；图13为图11所示的线性致动装置的整体竖直剖面图；图14为沿图13中XIV-XIV线的截面图；图15为沿图14中XV-XV线的截面图；图16为整体竖直剖面图，显示图13中所示的线性致动装置中滑动台的端板远离缸体的状态；图17是根据本发明的变型例的线性致动装置的外部立体图；图18是从下方视角看去时图17所示的线性致动装置的分解立体图；图19是图17显示的线性致动装置的截面图；图20是根据本发明的第三实施例的线性致动装置的正视图；图21是图20所示的线性致动装置的横截面图。具体实施例方式在图1中，附图标记10标示依据本发明的第一实施例的线性致动装置。如图1至10所示，线性致动装置10包括缸体12、滑动台14、导向机构(guidemechanism)16、以及止动机构(stoppermechanism)18。其中，滑动台14位于缸体12的上部，在长度方向(箭头A和B所示的方向)上沿直线进行往复运动；导向机构16的位置介于缸体12和滑动台14之间，用于在长度方向(箭头A和B所示的方向)上导引所述的滑动台14；止动机构18能够调整滑动台14的位移量。缸体12具有矩形截面，且在长度方向(箭头A和B所示的方向)上具有预定的长度。截面呈下陷的弓形形状的凹陷20大致形成在缸体12上表面的中部，并沿长度方向(箭头A和B所示的方向)延伸。凹陷20中，设置有一对通透的栓孔Ma，Mb，连接栓22a，22b插入该栓孔用于将缸体12与导向机构16连接在一起。此外，如图5所示，在缸体12的一侧表面上形成有第一和第二口(流体进/出口)和观，用于压力流体的供给和释放。第一和第二口沈和观垂直于缸体12的长度方向，且与将在后文描述的一对通孔(缸室)30a、30b连通。此外，在缸体12另外一侧的表面上，分别沿着长度方向(箭头A和B所示的方向)的位置处形成有两个传感器附接槽32，传感器(未示出)就安装于该附接槽中。如图3和4所示，缸体12的底面在其宽度方向(箭头C所示的方向)上的中部沿轴线形成有一对栓孔Ma，24b0连接栓22a，22b从下方插通栓孔Ma，Mb，其向上穿透缸体12。连接栓22a，22b的头部33由平头螺栓(flushbolt)组成，该平头螺栓具有在与螺纹部分分离的方向(如图4中的向下方向)上直径逐渐展开的锥形形状。螺栓孔Ma，Mb的扩展直径部分35也形成为朝向缸体12的下表面侧直径逐渐展开的锥形形状，从而与锥形头部33抵接。而且，连接栓22a，22b的螺纹部分从缸体12的上表面突出，通过螺旋接合与导向机构16的导向滑块(guideblock)92相互连接。此时，如图4所示，因为连接栓22a，22b上的头部33和螺栓孔Ma，Mb的扩展直径部分35通过锥形表面抵接，甚至在相对于导向滑块92沿着水平方向(如箭头A和B所示的方向)施加负载时，由于锥形表面直接地接合，连接栓22a、22b不会在垂直于轴线的方向(即，沿着箭头A和B的方向)上移位。鉴于此，导向滑块92被坚固地固定在总是相对于缸体12被适当地定位的状态。其他情况下，因为连接栓22a、22b在垂直于轴线的方向上的滑移(移位)被调节，导向滑块92被保持在高精度定位的状态，与此同时，通过止动机构(stoppermechanism)18停止的滑动台14的移位量能够被高精确度地控制。进一步，在缸体12的下表面上，在宽度方向(箭头C所示的方向)上的中部沿轴线形成有一对第一定位孔^aJ9b，从而，例如，当线性致动装置10的缸体12通过销插通第一定位孔^^』％并且进入其他设备而被固定到另一个设备或类似物(未示出)上时，其相对定位被完成。如图3和4所示，第一定位孔^a、29b邻近于螺栓孔Ma，24b形成，从而一个第一定位孔29a被形成为在缸体12的一端侧(在箭头A所示的方向上)呈圆形穿入，稍后将要描述的活塞杆38从缸体12的该端侧伸出；形成在缸体12的另一端侧(在箭头B所示的方向上)的另一个第一定位孔29b被形成为椭圆形或者矩圆形(oblong)形状，且其长径沿着轴向(箭头A和B所示的方向)延伸。通过这样的方式，通过在缸体的轴线上设置第一定位孔^aJ9b，当执行将包括缸体12的线性致动装置10附接和定位到其他设备时，操作可以被容易地执行。另一方面，如图5所示，缸体12的内部形成有两个通孔30a、30b，这两个通孔30a、30b沿长度方向(箭头A和B所示的方向)贯通，其中一个通孔30a与另外一个通孔30b布置为彼此大致平行，且间隔预定的距离。