一种承托机构的制作方法

本技术涉及一种半导体设备中的机构，尤其是一种用于安装分子泵的承托机构。

背景技术：

1、在半导体设备中，分子泵常用作真空泵，其需要与摆阀对接，实现抽真空作业；

2、在安装分子泵时，现有竖置或横置两种方式；当采用横置方式时，需要多人合作抬托分子泵与摆阀对接，再通过螺栓连接分子泵与摆阀；由于分子泵较重，在安装时如抬托时间较长，当力所不及时分子泵有掉落危险，存在安全隐患；另外当半导体设备后期维护时，分子泵周围的半导体设备零部件较多，人员操作不便。

技术实现思路

1、为解决现有技术中的至少一个技术问题，本实用新型实施例提供一种承托机构，用于使得分子泵与摆阀对接或分离更方便，消除安全隐患，且便于后期维护操作。为实现以上技术目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：

2、本实用新型实施例提供了一种承托机构，包括：

3、底架；所述底架的一端具有第一安装部，用于安装摆阀，所述底架的另一端具有第二安装部，用于安装分子泵；

4、承载板，设置于底架上的第二安装部；

5、支撑座，设置在所述承载板上，用于承托分子泵；

6、横向滑动机构，设置在所述承载板与底架的第二安装部之间，用于承载板朝向或背离底架的第一安装部移动；

7、高度调整机构，设置在所述支撑座与所述承载板之间，用于调整支撑座相对于承载板的高度。

8、进一步地，所述横向滑动机构为两组滑块滑轨组件，分设在底架第二安装部的两侧；所述滑块滑轨组件包括滑块和滑轨，所述滑块安装在底架的第二安装部上，所述滑轨安装在承载板的底部。

9、更进一步地，所述滑块的前侧与后侧分别设有支撑块。

10、更进一步地，所述支撑块顶端设有滑轮。

11、进一步地，所述高度调整机构包括调整板和数个调整螺栓；所述承载板上开有调节孔和螺栓孔，所述调整板位于承载板的下方，所述支撑座下端穿过承载板上的调节孔与调整板连接，所述调整螺栓下端与调整板连接，上端穿过承载板上的螺栓孔，与螺母连接。

12、更优地，所述承载板上还开有安装孔。

13、进一步地，所述支撑座为v型座。

14、更进一步地，所述支撑座配置为两个，前后间隔设置。

15、本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

16、1）在安装分子泵时，能够将承载板和支撑座置于背离摆阀的位置，以获得较大操作空间；通过可以调节高度的支撑座来承托分子泵，又通过承载板的滑动使得分子泵可以靠近摆阀，对接容易且消除了分子泵掉落的安全隐患。

17、2）在后期维护时，方便将分子泵与摆阀分离，分离后的分子泵周围具有较大的操作空间，便于维护操作。

技术特征：

1.一种承托机构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的承托机构，其特征在于，

3.如权利要求2所述的承托机构，其特征在于，

4.如权利要求3所述的承托机构，其特征在于，

5.如权利要求1～4中任一项所述的承托机构，其特征在于，

6.如权利要求1～4中任一项所述的承托机构，其特征在于，

7.如权利要求1～4中任一项所述的承托机构，其特征在于，

8.如权利要求7所述的承托机构，其特征在于，

技术总结
本技术提供一种承托机构，包括：底架；所述底架的一端具有第一安装部，用于安装摆阀，所述底架的另一端具有第二安装部，用于安装分子泵；承载板，设置于底架上的第二安装部；支撑座，设置在所述承载板上，用于承托分子泵；横向滑动机构，设置在所述承载板与底架的第二安装部之间，用于承载板朝向或背离底架的第一安装部移动；高度调整机构，设置在所述支撑座与所述承载板之间，用于调整支撑座相对于承载板的高度。本技术提出的承托机构可以使得分子泵与摆阀对接或分离更方便，消除安全隐患，且便于后期维护操作。

技术研发人员：范雄,田文康
受保护的技术使用者：无锡尚积半导体科技有限公司
技术研发日：20230315
技术公布日：2024/1/13