一种多级气冷罗茨真空泵的制作方法

1.本实用新型涉及真空泵技术领域，具体涉及一种多级气冷罗茨真空泵。


背景技术：

2.目前，为了满足以半导体、电子工业、化工业等为代表的制造工艺对无油的清沽真空的需要，越来越多的干式真空获得设备得以开发及广泛应用。多级是相对于传统愈义上的“单级”罗茨泵而言的，即在转子轴上串联多级罗茨型转子，各级转子由中间壁来隔离，形成相对独立的泵腔，各级泵腔之间通过上一级的进气口和下一级的排气口间的气流通道相连接。各级转子的直径和形状是相同的，而各级转子的宽度有时是不同的，向高压侧方向变窄了。被抽气体从第一级的进气口进入泵腔，经一级压缩后，通过气流通道进人下一级泵腔，继续压缩，气体经过如此逐级压缩，最后从最后一级的排气日排出。
3.多级罗茨泵通过多级转子的串联实现多个罗茨泵串联的效果，所以多级罗茨泵并不能比单级罗茨泵拥有更大的抽速，其理论抽速是取决于第一级的理论抽速。但是这种结构却可以使罗茨真空泵达到很高的压缩比。因此，多级罗茨泵是可以作为主泵直排大气，而无需再配置前级泵，这样就可以避免前级泵环节给系统带来的油气污染。3~6级的罗茨泵可从大气压抽到极限压力1pa，如此高的压力差会使转子过热膨胀，而产生卡死现象。
4.因此，需要一种多级气冷罗茨真空泵。