通孔30a和30b的内部设置有缸机构(cylindermechanism)40,该缸机构40包含各自的活塞37和与活塞37相连的活塞杆38。各活塞37的外周都安装有密封环34。缸机构40由分别安装在一对通孔30a、30b中的成对的活塞37和活塞杆38构成。进一步，在一个活塞37的外周表面上，磁体36与密封环34并排安装。磁体36仅仅设置在位于缸体12中传感器附接槽32侧的一个活塞37上。通过安装在传感器附接槽32中的检测传感器(未示出)，磁体36的磁性力被检测，从而活塞37沿着轴向的移位位置被检测。进一步，环状的活塞减震器(pistondamper)41设置在活塞37的端部，位于稍后进行描述的杆支座(rodh0lder)46侧(沿箭头A所示的方向)。例如，即使没有设置止动机构18，在活塞37被朝向杆支座46侧(沿箭头A所示方向)移位的情况下，活塞37通过活塞减震器41抵靠杆支座46而被停止，并且通过活塞缓冲区41适当地吸收冲击。通孔30a、30b在其一端以盖42封闭且密封，通孔30a、30b的另外一端被杆支座46所气密性地密封，杆支座46通过锁紧环(lockingring)44被保持在通孔中。杆支座46的外周借助环形槽安装有0形环，从而防止压力流体从通孔30a、30b与杆支座46之间的缝隙中泄漏。此外，其中一个通孔30a分别与第一和第二口26J8连通，另外一个通孔30b也通过形成在该一个通孔30a与另外一个通孔30b之间的一对连接通道50与一个通孔30a互连。更具体地，压力流体被从第一和第二口26、观供应并被导入一个通孔30a。之后，压力流体也通过连接通道50被导入另外一个通孔。连接通道50形成为垂直于通孔30a、30b的延伸方向(箭头A和B所示的方向)。滑动台14包含盘体(tablemainbody)52、与盘体52—端相连的止动机构(stoppermechanism)18、以及与盘体52另一端相连的端板M。端板M与盘体52垂直连接。盘体52由以预定的厚度沿长度方向延伸的基部56和从基部56的两侧竖直向下延伸的一对导向壁(壁部)58a、58b构成。导向壁58a、58b的内表面上形成有第一滚珠导槽62，用于导引导向机构16的导引滚珠(滚动体)60(将于后文描述)。第一滚珠导槽62凹陷，截面大致呈半圆形。进一步，基部56与导向壁58a、58b形成为具有大致相同的厚度尺寸(见图7)。此外，盘体52的一端上形成有一对第一栓孔68，螺栓(紧固件)66a插入该栓孔68，用于固定将于后文描述的止动机构18的支座部(holderportion)(保持构件)64。盘体52的另外一端上形成有一对第二栓孔70，螺栓66b插入该栓孔70用于固定端板M。第一和第二栓孔68和70的贯穿方向垂直于盘体52的延伸方向。四个工件保持孔(workpieceretainingholes)72形成在基部56的一端和另一端之间。工件保持孔72相互间隔预定的距离，并且，例如，设置具有当工件(未显示)被安装并且传输到滑动台14的上部时将工件固定到位的目标。而且，当滑动台14在缸体12的上部移位时，工件保持孔72相对于设置在导向滑块92对侧表面上的第二滚珠导槽74布置为朝向缸体12和导向滑块92在宽度方向上的中间侧(见图7)。换而言之，工件保持孔72布置在滑动台14中，位于从导向滑块92的第二滚珠导槽74内侧的位置处。进一步，如图1到4所示，一对第二定位孔75a、7形成在基部56中，未示出的销被插入该一对第二定位孔75a、75b，用于将工件(未示出)在基部56的宽度方向上的中部沿轴线定位。第二定位孔75a、7^沿着基部56长度方向(箭头A和B所示的方向)彼此分离一个预定的距离。布置在端板M侧(沿箭头A的方向)的一个第二定位孔7形成为穿透其并具有圆形形状，然而布置在止动机构18侧(沿着箭头B的方向)的另一个第二定位孔7形成为椭圆形或者矩圆形(oblong)形状，其长径沿着轴向延伸。通过这样的方式，通过在滑动台14中的基部56的轴线上设置第二定位孔75a、75b，当执行将工件安装和定位在滑动台14上时，该操作能够被容易地执行。端板M由插穿形成在盘体52另一端的第二栓孔70的两个螺栓66b固定，并且被设置成面向缸体12的一端表面。端板M也固定到活塞杆38的端部，该活塞杆38插穿形成在端板M内的一对杆孔76a、76b中。因此，包含端板M的滑动台14能与活塞杆38—起沿着缸体12的长度方向(箭头A和B所示的方向)移动。此外，端板M上、在一个杆孔76a与另外一个杆孔76b之间的位置处形成有减震器安装孔(damperinstallationhole)80，减震器78安装于其中。