真空泵以及气体供给系统的制作方法

本申请涉及气体输送，具体涉及一种真空泵以及气体供给系统。

背景技术：

1、干式真空泵是一种泵腔内无油或其他工作介质的机械真空泵，常用于生成腐蚀性气体、研磨微粒的半导体刻蚀工艺或多晶硅制备工艺等领域。在干式真空泵工作过程中，由于压缩气体存在粉尘等杂质，会造成粉尘累积问题，从而导致真空泵卡死现象，因此干式真空泵通常会采用气体吹扫管向压缩腔室内吹入气体，以避免解决干式真空泵的螺杆卡死的问题。

2、然而，干式真空泵运行时其温度高于气体吹扫管中吹扫气体的温度，这导致吹扫气体进入真空泵时会降低真空泵的温度，使其低于真空泵的预设温度，进而导致真空泵的真空度劣化现象。

技术实现思路

1、本申请提供一种真空泵以及气体供给系统，旨在解决吹扫气体温度低于真空泵温度而导致真空泵真空度劣化的技术问题。

2、第一方面，本申请提供一种真空泵，包括：

3、定子，定子的内部具有压缩腔室；

4、第一转子和第二转子，第一转子和第二转子安装于压缩腔室内；

5、气体吹扫管，气体吹扫管与压缩腔室连通，以对压缩腔室的内壁面、第一转子和第二转子进行吹扫；

6、其中，定子的外表面具有与压缩腔室对应的安装槽，气体吹扫管至少部分嵌入安装槽内，以使得气体吹扫管与定子进行热交换并加热气体吹扫管内的气体。

7、在一些实施例中，气体吹扫管具有并排布置的多个管道部；

8、对于位于首尾的两管道部之间的任一管道部，其一端与上一管道部相同的一端连通，另外一端与下一管道部相同的一端连通，以使得多个管道部依次连接并组成蛇形的气体吹扫管。

9、在一些实施例中，管道部沿定子的轴线方向延伸。

10、在一些实施例中，压缩腔室包括沿定子的轴线方向依次排列的多个压缩腔；

11、管道部沿与定子的轴线垂直的方向延伸，且每个压缩腔对应至少一个管道部。

12、在一些实施例中，定子具有进气口以及出气口；

13、沿进气口指向出气口的方向，每一压缩腔对应的管道部的数量依次增加；或者

14、沿进气口指向出气口的方向，每一压缩腔对应的管道部的流程长度依次增大。

15、在一些实施例中，气体吹扫管包括流入管、流出管以及多个并排布置的子管；

16、多个子管相同的一端与流入管连通，多个子管相同的另外一端与流出管连通。

17、在一些实施例中，每根子管上设置有第一阀门。

18、在一些实施例中，压缩腔室包括沿定子的轴线方向依次排列的多个压缩腔；

19、子管沿与定子的轴线垂直的方向延伸，且每个压缩腔对应的子管数量不相等。

20、在一些实施例中，定子具有进气口以及出气口；

21、沿进气口指向出气口的方向，每一压缩腔对应的子管的数量依次增加。

22、第二方面，本申请提供一种气体供给系统，包括如第一方面所述的真空泵。

23、本申请通过在定子的外表面开设与压缩腔室对应的安装槽，并将气体吹扫管至少部分嵌入在安装槽内，使得定子与气体吹扫管进行热交换，从而加热气体吹扫管内的气体，使得气体吹扫管内吹扫气体的温度提高，避免真空泵运行时其温度与气体吹扫管中的吹扫气体的温度温差过大，而导致的真空泵真空度劣化现象。

技术特征：

1.一种真空泵，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述气体吹扫管具有并排布置的多个管道部；

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述管道部沿所述定子的轴线方向延伸。

4.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述压缩腔室包括沿所述定子的轴线方向依次排列的多个压缩腔；

5.如权利要求4所述的真空泵，其特征在于，所述定子具有进气口以及出气口；

6.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述气体吹扫管包括流入管、流出管以及多个并排布置的子管；

7.如权利要求6所述的真空泵，其特征在于，每根所述子管上设置有第一阀门。

8.如权利要求7所述的真空泵，其特征在于，所述压缩腔室包括沿所述定子的轴线方向依次排列的多个压缩腔；

9.如权利要求8所述的真空泵，其特征在于，所述定子具有进气口以及出气口；

10.一种气体供给系统，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的真空泵。

技术总结
本申请提供一种真空泵以及气体供给系统，真空泵包括：定子，定子的内部具有压缩腔室；第一转子和第二转子，第一转子和第二转子安装于压缩腔室内；气体吹扫管，气体吹扫管与压缩腔室连通，以对压缩腔室的内壁面、第一转子和第二转子进行吹扫。本申请通过在定子的外表面开设与压缩腔室对应的安装槽，并将气体吹扫管至少部分嵌入在安装槽内，使得定子与气体吹扫管进行热交换，从而加热气体吹扫管内的气体，使得气体吹扫管内吹扫气体的温度提高，避免真空泵运行时其温度与气体吹扫管中的吹扫气体的温度温差过大而导致的真空泵真空度劣化现象，同时还利用气体吹扫管吸收定子热量进而提高了真空泵的散热效果。

技术研发人员：魏民,丁印明,张风港
受保护的技术使用者：北京通嘉宏瑞科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13