一种水环泵吸气口防堵装置的制作方法

本技术涉及硅单晶设备，具体地说，涉及一种水环泵吸气口防堵装置。

背景技术：

1、直拉单晶炉在拉制重掺杂硅单晶时，需用到水环真空泵，水环真空泵内装有带固定叶片的偏心转子，是将水(液体)抛向定子壁，水(液体)形成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可变容积的一种旋转变容积真空泵。公开号为cn105179244a公开号一种水环真空泵，包括泵体、叶轮、泵轴、前盖、后盖、前分配板、后分配板、前轴承体以及后轴承体；泵轴装设于泵体内，叶轮装设于泵轴上，前盖和后盖分别盖设于泵体的前后侧；前分配板安装于泵体的前侧，后分配板安装于泵体的后侧，前分配板和后分配板的结构相同，其一侧具有进气孔，另一侧具有排气孔；前轴承体内部设有前柱子轴承，后轴承体内部设有后柱子轴承和向心轴承，后柱子轴承和向心轴承均安装于泵轴上；前柱子轴承的外侧设有前离心盘，后柱子轴承的外侧设有后离心盘，前离心盘和后离心盘均安装于泵轴的端部。所述水环真空泵具有降低能耗、节约成本等有益效果。

2、上述中的方案具有降低能耗、节约成本等有益效果，但水环真空泵在使用一定时间后，在吸气口位置容易积累垃圾，吸力会变小，导致影响水环真空泵的使用效率和寿命，因此需要经常打开清理垃圾。但当水环真空泵在连续不间断的使用过程中发生堵塞，而且真空泵连接设备无法中途停止进行垃圾清理，就会对设备真空压力造成影响。例如直拉单晶炉在拉制重掺杂硅单晶时，由于掺杂量大，挥发物非常多，水环泵吸气口很容易发生堵塞，炉内真空压力会逐渐上升，导致影响硅单晶的正常生长及产品质量。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种水环泵吸气口防堵装置，以解决上述背景技术中提出的水环真空泵在连续不间断的使用过程中发生堵塞、真空泵连接设备无法中途停止进行垃圾清理、影响硅单晶的正常生长及产品质量问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种水环泵吸气口防堵装置，包括水环泵，靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气；

3、吸气管，所述吸气管的一端与水环泵的一端吸气口连接；

4、水管，所述水管的一端通过进水头与吸气管的顶端连接，用于对吸气口进行冲洗，所述进水头上设有水阀。

5、作为优选，所述水环泵的一侧外壁设有水箱，所述水箱的顶部设有支架，所述支架的侧壁设有固定圈，所述水管穿过固定圈，且通过锁紧螺栓锁紧固定。

6、作为优选，所述吸气管的底端设有扩张管，所述吸气管的顶端设置有密封塞。

7、作为优选，所述进水头靠近吸气管的一端外侧设置有密封圈。

8、作为优选，所述吸气管的顶端外侧设有吸气端。

9、作为优选，所述水环泵的底部设有支座。

10、作为优选，所述水环泵为水平放置，所述水箱通过支撑座固定在水环泵的一侧。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

12、1、该水环泵吸气口防堵装置中，通过水管能够实时地对吸气管内部进行冲洗，当水环真空泵吸力明显下降时，打开水阀(慢速)，对吸气口进行冲洗1-2分钟，然后关闭水阀，确认吸力基本恢复到原来程度，即可继续进行使用。尤其是当水环真空泵在连续不间断的使用过程中发生堵塞，且无法中途停止进行打开清理时，该装置能够有效保证设备的真空压力长时间处于正常状态，提高硅单晶的生长及产品质量。

13、2、该水环泵吸气口防堵装置中，通过支架和固定圈能够将水管支撑固定，从而保证水管的限位，保证水流的顺利输送。

技术特征：

1.一种水环泵吸气口防堵装置，其特征在于：包括

2.根据权利要求1所述的水环泵吸气口防堵装置，其特征在于：所述水环泵(1)的一侧外壁设有水箱(2)，所述水箱(2)的顶部设有支架(6)，所述支架(6)的侧壁设有固定圈(61)，所述水管(5)穿过固定圈(61)，且通过锁紧螺栓(611)锁紧固定。

3.根据权利要求1所述的水环泵吸气口防堵装置，其特征在于：所述吸气管(3)的底端设有扩张管(32)，所述吸气管(3)的顶端设置有密封塞(31)。

4.根据权利要求1所述的水环泵吸气口防堵装置，其特征在于：所述进水头(7)靠近吸气管(3)的一端外侧设置有密封圈(71)。

5.根据权利要求1所述的水环泵吸气口防堵装置，其特征在于：所述吸气管(3)的顶端外侧设有吸气端(4)。

6.根据权利要求1所述的水环泵吸气口防堵装置，其特征在于：所述水环泵(1)的底部设有支座(11)。

7.根据权利要求2所述的水环泵吸气口防堵装置，其特征在于：所述水环泵(1)为水平放置，所述水箱(2)通过支撑座固定在水环泵(1)的一侧。

技术总结
本技术涉及硅单晶设备技术领域，具体为一种水环泵吸气口防堵装置，包括水环泵，靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气；吸气管，吸气管的一端与水环泵的一端吸气口连接；水管，水管的一端通过进水头与吸气管的顶端连接，用于对吸气口进行冲洗，进水头上设有水阀。该水环泵吸气口防堵装置中，通过水管能够实时地对吸气管内部进行冲洗，当水环真空泵吸力明显下降时，打开水阀(慢速)，对吸气口进行冲洗1‑2分钟，然后关闭水阀，确认吸力基本恢复到原来程度，即可继续进行使用，通过支架和固定圈能够将水管支撑固定，从而保证水管的限位，保证水流的顺利输送，提高硅单晶的生长及产品质量。

技术研发人员：杨国梁,黄卫军,高海军,左凯伦,詹国建,姜志宏,赵亮,徐晖,白超,潘金平
受保护的技术使用者：浙江海纳半导体股份有限公司
技术研发日：20221114
技术公布日：2024/1/13