当由橡胶等的弹性材料制成的减震器78从端板M位于缸体12侧的另外一侧安装(插入)到减震器安装孔80中时，其端部沿直径膨胀，并从另外一侧的表面向外突伸。由于减震器安装孔80形成在端板M的宽度方向(箭头C所示方向)上的中间位置，减震器78被安装在端板M的宽度方向上的中间位置。更具体地，当端板M与滑动台14一起移位时，通过从端板M的另外一侧突出的减震器78与缸体12的一端表面相抵接，原本令人忧虑的如果端板M直接与缸体12抵靠所产生的振动和噪音得以被避免。进一步，因为减震器78大致布置在端板M的宽度方向(箭头C所示方向)的中间位置，当滑动台14被移位，且端板M通过减震器78与缸体12的端表面抵接而停止时，从线性致动装置10的上方看时，沿着横向方向(左右方向)的移动被抑制。止动机构18包括设置在盘体52—端下表面上的支座部64、与支座部64螺旋配合的止动螺栓(stopperbolt)82、以及用于调节止动螺栓82进行前进或者回缩移动的锁紧螺帽(locknut)84。止动机构18被布置成面向位于缸体12上的导向机构16的一端表支座部64形成为块形状，并且由经过第一栓孔68从上方插入的两根螺栓66a从上方固定在滑动台14的盘体52的基部56上。支座部64包含向下凸出的第一凸起部86，其截面在该支座部64的大致中部呈弓形。在包含第一凸起部86的支座部64的中央形成有螺孔(screwhole)88，止动螺栓82螺旋适配于其中。螺孔88贯穿支座部64，大致平行于盘体52的延伸方向。更具体地，因螺孔88设置在具有第一凸起部86的支座部64的中央，所以，与未设置第一凸起部86的情况相比，螺孔88可以形成在稍许低些的位置处。此外，在支座部64中，第一凸起部86沿轴向延伸，使得当滑动台14沿长度方向移位时，第一凸起部86能够插穿缸体12的凹陷20。止动螺栓82，比方说，可由外周表面行刻有螺纹的杆状(shank-shaped)柱螺栓(studbolt)制成。止动螺栓82的长度使其在与支座部64的螺孔88螺旋配合的情况下该止动螺栓82能从螺孔88中伸出。此外，锁紧螺帽84在止动螺栓82从支座部64—端表面伸出的区域与止动螺栓82螺旋适配。此外，通过相对于支座部64螺纹旋转止动螺栓82，止动螺栓82沿轴向(箭头A和B所示的方向)移位，从而靠近或者远离导向机构16。比方说，在止动螺栓82旋转从而朝导向机构16侧(箭头A所示的方向)突出预定的长度以后，锁紧螺母84被螺纹旋转移动并抵靠支座部64的侧面，从而调节止动螺栓82的突进或者回缩移动。此外，由弹性材料制成的减震构件(shock-absorbingmember)90从止动螺栓82的端部朝向导向机构16突出指定的长度。设置减震构件90的目的在于缓冲在滑动台14的移位动作下止动螺栓82抵碰导向构件16端面所造成的振动。如图8和9所示，导向机构16包括宽而平的导向滑块92、设置于导向滑块92上的一对滚珠循环构件(循环构件)9和94b，滚珠60可在该一对滚珠循环构件(循环构件)9和94b中循环、沿长度方向分别安装在导向滑块92相对两端上的一对盖(cover)96,以及分别覆盖盖96的表面的一对盖板98。第二滚珠导槽74沿长度方向形成在导向滑块92的两侧表面。在第二滚珠导槽74的附近区域沿长度方向贯穿有一对安装槽(开口)100a、100b，滚珠循环构件94a、94b即嵌入其中。第二滚珠导槽74截面呈半圆形，当滑动台14设置在导向机构16的上部时，第二滚珠导槽74处于与第一滚珠导槽62相对的位置关系。安装槽100a、IOOb形成在导向滑块92的下表面，截面呈矩形，开口朝下，且在长度方向处于相对的两端。滚珠循环构件94a、94b形成为截面大致呈矩形，与安装槽1OOa、1OOb相对应，并具有贯穿于自身内部的滚珠循环孔(第二循环通道)102，滚珠60可循环于该通道中。在滚珠循环构件Ma、94b相对的两端部上分别设置有滚动反转部(roll-reversingsections)104a、104b，用于逆转滚珠60的循环方向。滚动反转部104a、104b形成为具有半圆形截面，滚珠60在其中滚动的滚珠槽形成在滚动反转部104a、104b的外周表面上。这样的滚珠槽与滚珠循环孔102形成无间断连接。更具体地，滚珠60从滚珠循环构件94a、94b中的滚珠循环孔102中滚出，通过滚动反转部104a、104b转向180°进入位于滚珠循环构件94a、94b外侧的第一和第二滚珠导槽(循环通道)62、74。