流体控制装置的制作方法

本发明涉及具备泵和内包泵的框体的流体控制装置。

背景技术：

1、在专利文献1中，记载了具备泵部、阀部以及外框体的压电鼓风机。泵部与阀部连通。由泵部和阀部构成的部分配置在外框体内。由泵部和阀部构成的构造体固定于外框体。

2、由泵部和阀部构成的构造体将外框体的内部空间分成泵侧的空间和阀侧的空间。在外框体形成有使泵侧的空间与外部空间连通的贯通孔、以及使阀侧的空间与外部空间连通的贯通孔。

3、泵部具备压电元件。通过对压电元件施加驱动电压信号，使其作为泵发挥功能。压电元件露出于泵侧的空间。

4、专利文献1：国际公开第2017/038565号

5、然而，在专利文献1所示的结构中，当长时间驱动压电元件时，产生的热量积存在外框体内。由此，压电鼓风机整体的温度上升，作为鼓风机(流体控制装置)的特性降低。

技术实现思路

1、因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制由压电元件的发热引起的特性的降低的流体控制装置。

2、本发明的流体控制装置具备泵和内包泵的外框体。泵具备：第一平板；第二平板，配置为相对于第一平板空开间隔地对置，并与第一平板一起形成泵室；以及压电元件，配置于第一平板的与泵室相反侧的面。外框体具备：第一外壁，形成第一平板侧的第一内部空间，并具有使第一内部空间与外部空间连通的第一贯通孔；和第二外壁，形成第二平板侧的第二内部空间，并具有使第二内部空间与外部空间连通的第二贯通孔。第一外壁具备：第一外壁主板，与压电元件对置；和第一侧板，与第一外壁主板连接且具有第一贯通孔。第一外壁主板具有比第二外壁高的导热性。

3、在该结构中，由于压电元件的驱动而产生的热量经由第一外壁主板以高效率向外部空间散热。

4、根据本发明，能够抑制由压电元件的发热引起的特性降低。

技术特征：

1.一种流体控制装置，其中，

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，

3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其中，

4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的流体控制装置，其中，

6.根据权利要求5所述的流体控制装置，其中，

7.根据权利要求1～6中任一项所述的流体控制装置，其中，

8.根据权利要求7所述的流体控制装置，其中，

9.根据权利要求8所述的流体控制装置，其中，

10.根据权利要求9所述的流体控制装置，其中，

11.根据权利要求7～10中任一项所述的流体控制装置，其中，

技术总结
本发明提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备泵(20)和将泵(20)内包的外框体(40)。外框体(40)具备第一外壁，该第一外壁形成泵(20)的平板(21)侧的内部空间(101)，并具有使内部空间(101)与外部空间连通的贯通孔(51)。第一外壁具备：外壁主板(41)，与压电元件(30)对置；和侧板(431)，与外壁主板(41)连接，且具有贯通孔(51)。外壁主板(41)具有比第二外壁高的导热性。

技术研发人员：田中伸拓,川端友德,阿知波宽基
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13