技术实现要素：

5.本实用新型是为解决现有技术中的问题而提出的，其目的在于，提供一种多级气冷罗茨真空泵，解决了转子卡死的问题。
6.一种多级气冷罗茨真空泵，包括底座、泵体和电动机，所述电动机与泵体之间通过联轴器连接，所述联轴器的外围设有固定板，所述固定板为“u”型结构，所述“u”型结构的底部设有连接板，所述连接板上设有通孔，用以将连接板固定于底座上，从而固定联轴器；所述泵体和电动机的底部均设有固定块，所述固定块焊接于底座上，所述泵体的底部设有排气管道，所述排气管道的底部连接有冷却器，用以冷却排出的气体；所述底座设有顶板和底板，所述顶板和底板之间设有若干支撑柱，所述底板焊接有连接块，所述连接块的两侧为三角形板，所述连接块的底部为矩形板，所述矩形板上设有通孔，用以固定底座。
7.优选的是，所述泵体设有护板，所述护板的顶部和底部均设有连接孔，所述连接孔内安装有“l”型把手，所述“l”型把手通过螺栓固定于连接孔内。
8.优选的是，所述泵体采用迷宫式结构。
9.优选的是，所述泵体内设有转轴以及安装于转轴上的转子，所述泵体的顶部设有进气口，所述泵体内的侧面设有空气进口。
10.本实用新型设计的多级气冷罗茨真空泵，通过控制转子的温度不超过其允许范围，利用冷却气体来冷却转子。同时为了防止轴承和齿轮的润滑油向泵腔内返流，多级罗茨泵的泵腔和齿轮箱之间隔开或用迷宫式结构加以密封，为了提高无油的程度。
附图说明
11.图1为本实用新型的结构示意图。
12.图2为本实用新型侧视图。
13.图中：1
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底座，11
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顶板，12
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底板，13
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连接块，14
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支撑柱；2
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泵体，21
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护板，22
‑“
l”型把手，23
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进气口；3
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电动机；4
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固定板；5
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连接板；6
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固定块；7
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排气管道；8
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冷却器。
具体实施方式
14.以下将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.本实用新型的实施方式，参见图1
‑
2，一种多级气冷罗茨真空泵，包括底座1、泵体2和电动机3，电动机3与泵体2之间通过联轴器连接，联轴器的外围设有固定板4，固定板4为“u”型结构，“u”型结构的底部设有连接板5，连接板5上设有通孔，用以将连接板5固定于底座1上，从而固定联轴器。
16.泵体2和电动机3的底部均设有固定块6，固定块6焊接于底座1上，泵体2的底部设有排气管道7，排气管道7的底部连接有冷却器8，用以冷却排出的气体；泵体1设有护板21，护板21的顶部和底部均设有连接孔，连接孔内安装有“l”型把手22，“l”型把手22通过螺栓固定于连接孔内；泵体2采用迷宫式结构；泵体2内设有转轴以及安装于转轴上的转子，泵体2内的顶部设有进气口23，泵体2内的侧面设有空气进口；泵体2内的一侧上安装有油箱，转轴插置于油箱内的一端上均套装有齿轮。
17.底座1设有顶板11和底板12，顶板11和底板12之间设有若干支撑柱14，底板1焊接有连接块13，连接块13的两侧为三角形板，连接块13的底部为矩形板，矩形板上设有通孔，用以固定底座1。
18.其中，转子包括主动转子和从动转子。
19.本实用新型的使用方法：电动机3通过联轴器将动力传递给转轴后驱动泵体2内的主动转子，主动转子通过油箱内的齿轮驱动从动转子，两个转子在泵体2内作等速反向旋转，分别实现吸气和排气功能，由于转子采用三叶结构，因此每个转子旋转一周可以实现三次吸气和排气作用；罗茨真空泵的进排气压缩比达到l：10，压缩气体会产生很大温升，由于泵体1的的进气口23具有一定真空度，当转子空腔与泵体侧面空气进口联通时，利用压差的作用将常压常温空气吸入泵腔来实现泵体内部发热零件的冷却；同时排出的气体经冷却器冷却后排出，进行回收。
20.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
21.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，
可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种多级气冷罗茨真空泵，其特征在于，包括底座、泵体和电动机，所述电动机与泵体之间通过联轴器连接，所述联轴器的外围设有固定板，所述固定板为“u”型结构，所述“u”型结构的底部设有连接板，所述连接板上设有通孔，用以将连接板固定于底座上，从而固定联轴器；所述泵体和电动机的底部均设有固定块，所述固定块焊接于底座上，所述泵体的底部设有排气管道，所述排气管道的底部连接有冷却器，用以冷却排出的气体；所述底座设有顶板和底板，所述顶板和底板之间设有若干支撑柱，所述底板焊接有连接块，所述连接块的两侧为三角形板，所述连接块的底部为矩形板，所述矩形板上设有通孔，用以固定底座。2.根据权利要求1所述的一种多级气冷罗茨真空泵，其特征在于，所述泵体设有护板，所述护板的顶部和底部均设有连接孔，所述连接孔内安装有“l”型把手，所述“l”型把手通过螺栓固定于连接孔内。3.根据权利要求2所述的一种多级气冷罗茨真空泵，其特征在于，所述泵体采用迷宫式结构。4.根据权利要求1所述的一种多级气冷罗茨真空泵，其特征在于，所述泵体内设有转轴以及安装于转轴上的转子，所述泵体的顶部设有进气口，所述泵体的侧面设有空气进口。

技术总结
本实用新型涉及一种多级气冷罗茨真空泵，包括底座、泵体和电动机，所述电动机与泵体之间通过联轴器连接，所述联轴器的外围设有固定板，所述固定板为“U”型结构，所述“U”型结构的底部设有连接板，所述连接板上设有通孔，用以将连接板固定于底座上，从而固定联轴器；所述泵体和电动机的底部均设有固定块，所述固定块焊接于底座上，所述泵体的底部设有排气管道，所述排气管道的底部连接有冷却器，用以冷却排出的气体；所述底座设有顶板和底板，所述顶板和底板之间设有若干支撑柱，所述底板焊接有连接块，所述连接块的两侧为三角形板，所述连接块的底部为矩形板，所述矩形板上设有通孔，用以固定底座。以固定底座。以固定底座。


技术研发人员：李聪 吕冬梅 黄福文 胡金磊 王以翠 李成宇
受保护的技术使用者：山东淄博德西瑞泵业有限公司
技术研发日：2021.06.08
技术公布日：2021/12/14