滚珠循环构件94a、94b设置在导向滑块92内，使得滚珠循环孔102的位置低于第一和第二滚珠导槽62、74。具体而言，滚珠循环孔102和第一、第二滚珠导槽62、74在竖直方向上(如图7中箭头C所示的方向)偏差预定的高度。此外，当滚珠循环构件94a、94b插入到导向滑块92的安装槽IOOaUOOb中时，滚动反转部104a、104b的平面部108分别抵住导向滑块92的端面(见图6)，从而使得滚珠循环构件94a、94b的滚珠循环孔102与第二滚珠导槽74互连。更具体地，如图7所示，在导向机构16中，滚珠循环孔102和第一、第二滚珠导槽62、74被滚动反转部l(Ma、104b以倾斜的取向连接。因此，连续的呈环形的滚珠循环通道110由滚珠循环构件94a、94b的滚珠循环孔102、滚珠槽、滑动台14的第一滚珠导槽62和导向滑块92的第二滚珠导槽形成。多个滚珠60沿滚珠循环通道110滚动，从而滑动台14能够沿着导向机构16进行往复平滑移动。盖96被安装为覆盖在导向滑块92的两端表面上。沿轴向贯通的孔111形成在盖96的中央，且设有第二凸起部112，该凸起部112环绕孔111分别沿上、下方向向外凸起，其截面呈弓形。第二凸起部112的设置为在导向机构16安装在缸体12上部时，该第二凸起部112能够嵌入缸体12的凹陷20中。另一方面，盖96的内部形成有空间114，滚动反转部104a、104b即容纳于其中，用于保持在滚动反转部l(Ma、104b中滚动的滚珠60的保持槽116也形成在空间114中。保持槽116形成为在滚动反转部104a、104b的径向外侧具有弓形的截面，使得滚珠60能在保持槽116和滚动反转部l(Ma、104b的滚珠槽之间滚动。盖板98在其大致中央形成有孔118，该孔118与盖96的孔111同轴且具有相同的直径。此外，导向滑块92的端面通过孔111、118暴露于外，盖板98上具有第三凸起部120，该第三凸起部120在上、下方向上凸出，截面呈弓形，与盖96相对应。第三凸起部120形成为截面大致与盖96的第二凸起部112相同，也被设置成能够嵌入缸体12的凹陷20。此外，上述盖96和盖板98被盖固定栓122分别固定在导向滑块92的端面上。此外，当滑动台14往复移动时，止动机构18的止动螺栓82经过孔118、111抵住导向滑块92的端面。根据本发明第一实施例的线性致动装置10基本采用如上所述的结构。接下来将描述线性致动装置10的运行和效果。图4中滑动台14的端板M抵靠缸体12端面的状态将被描述为初始位置。首先，来自图中未示出的压力流体供给源的压力流体被注入到第一口沈中。在此情况下，第二口观在图中未示出的切换阀的操作下处于与大气连通的状态。供至第一口沈的压力流体被供至一个通孔30a，同时也通过连接通道50被供至另外一个通孔30b，从而使活塞37(沿箭头A方向)被压向杆支座46。结果，滑动台14和与活塞37相连的活塞杆38—起沿着远离缸体12的方向移位。此时，伴随着滑动台14的移位，导向机构16的滚珠16沿滚珠循环通道110滚动，从而使滑动台14被导向机构16沿轴向导引。然后，如图10所示，设置于滑动台14一端的止动螺栓82的端部抵靠导向机构16的导向滑块92的端面，使滑动台14的移位停止，滑动台14籍此抵达位移的终点位置。在旋松锁紧螺母84使得止动螺栓82能够移动以后，止动机构18从支座部64的端面的突出量可以通过止动螺栓82的螺纹旋转来调节，从而滑动台14的位移量也能够被调节。另一方面，在滑动台14沿着与上述方向相反的方向(即沿着远离图10中所示位移终点位置的方向)移位的情况下，之前被供至第一口26的压力流体被供至第二口28，而第一口沈则处于与大气连通的状态。结果，借助从第二口观供入一对通孔30a、30b内的压力流体，活塞37沿着远离杆支座46的方向(箭头B的方向)移位，于是，滑动台14通过活塞37与活塞杆38—起在趋近于缸体12的方向上移位。然后，设置在滑动台14的端板54上的减震器78抵靠缸体12的端面，于是线性致动装置10回复到初始位置。根据第一实施例，按照这种方式，线性致动器10具有由一对活塞37和设置在缸体12中的活塞杆38构成的缸构件40，停止滑动台14移动的止动机构18大体设置在滑动台14的一端部的中央，滑动台14设置在缸体12的上部。因为止动机构18大体设置在滑动台14的一端部在宽度方向上的中央，所以当滑动台14移动且止动机构18的止动螺栓82抵靠并且与导向滑块92的端表面接合时，能够抑制产生从线性致动装置10的上方看去时的侧向移动。