真空泵的控制装置以及控制方法与流程

本发明涉及一种真空泵的控制装置以及真空泵的控制方法。

背景技术：

1、在真空泵中，有通过马达来驱动转子旋转以排出气体的真空泵。专利文献1所记载的真空泵中记载了：检测转子轴的轴位移，对检测到的次数进行累计，在累计次数超过规定次数的情况或者累计次数在规定时间内超过规定次数的情况下发出警报。

2、[现有技术文献]

3、[专利文献]

4、专利文献1：日本专利特开2004-150340号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的问题]

2、根据专利文献1所记载的真空泵，仅基于计测到转子轴的轴位移的累计次数来发出警报，对于其他种类的异常未作考虑。因此，例如在检测到转子轴的轴位移的累计次数超过了规定次数，另一方面，其他种类的异常的发生次数少的情况下，尽管真空泵发生故障的可能性低，但仍会发出警报。即，在以往的泵中，即便在原本不需要产生警报的情况下也有可能产生警报。虽无特别限定，但例如在与警报同时使真空泵停止的结构中，尽管真空泵发生故障的可能性低，但仍会使真空泵停止，从而有可能对利用真空泵进行排气的对象装置的动作造成障碍。而且，在将此种真空泵适用于半导体制造装置的情况下，真空泵的不必要停止会造成制造线停止的重大问题。

3、本发明是为了解决所述以往的问题而完成，其目的在于防止根据仅一种异常的发生次数而误产生重大警报(alarm)的情况。

4、[解决问题的技术手段]

5、本发明的一形态的控制装置是通过马达来驱动转子旋转以排出气体的真空泵的控制装置。控制装置包括控制部。控制部对真空泵中发生的多种异常各自的发生次数进行计数，当多种异常的发生次数分别超过规定阈值时，产生重大警报。

6、[发明的效果]

7、所述的控制装置中，当真空泵中发生的多种真空泵的各异常的发生次数超过规定阈值时，产生重大警报。即，是否产生重大警报，是根据多种异常各自的发生次数来决定。由此，在仅一种异常的发生次数多而其他异常的发生次数少，因而真空泵发生故障的可能性低的情况下，能够防止误产生重大警报。另外，所谓重大警报的产生，未必需要告知给用户(显示或发声等)，也可仅存储于存储部中。

技术特征：

1.一种控制装置，为真空泵的控制装置，其特征在于，所述真空泵通过马达来驱动转子旋转以排出气体，所述控制装置包括控制部，

2.根据权利要求1所述的控制装置，其中

3.根据权利要求2所述的控制装置，其中

4.根据权利要求2所述的控制装置，其中，还包括存储部，

5.根据权利要求2所述的控制装置，其中

6.根据权利要求1至5中任一项所述的控制装置，其中

7.根据权利要求1至5中任一项所述的控制装置，其中

8.一种控制方法，是真空泵的控制方法，其特征在于，所述真空泵通过马达来驱动转子旋转以排出气体，所述控制方法包括下述步骤：对所述真空泵中发生的多种异常各自的发生次数进行计数；以及

技术总结
本发明提供一种防止运行模式误转变为运行限制模式的真空泵的控制装置以及控制方法。控制装置(6)包括控制部(62)。控制部(62)对真空泵(1)中发生的多种异常各自的发生次数进行计数，当多种异常的发生次数分别超过规定阈值时，产生重大警报。

技术研发人员：广田圣典
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15