用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置的制作方法

本技术涉及半导体，特别是涉及一种用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置。

背景技术：

1、现有的探针台在进行复机时，由于其构造原因，探针台只有机台前方处可以进行复机清洁，机台内部深处难以清洁彻底，工程师清洁时需要借助工作台，甚至进入机台内部进行清洁，会误触碰到机台内部传感器或破坏机台内部零件，从而增加宕机风险和降低机台使用寿命。

2、为解决上述问题，需要提出一种新型的用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，用于解决现有技术中探针台在进行复机时，由于其构造原因，探针台只有机台前方处可以进行复机清洁，机台内部深处难以清洁彻底，工程师清洁时需要借助工作台，甚至进入机台内部进行清洁，会误触碰到机台内部传感器或破坏机台内部零件，从而增加宕机风险和降低机台使用寿命的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，包括：

3、伸缩杆，所述伸缩杆包括固定机构与活动机构，所述活动机构远离所述固定机构端的一侧设置有夹具，所述夹具上的夹持部连接有无尘布，所述固定机构远离所述活动机构的一侧固定连接有握把；

4、设置于伸缩杆上的控制器，所述控制器用于控制所述伸缩杆的长度。控制器可以通过阀门控制气压、调节电动滑轨的移动、手柄或拉线等方式控制伸缩杆的长度。

5、优选地，所述伸缩杆为气弹簧。

6、优选地，所述气弹簧为自由型气弹簧、自锁型气弹簧、随意停气弹簧中的任意一种。

7、优选地，所述固定机构为固定套筒，所述活动机构为与所述固定套筒可伸缩连接的移动杆，所述移动杆靠近所述固定套筒的一端固定连接有活塞，所述固定套筒的活动机构设置有用于对活塞限位的限位挡板，所述活塞与所述固定套筒的密封端形成有压力腔，所述压力腔中填充有惰性气体或油气混合物，使得所述压力腔中的气压值大于大气压。

8、优选地，所述控制器为设置于压力腔中的阀门。

9、优选地，所述惰性气体为氮气。

10、优选地，所述握把为球形形状。

11、优选地，所述握把与所述固定机构间设置有连接杆。

12、优选地，所述活动机构的外壁设置有缓冲材料层。

13、如上所述，本实用新型的用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，具有以下有益效果：

14、本实用新型能够解决机台部分区域清洁困难的问题，从而避免因误触碰机台内部零件造成的不必要宕机和机台内部结构因人为造成的变形而降低使用寿命。

技术特征：

1.一种用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，其特征在于：所述伸缩杆为气弹簧。

3.根据权利要求2所述的用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，其特征在于：所述气弹簧为自由型气弹簧、自锁型气弹簧、随意停气弹簧中的任意一种。

4.根据权利要求2所述的用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，其特征在于：所述固定机构为固定套筒，所述活动机构为与所述固定套筒可伸缩连接的移动杆，所述移动杆靠近所述固定套筒的一端固定连接有活塞，所述固定套筒的活动机构设置有用于对活塞限位的限位挡板，所述活塞与所述固定套筒的密封端形成有压力腔，所述压力腔中填充有惰性气体或油气混合物，使得所述压力腔中的气压值大于大气压。

5.根据权利要求4所述的用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，其特征在于：所述控制器为设置于压力腔中的阀门。

6.根据权利要求4所述的用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，其特征在于：所述惰性气体为氮气。

7.根据权利要求1所述的用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，其特征在于：所述握把为球形形状。

8.根据权利要求1或7所述的用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，其特征在于：所述握把与所述固定机构间设置有连接杆。

9.根据权利要求1所述的用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，其特征在于：所述活动机构的外壁设置有缓冲材料层。

技术总结
本技术提供一种用于机台内部清洁的可伸缩旋转装置，包括伸缩杆，伸缩杆包括固定机构与活动机构，活动机构远离固定机构端的一侧设置有夹具，夹具上的夹持部连接有无尘布，固定机构远离活动机构的一侧固定连接有握把；设置于伸缩杆上的控制器，控制器用于控制伸缩杆的长度。本技术能够解决机台部分区域清洁困难的问题，从而避免因误触碰机台内部零件造成的不必要宕机和机台内部结构因人为造成的变形而降低使用寿命。

技术研发人员：段彬,朱耀平
受保护的技术使用者：上海华力集成电路制造有限公司
技术研发日：20230529
技术公布日：2024/1/15