因此，能够避免当滑动台14与导向滑块92接合时可能发生的滑动台14的倾斜，并且滑动台14的移动也能够被可靠且稳定地停止。此外，具有滚珠循环孔102的滚珠循环构件94a、94b设置在导向机构16的导向滑块92中，并且导向滑块92被两个连接螺栓22a，22b固定到缸体12的上部。因此，与沿着如同传统线性致动装置中一样设置在主体上的轨道移动的情况相比，由于滚珠循环通道110的长度能够缩短，所以线性致动装置10的纵向长度也可以更短。换句话说，线性致动装置10在其长度方向上的尺寸可以做得更小。通过日本专利公布开平No.2008-057679揭示的传统非循环式线性致动装置，布置在线性致动装置左右两侧的滚珠(钢滚珠)容易发生偏移，并且伴随着滑动台的倾斜(歪斜)。关于这个问题，在根据本发明的线性致动装置10中，包括其中滚珠60能够循环的导向机构16，因为左右两侧的滚珠60不会发生偏移，能够取得滑动台14的倾斜(歪斜)被抑制的很好的效果。而且，弓形凹陷20形成在缸体12的上表面，朝着缸体12向外凸出的第二凸起部112设置在导向机构16的盖96上，导向机构16设置在缸体12的上部。第二凸起部112插入凹陷20中，并且进一步与盖96相对应，止动机构18的止动螺栓82抵靠盖96，止动螺栓82的位置可以布置得更靠近缸体12。因此，与缸体12上设置凹陷20的情况相比，导向机构16和止动机构18可以放置的更靠近缸体12，从而包含导向机构16的线性致动装置10的高度尺寸得以抑制。更进一步地，在线性致动装置10的高度方向(如图7中的箭头D的方向)上，缸体12的中心和止动机构18的止动螺栓82的中心之间的距离L(见图7)可以更小，因此，当滑动台14通过止动机构18抵靠导向机构16且与导向机构16接合时，在线性致动装置10的垂直方向上产生的移动得以减少。结果，当滑动台14被接合时发生的倾斜得以抑制，并且滑动台14能够被可靠且稳定的停止。另外，通过将滚珠60在其中滚动的第一滚珠导槽62设置在滑动台14的一对导向壁58a、58b的内侧上，没有必要将导向机构16相对于滑动台14固定，因此，滑动台14的厚度得以变薄。结果，包含滑动台14的线性致动装置10的高度尺寸得以抑制，使得线性止动装置10在高度方向上的尺寸变得更小。更进一步地，因为提供这样一种结构，在该结构中，止动机构18的支座部64通过从上方插入的螺栓66a从上方固定到滑动台14中的基部56的一端，与从前方固定到滑动台14的基部56的情况相比，这样固定的基部56的厚度更薄。结果，包含基部56的滑动台14的壁可以做得更薄，从而滑动台14可以做得轻量。又更进一步地，因为减震器78布置在端板M的宽度方向(箭头C的方向)的大致中间位置，当滑动台14被移位并且通过减震器78抵靠缸体12的端表面被停止时，能够抑制从线性致动装置10上方看时沿着横向方向(左右方向)产生的移动。结果，能够抑制滑动台14被停止时滑动台14的倾斜(歪斜)，并且滑动台14能够被稳定并且可靠地停止。而且，通过在缸体12的下表面的宽度方向(箭头C的方向)的中间位置沿在轴线上设置第一定位孔^aJ9b，并且在滑动台14的宽度方向的中间位置在轴线上设置用于定位工件(未示出)的第二定位孔75a，75b，例如，当通过销插通第一定位孔^a，29b并且插入其他设备而将线性致动装置10的缸体12固定到其他设备或者类似物(未示出)上时，其相对定位能够被容易地并且可靠地完成，与此同时，当工件被安装在滑动台14上时，其定位能够被容易地具有高精度地执行。更具体地，在线性致动装置10中，构成止动机构18的止动螺栓82，布置在端板M上的减震器78，形成在缸体12的下表面中的第一定位孔^aJ9b，以及形成在滑动台14中的第二定位孔中的每一个被定位并且布置在线性致动装置10的宽度方向(箭头C的方向)的中间位置；并且，在线性致动装置10中，缸体12，滑动台14，导向块92和致动机构18形成为具有横向对称形状。结果，不会提高包括缸体12和滑动台14的线性致动装置10的左右方向上的差异，其设计被简化。进一步，当滑动台14被制造时，通过使用第二定位孔75a，7作为参照形成的压力弯曲导向壁58a，58b，并且通过使用第二定位孔75a，7作为参照制造(例如，切割)第一滚珠导向槽62，第二定位孔75a，7能够被高精确度地布置在滑动台14的宽度方向的中间位置。接下来，图11到16显示了根据本发明的第二实施例的线性致动装置150。