泵体加热控制系统及泵体加热控制方法与流程

本申请涉及真空泵，具体而言，涉及一种泵体加热控制系统及泵体加热控制方法。

背景技术：

1、现有技术中，为避免真空泵内气体冷凝影响真空泵的使用，在真空泵运行过程中，通常需要对真空泵进行适当地加热。目前，一般根据实时测得的泵体温度与统一的预设温度值之间的差值来进行加热控制。然而，由于真空泵内的气体可能掺杂杂质，且气体状态也可能存在不同，这样的加热控制方式无法取得较好的防气体冷凝的效果。

技术实现思路

1、本申请旨在提供一种泵体加热控制系统及泵体加热控制方法，用以改善现有技术中的泵体加热控制方式无法取得较好的防气体冷凝的效果的问题。

2、本申请提供一种泵体加热控制系统，包括：加热模块；温度采集模块，用于采集真空泵的温度；环境信息采集模块，用于采集所述真空泵内的环境信息；控制模块，与所述温度采集模块、所述环境信息采集模块及所述加热模块连接，用于基于所述温度采集模块所采集的温度及所述环境信息采集模块所采集的环境信息控制所述加热模块对所述真空泵的泵体进行加热。

3、本申请通过在泵体加热控制系统中增设环境信息采集模块，且控制模块基于温度采集模块及环境信息采集模块的采集结果控制加热模块对真空泵进行加热，使得加热控制能够更具针对性，有助于提升防止真空泵内气体冷能的效果。

4、一实施例中，所述环境信息采集模块包括气体类型传感器、气体流量传感器及压力传感器中的至少一者。

5、本申请由于环境信息采集模块包括气体类型传感器、气体流量传感器及压力传感器中的至少一者，在进行泵体加热控制时，至少将真空泵内的气体组成、气体流量或气体压力纳入考虑，因此，可以在一定程度上使得加热控制能够更具针对性，提升防止真空泵内气体冷能的效果。

6、一实施例中，所述环境信息采集模块包括气体类型传感器、气体流量传感器及压力传感器，所述泵体加热控制系统还包括模拟信号采集模块，所述模拟信号采集模块连接在所述压力传感器、所述气体流量传感器及所述温度采集模块与所述控制模块之间，所述气体类型传感器与所述控制模块连接。

7、本申请通过使环境信息采集模块包括气体类型传感器、气体流量传感器及压力传感器，可以进一步使得加热控制能够更具针对性，从而进一步提升防止真空泵内气体冷能的效果。模拟信号采集模块的设置可以将压力传感器、气体流量传感器及温度采集模块所采集的物理量转换为控制模块能够识别并处理的物理量。气体类型传感器与控制模块连接，可以直接将检测结果传输给控制模块。

8、一实施例中，所述温度采集模块包括多个泵体温度传感器及一个尾排温度传感器，所述泵体温度传感器用于分散地设置在所述真空泵的泵体上，且均与所述模拟信号采集模块连接，所述尾排温度传感器用于设置在所述真空泵的排气管上，且与所述模拟信号采集模块连接。

9、本申请通过使温度采集模块包括多个泵体温度传感器及一个尾排温度传感器，有助于采集到更为准确的泵体温度，有助于提升泵体加热控制的精准性。

10、一实施例中，所述泵体温度传感器及所述尾排温度传感器均为pt100温度传感器。

11、本申请的泵体温度传感器及尾排温度传感器均采用pt100温度传感器，一方面，由于铂电阻具有精度高、性能可靠、稳定性佳等特点，且铂电阻的电阻相对变化率与温度的关系曲线线性度最好，可以保障测温的准确性；另一方面，可以避免电阻自发热对温度测量的影响，进一步保障测温的准确性。

12、一实施例中，所述温度采集模块还包括恒流源单元，所述恒流源单元与所述泵体温度传感器及所述尾排温度传感器一一对应，每一所述恒流源单元连接在与之对应的所述泵体温度传感器或所述尾排温度传感器与所述模拟信号采集模块之间。

13、一实施例中，所述恒流源单元的输出电流在0.5ma～2ma之间。

14、本申请通过将恒流源单元的输出电流设定在0.5ma～2ma之间，一方面，有助于减少温度传感器自发热对测温的影响，另一方面，可以避免电流过低所导致的温度传感器易受噪声干扰的问题。

