一种具有散热结构的保护装置的制作方法

本技术涉及半导体分子泵轴承设备，具体为一种具有散热结构的保护装置。

背景技术：

1、分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使其获得定向速度，从而被压缩驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，半导体各种生产工艺都会需要分子泵维持真空环境，在分子泵工作过程中，对轴承性能要求较高，大多数涡轮分子泵都采用油润滑轴承，通常设置在转子的排气侧。

2、根据公示的一种高速泵轴承保护装置(公开号：cn 218377342 u)，上述申请中提出了一种新型的高速泵轴承保护装置，通过设置有密封槽与密封环配合，尽量防止灰尘等杂物污染腔体内润滑油从而保证泵轴能够正常运转。

3、但是上述设备在实际使用过程中，由于半导体制作过程中轴承转速很高，导致内部润滑油摩擦升温，从而导致转子温度升高，对生产造成影响；鉴于此，我们提出了一种具有散热结构的保护装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种具有散热结构的保护装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有散热结构的保护装置，包括内轴套，所述内轴套圆周外表面固定连接有内圈，所述内圈圆周外表面中部活动连接有滚珠，所述滚珠外表面设置有外圈，所述内轴套内壁活动连接有前盖，所述前盖内壁上固定安装有前套管，所述前套管内壁活动连接有后套管，所述后套管末端表面固定连接有后盖，所述后套管内壁固定安装有防磨套。

3、优选的，所述前套管圆周外表面固定设置有卡条一，所述后套管圆周外表面固定设置有卡条二。

4、优选的，所述内轴套内壁开设有与所述卡条一相适配的卡槽一，所述前套管内壁开设有与所述卡条二相适配的卡槽二，通过卡条与卡槽配合将内轴套与前套管、后套管卡接起来。

5、优选的，所述内圈圆周外表面设置有与所述滚珠相适配的滑槽，且所述内圈圆周外表面固定设置有限位座，允许滚珠在滑槽内滚动，同时，利用限位座限制滚珠位置，保证装置的平衡性。

6、优选的，所述前盖与所述后盖内部设置为中空，且所述前盖与所述后盖内部填充有导热油，使用导热油可以吸收轴承内部热量，达到降温效果。

7、优选的，所述前盖与所述后盖边缘厚度设置与所述内圈与所述外圈距离相同，允许前盖、后盖卡入内圈与外圈之间的凹槽内，防止润滑油泄漏。

8、与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有散热结构的保护装置，具备以下有益效果：

9、1、该具有散热结构的保护装置，为了避免轴承在高速转动下，轴承内部润滑油温度升高，从而导致转子发热，通过在内圈外表面安装有前盖、后盖，利用前盖与后盖内部导热油，在防止润滑油泄漏的同时，将轴承内部的热量吸收，达到降温效果。

10、2、该具有散热结构的保护装置，为了避免轴承在高速转动导致内轴套磨损，进而需要更换整体轴承，通过在内轴套内壁上设置有两层套管，其中后套管内壁上设置有防磨套，可以延长轴承的使用寿命，当防磨套损坏时只需更换部分套件，便于拆装维护，节省成本。

技术特征：

1.一种具有散热结构的保护装置，包括内轴套(3)，所述内轴套(3)圆周外表面固定连接有内圈(2)，所述内圈(2)圆周外表面中部活动连接有滚珠(12)，所述滚珠(12)外表面设置有外圈(1)，其特征在于：所述内轴套(3)内壁活动连接有前盖(4)，所述前盖(4)内壁上固定安装有前套管(9)，所述前套管(9)内壁活动连接有后套管(8)，所述后套管(8)末端表面固定连接有后盖(5)，所述后套管(8)内壁固定安装有防磨套(7)。

2.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的保护装置，其特征在于：所述前套管(9)圆周外表面固定设置有卡条一(10)，所述后套管(8)圆周外表面固定设置有卡条二(6)。

3.根据权利要求2所述的一种具有散热结构的保护装置，其特征在于：所述内轴套(3)内壁开设有与所述卡条一(10)相适配的卡槽一(11)，所述前套管(9)内壁开设有与所述卡条二(6)相适配的卡槽二(14)。

4.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的保护装置，其特征在于：所述内圈(2)圆周外表面设置有与所述滚珠(12)相适配的滑槽，且所述内圈(2)圆周外表面固定设置有限位座(13)。

5.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的保护装置，其特征在于：所述前盖(4)与所述后盖(5)内部设置为中空，且所述前盖(4)与所述后盖(5)内部填充有导热油。

6.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的保护装置，其特征在于：所述前盖(4)与所述后盖(5)边缘厚度设置与所述内圈(2)与所述外圈(1)距离相同。

技术总结
本技术涉及半导体分子泵轴承设备技术领域，且公开了一种具有散热结构的保护装置，该具有散热结构的保护装置，包括内轴套，所述内轴套圆周外表面固定连接有内圈，所述内圈圆周外表面中部活动连接有滚珠，所述滚珠外表面设置有外圈，所述内轴套内壁活动连接有前盖，所述前盖内壁上固定安装有前套管，所述前套管内壁活动连接有后套管，所述后套管末端表面固定连接有后盖，所述后套管内壁固定安装有防磨套。该具有散热结构的保护装置，为了避免轴承在高速转动下，轴承内部润滑油温度升高，从而导致转子发热，通过在内圈外表面安装有前盖、后盖，利用前盖与后盖内部导热油，在防止润滑油泄漏的同时，将轴承内部的热量吸收，达到降温效果。

技术研发人员：王占杰
受保护的技术使用者：上海富玖帕精密设备有限公司
技术研发日：20230807
技术公布日：2024/2/1