在该第二实施例中，与根据第一实施例的线性致动装置10相同的结构元件使用相同的参考标号标示，并且这些相同特征的详细描述被省略。根据本实施例的线性致动装置150与根据第一实施例的线性致动装置10的差别在于，如图11到16所示，在第一和第二口沈、观形成在缸体152的一侧表面上同时，用于供应和排出压力流体的第三和第四口(流体进/出口)154、156(参见图14)形成在缸体152的另一侧表面上，并且，传感器附接槽158a、158b(参见图1分别形成在缸体152的一侧表面和另一侧表面上。进一步，线性致动装置150与根据第一实施例的线性致动装置10的不同之处也在于，止动机构164被设置为具有一对止动螺栓160a、160b和锁紧螺母16h、162b。在缸体152的另一侧表面上，第三口巧4被形成在具有第一口沈的直线上的位置，并且第四口156被形成在具有第二口沘的直线上的位置。而且，第三和第四口巧4，156分别与缸体152中的另一通孔30b连通，从而在供应到第三和第四口巧4，156的压力流体被导入另一通孔30b之后，压力流体经过连接通道50a、50b并且被导入一个通孔30a中。第一和第二口26，观和第三和第四口巧4、156被用于将该一对口中的任一个选择性地连接到管路(未示出)，该一个口最适合用于线性致动装置150的安装环境。例如，在管路被连接到第三和第四口154、156以通过其供应并且排出压力流体的情况下，密封塞166被安装在第一和第二口26J8中，以密封该第一和第二口沈、28。相反地，在管路被连接到第一和第二口沈、28以通过其供应并且排出压力流体的情况下，密封塞166被安装在第三和第四口154、156中，以密封该第三和第四口154、156。在缸体152的一侧表面和另一侧表面上，传感器附接槽158a，158b形成在第一到第四口26J8、巧4、156上方的位置，分别沿着缸体152的长度方向(箭头A和B的方向)呈直线形状延伸。而且，未示出的传感器被分别安装在传感器附接槽158a、158b中，该传感器能够通过检测来自磁体36的磁性力来检测活塞37的移位位置，磁体36分别安装在一对活塞37中。进一步，考虑到止动机构164，与锁紧螺母16螺纹接合的一个止动螺栓160a被螺旋进入固定到滑动台14的支座部64。然而，另一个止动螺栓160b被螺旋进入穿透端板54的宽度方向(箭头C的方向)上大致中间位置的螺栓孔168。锁紧螺母162b被螺旋到止动螺栓160b上，处于其伸出端板M的外侧的区域。螺栓孔168与端板M中的减震器安装孔80向上隔开预定距离，并且与支座部61的螺纹孔88同轴地形成。更具体地，与减震器78相似，止动螺栓160b在宽度方向(箭头C的方向)上被布置在端板M的中间位置，并且一个止动螺栓160a和另一个止动螺栓160b被布置为沿着相同轴线彼此相对。接下来，前述线性致动装置150的操作将被简要解释。首先，从图13和14所示的初始位置开始，活塞37通过从第三口巧4供应的压力流体被按压并且朝向杆支座46侧(沿着箭头A的方向)移位，并且伴随着滑动台14和活塞杆38—起沿着远离缸体152的方向移位。在这种情况下，第一和第二口26，观被关闭并且由密封塞166密封。而且，通过组成止动机构164的一个止动螺栓160a抵靠构成导向机构16的导向块92的端表面，滑动台14的移位被停止，从而滑动台14到达其终点位置(参见图16)。另一方面，在滑动台14从图16所示的终点位置沿着相反方向移位时，通过供应之前供应到第三口巧4的压力流体，相对于第四口156，活塞37被按压并且沿着远离杆支座46的方向(箭头B的方向)移位，并伴随着滑动台14与活塞37—起通过活塞杆38沿着接近缸体152的方向移位。而且，通过使得组成止动机构164的另一个止动螺栓160b抵靠组成导向机构16的导向块92的端表面，滑动台14的移位被停止，从而滑动台14返回其初始位置(参见图13和14)。更具体地，具有根据第二实施例的线性致动装置150，第一和第二口26J8与第三和第四口巧4、156分别设置在缸体152的一侧表面和另一侧表面上，并且因为提供了压力流体的供应和排出能够选择性通过第一和第二口26J8与或第三和第四口巧4、156的结构，其最适于供应压力流体的线性致动装置150的安装环境，对应于管路等的布置。进一步，类似的方式，因为传感器附接槽158a、158b分别形成在缸体152的一侧表面和另一侧表面上，检测传感器能够通过选择最好地对应于线性致动装置150的安装环境的传感器附接槽158a、15被附接。