15、一实施例中，所述温度采集模块还包括信号调理单元，所述信号调理单元与所述恒流源单元一一对应，每一所述信号调理单元连接在与之对应的所述恒流源单元与所述模拟信号采集模块之间。

16、一实施例中，所述模拟信号采集模块包括模拟信号多路选择器及模拟信号采集器，所述模拟信号多路选择器连接在所述信号调理单元与所述模拟信号采集器之间，所述模拟信号采集器还与所述控制模块连接。

17、本申请还提供一种泵体加热控制方法，包括：获取真空泵内的当前环境信息及所述真空泵的当前温度，所述当前环境信息包括所述真空泵内当前通入的气体类型、所述真空泵内的当前压力值、所述真空泵内单位时间的气体流量中的至少一者；根据所述当前环境信息确定与所述当前环境信息对应的目标温度；基于所述当前温度及所述目标温度的差值对所述真空泵的泵体加热进行控制。

18、本申请的一个或多个实施例的细节在下面的附图和描述中提出。本申请的其它特征、目的和优点将从说明书、附图以及权利要求书变得明显。

技术特征：

1.一种泵体加热控制系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的泵体加热控制系统，其特征在于，所述环境信息采集模块包括气体类型传感器、气体流量传感器及压力传感器中的至少一者。

3.如权利要求2所述的泵体加热控制系统，其特征在于，所述环境信息采集模块包括气体类型传感器、气体流量传感器及压力传感器，所述泵体加热控制系统还包括模拟信号采集模块，所述模拟信号采集模块连接在所述压力传感器、所述气体流量传感器及所述温度采集模块与所述控制模块之间，所述气体类型传感器与所述控制模块连接。

4.如权利要求3所述的泵体加热控制系统，其特征在于，所述温度采集模块包括多个泵体温度传感器及一个尾排温度传感器，所述泵体温度传感器用于分散地设置在所述真空泵的泵体上，且均与所述模拟信号采集模块连接，所述尾排温度传感器用于设置在所述真空泵的排气管上，且与所述模拟信号采集模块连接。

5.如权利要求4所述的泵体加热控制系统，其特征在于，所述泵体温度传感器及所述尾排温度传感器均为pt100温度传感器。

6.如权利要求4所述的泵体加热控制系统，其特征在于，所述温度采集模块还包括恒流源单元，所述恒流源单元与所述泵体温度传感器及所述尾排温度传感器一一对应，每一所述恒流源单元连接在与之对应的所述泵体温度传感器或所述尾排温度传感器与所述模拟信号采集模块之间。

7.如权利要求6所述的泵体加热控制系统，其特征在于，所述恒流源单元的输出电流在0.5ma～2ma之间。

8.如权利要求6所述的泵体加热控制系统，其特征在于，所述温度采集模块还包括信号调理单元，所述信号调理单元与所述恒流源单元一一对应，每一所述信号调理单元连接在与之对应的所述恒流源单元与所述模拟信号采集模块之间。

9.如权利要求8所述的泵体加热控制系统，其特征在于，所述模拟信号采集模块包括模拟信号多路选择器及模拟信号采集器，所述模拟信号多路选择器连接在所述信号调理单元与所述模拟信号采集器之间，所述模拟信号采集器还与所述控制模块连接。

10.一种泵体加热控制方法，其特征在于，包括：

技术总结
本申请提供一种泵体加热控制系统及泵体加热控制方法，该泵体加热控制系统包括：加热模块；温度采集模块，用于采集真空泵的温度；环境信息采集模块，用于采集真空泵内的环境信息；控制模块，与温度采集模块、环境信息采集模块及加热模块信号连接，用于基于温度采集模块所采集的温度及环境信息采集模块所采集的环境信息控制加热模块对真空泵的泵体进行加热。本申请通过在泵体加热控制系统中增设环境信息采集模块，且控制模块基于温度采集模块及环境信息采集模块的采集结果控制加热模块对真空泵进行加热，使得加热控制更具针对性，有助于提升防止真空泵内气体冷能的效果。

技术研发人员：魏民,王进福,张新房
受保护的技术使用者：北京通嘉宏瑞科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14