一种高密封性定量电子级气动泵的制作方法

本技术涉及气动泵，具体为一种高密封性定量电子级气动泵。

背景技术：

1、定量电子级气动泵是一种新型输送机械，是国内最新颖的一种泵类，主要用在集成电路板加工中。采用压缩空气为动力源，对于各种腐蚀性液体，带颗粒的液体，高粘度、易挥发、易燃、剧毒的液体，均能予以抽光吸尽。

2、现有的定量电子级气动泵的盖板与护套之间的方式，通常采用在护板与护套面接触的周圈利用销栓或螺栓等形式，将护板与护套连接，在护板与护套之间设置密封圈进行密封，实现护板与护套的连接密封，但在长期使用过程中，由于螺栓等松动或密封圈的老化等原因，导致气动泵出现漏液的情况发生，对集成电路板造成损坏，不仅影响生产，降低了生产效率，同时由于气动泵使用寿命端，增加了生产成本。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于对现有技术中存在的不足，提供给了一种高密封性定量电子级气动泵，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高密封性定量电子级气动泵，包括壳体，所述壳体内安装有泵芯，所述泵芯上安装有进液管和出液管，所述进液管与出液管相互垂直设置，其特征在于，所述壳体包括：

3、两组环形壳，其一端相互插接形成腔体用于放置泵芯；每组所述环形壳的另一端分别安装支撑板，通过第一固定部对支撑板连接限位；

4、两组封装壳，分别局部插入支撑板远离环形壳的端部，与支撑板形成环状的重叠区；所述封装壳与支撑板重叠区面接触，并通过第二固定不垂直贯穿插入重叠区，所述第二固定部用于对重叠区连接限位。

5、优选的，所述支撑板包括：

6、凹槽，沿支撑板的另一侧向环形壳延伸；

7、安装槽，设于凹槽（的外部且连通于凹槽；所述安装槽深度大于凹槽的深度。

8、优选的，还包括第一弹性密封垫，设于环形壳连接处。

9、优选的，所述封装壳包括：

10、本体，所述本体为一侧开口的中空结构；

11、插接环，沿本体开口处向本体外部延伸且与本体外壁呈阶梯状；所述插接环用于插入支撑板内；所述支撑板与本体开口处抵接。

12、优选的，还包括第二弹性密封垫，套接于插接环且分别与本体、支撑板抵接。

13、优选的，所述第一固定部与第二固定部采用了相同的结构，其中，是第一固定部包括：

14、连接杆，两端分别连接支撑板；

15、至少一组限位件，分别可拆卸安装于连接杆的端部；在限位件和连接杆的相互配合下，对支撑板或重叠区卡固连接。

16、有益效果：在支撑板和封装壳相互插接，形成重叠区，利用第二固定部垂直贯穿插入重叠区，即可实现支撑板与封装壳的密封安装，且在使用过程中，即使在第二固定部出现松动时，支撑板与封装壳任处于原始安装状态，避免了第二固定部松脱即出现漏液的情况发生，且仅需定期检查第二固定部的松紧状态，即可有效提升泵的使用寿命，不仅提高了生产效率，同时也降低了生产成本。

技术特征：

1.一种高密封性定量电子级气动泵，包括壳体，所述壳体内安装有泵芯，所述泵芯上安装有进液管和出液管，所述进液管与出液管相互垂直设置，其特征在于，所述壳体包括：

2.根据权利要求1所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，所述支撑板（5）包括：

3.根据权利要求2所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，还包括第一弹性密封垫，设于环形壳（1）连接处。

4.根据权利要求1所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，所述封装壳（3）包括：

5.根据权利要求4所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，还包括第二弹性密封垫，套接于插接环（32）且分别与本体（31）、支撑板（5）抵接。

6.根据权利要求1所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，所述第一固定部（2）与第二固定部（4）采用了相同的结构，其中，是第一固定部（2）包括：

技术总结
本技术公开了一种高密封性定量电子级气动泵，属于气动泵技术领域。包括壳体，所述壳体内安装有泵芯，所述泵芯上安装有进液管和出液管，所述进液管与出液管相互垂直设置，其特征在于，所述壳体包括两组环形壳（1），其一端相互插接形成腔体用于放置泵芯；每组所述环形壳（1）的另一端分别安装支撑板（5），通过第一固定部（2）对支撑板（5）连接限位，两组封装壳（3），分别局部插入支撑板（5）远离环形壳（1）的端部，与支撑板（5）形成环状的重叠区；所述封装壳（3）与支撑板（5）重叠区面接触，并通过第二固定部（2）垂直贯穿插入重叠区。本技术有效提升泵的使用寿命，不仅提高了生产效率，同时也降低了生产成本。

技术研发人员：吴仁君,柯建宇
受保护的技术使用者：江苏明力思半导体有限公司
技术研发日：20230804
技术公布日：2024/2/8