而且，通过相对于两个传感器附接槽158a、15设置各自的检测传感器，活塞37的偏移位置能够更加精确地被检测。进一步，停止滑动台14的移位的止动机构164由一对止动螺栓160a、160b组成，从而一个止动螺栓160a被布置在滑动台14的一端、在其宽度方向(箭头C的方向)上的大致中间位置，然而另一止动螺栓160b布置在连接到滑动台14的另一端的端板巧4上、在其宽度方向(箭头C的方向)上的大致中间位置。因为这样，在初始位置以及移位端部位置，滑动台14被移位并且通过止动螺栓160a,160b分别抵靠导向块92而被停止，从而能够抑制从线性致动装置150的上方看时沿着横向方向(左右方向)的移动的产生。更具体地，包括止动机构164的线性致动装置150在线性致动装置150的横向方向(左右方向)上形成对称形状。结果，滑动台14在其自身停止时的倾斜(歪斜)能够被抑制，并且与仅在滑动台14的一端侧设置止动螺栓160a的情况相比，能够更可靠地抑制移动的产生，从而滑动台14能够被更可靠且更稳定地停止。传感器附接槽158a、158b不限于如上所述设置为在缸体152的一侧和另一侧表面上分别形成一个的情况。例如，如图17到19所示的线性致动装置200，在缸体202的高度方向上彼此分开预定距离的两行传感器附接槽2(Ma、204b可以被分别设置为沿着缸体202的长度方向(箭头A和B的方向)延伸。在这种情况下，例如，用于检测活塞37的初始位置的检测传感器可以被设置在一个传感器附接槽20中，而用于检测活塞37的移位终点位置的另一个检测传感器可以被设置在另一个传感器附接槽204b中，从而活塞37的初始位置和移位终点位置能够以高精度被检测。接下来，图20到21显示了根据第三实施例的线性致动装置250。在该第三实施例中，与根据第一和第二实施例的线性致动装置10、150相同的结构元件使用相同的参考标号标示，并且这些相同特征的详细描述被省略。根据第三实施例的线性致动装置250与根据第一和第二实施例的线性致动装置10、150不同的地方在于，替代在缸体12的一侧表面和另一侧表面设置第一和第二口26、观，第一和第二口256、258被设置在端块254中，该端块2M连接到缸体252的端部。端块邪4被连接到缸体252的一端，从而关闭并且密封通孔30a、30b。第一和第二口256、258被形成在端块2M的端表面，在宽度方向上隔开预定距离，并且朝向缸体252侧延伸(箭头A的方向)。第一口256通过第一连通通道洸0与通孔30a中的一个的端部连通。第二口258被连接到第二连通通道沈2，其在端块254内部沿着宽度方向(箭头C的方向)延伸，并且通过形成在缸体252中的一对通孔30a、30b之间的第三连通通道264连接到连接通道50a，该连接通道50a布置在端板M侧。更具体地，从第二口258供应的压力流体经过第二和第三连通通道沈2、沈4以及连接通道50a，并且在活塞37和杆支座46之间被分别供应到通孔30a、30b中。进一步，第三连通通道264被形成为不与端块邪4侧(箭头B的方向)的连接通道50b连通。通过这样的方式，通过将具有第一和第二口256、258的端块邪4连接到缸体252在长度方向(箭头A和B的方向)上的一端，因为能够在缸体252的长度方向上建立到管路的连接，例如，这样的设置能够被应用到其中用于将管路连接到缸体252的一端侧和另一端侧的连接不牢固的安装环境。根据本发明的线性致动装置不限于上述实施例，还可以采用各种替换和附加特点和结构而不背离所述权利要求提出的本发明的实质和范围。权利要求1.一种线性致动装置(10、150、200、250)，其特征在于，在所述线性致动装置(10、150、200,250)中，通过从流体进/出口(26、28、154、156、256、258)导入压力流体，能够使得滑动台(14)沿着缸体(12、152、202、252)的轴向往复运动，所述线性致动装置包括所述缸体(12、152、202、252)，所述缸体(12,152,202,252)与所述流体进/出口(26、28、154、156、256、258)连通并且具有一对缸室(30a、30b)，压力流体被注入所述一对缸室(30a,30b)中；所述滑动台(14)，所述滑动台(14)沿所述缸体(12、152、202、252)的轴向往复运动；具有一对活塞(37)的缸机构(40)，所述活塞(37)可沿所述缸室(30a、30b)滑动，其中所述滑动台(14)在所述活塞(37)的移位动作的作用下往复运动；导向机构(16)，所述导向机构(16)用于沿所述缸体(12、152、202、252)的轴向引导所述滑动台(14)，所述导向机构(16)附接在所述缸体(12、152、202、252)上并且具有扁平的导向块(92)，所述导向块(92)内部形成有循环通道(62、74)，多个滚动体(60)在所述循环通道(62、74)中滚动并循环；以及用于控制所述滑动台(14)的往复移动的止动机构(18、164)，所述止动机构(18、164)设置在所述滑动台(14)的一端上、所述滑动台(14)的宽度方向上的中央，所述滑动台(14)的宽度方向垂直于所述滑动台(14)的轴向，其中，所述止动机构(18、164)与所述滑动台(14)一起移动，并且抵靠所述导向块(92)的端部。2.如权利要求1所述的线性致动装置，其特征在于，所述导向块(92)被固定到所述缸体(12、152、202、252)上。3.如权利要求2所述的线性致动装置，其特征在于，在所述缸体(12、152、202、252)的面对所述导向机构(16)和所述滑动台(14)的侧表面上设置有凹部(20)，所述凹部(20)在远离所述滑动台(14)的方向上凹陷，所述止动机构(18、164)的一部分插入所述凹部(20)。4.如权利要求3所述的线性致动装置，其特征在于，在所述滑动台(14)的面朝所述导向块(92)的侧表面的壁部(58a、58b)中形成有导槽，所述滚动体(60)在所述导槽中被引导。5.如权利要求1所述的线性致动装置，其特征在于，其中，所述止动机构(18、164)被布置在所述滑动台(14)沿着其轴向方向的一端和另一端中的至少一个上。6.如权利要求1所述的线性致动装置，其特征在于，其中，所述止动机构(18、164)进一步包括保持构件(64)和止动螺栓(82、160a)，所述保持构件(64)布置在所述滑动台(14)下方，所述止动螺栓(82、160a)与所述保持构件(64)螺纹接合以便能够沿所述轴向前进和回缩，所述保持构件(64)通过紧固件(66a)连接到所述滑动台(14)上，所述紧固件(66a)从所述滑动台(14)的上方插入。7.如权利要求1所述的线性致动装置，其特征在于，其中，所述流体进/出口(26、28、154、156、256、258)被分别布置在所述缸体(152、202、252)的相对侧表面上，布置在所述侧表面中的一个上的所述流体进/出口(26、28、154、156、256、258)被选择性地使用。8.如权利要求1所述的线性致动装置，其特征在于，其中，传感器附接槽(158a、158b、204a,204b)被分别形成在所述缸体(12、152、202、252)的轴向方向上的相对侧表面上，能够检测所述活塞(37)的移位位置的检测传感器被安装在所述传感器附接槽(158a、158b、204a、204b)中。9.如权利要求1所述的线性致动装置，其特征在于，其中，定位孔(29a、29b、75a、75b)布置在所述缸体(12、152、202、252)中，并且在垂直于所述轴向方向的宽度方向上位于所述滑动台(14)的中间位置。10.如权利要求4所述的线性致动装置，其特征在于，所述壁部(58a、58b)相对于基部(56)垂直形成，所述基部(56)设置在所述缸体(12、152、202、252)的上方并且平行于所述缸体(12、152、202、252)的上表面。11.如权利要求6所述的线性致动装置，其特征在于，所述保持构件(64)在其中心部具有凸起部(86)，所述凸起部(86)朝向所述缸体(12、152、202、252)凸出且具有弓形横截12.如权利要求11所述的线性致动装置，其特征在于，所述凹部(20)凹陷成具有与所述凸起部(86)相对应的弓形横截面。全文摘要一种线性致动装置(10)包括缸体(12)。滑动台(14)相对于缸体(12)设置以便通过设置在缸体(12)上的导向结构(16)往复移动。具有止动螺栓(82)的止动机构(18)设置在滑动台(14)的一端在宽度方向上的中央，该宽度方向垂直于滑动台(14)的纵向。此外，当滑动台(14)沿缸体(12)移动时，止动螺栓(82)的端部开始抵靠导向机构(16)的盖(96)的端部，借此滑动台(14)开始与其接合并且滑动台(14)的移动停止。文档编号F15B15/14GK102116331SQ20111000995公开日2011年7月6日申请日期2011年1月5日优先权日2010年1月5日发明者佐藤俊夫,佐藤太平,原耕二,政所二朗,石桥康一郎,高梨精二申请人:Smc株式会社