一种单腔被动气囊的制作方法

本发明涉及半导体，特别涉及一种单腔被动气囊。

背景技术：

1、半导体制造过程中，涉及到许多精密的机械和电子操作，如晶圆处理、蚀刻、光刻、离子注入等。这些步骤都需要在洁净室中进行，且对环境的微小变化非常敏感，即使是微小的振动也会对产品的成品率有较大的影响，因此在关键部位需加入被动隔振器进行有效隔离。同时，封装过程中，需要将晶圆上的芯片封装到各种封装形式中，如d ip、qfp、bga等，这也要求封装设备具有高精度和高可靠性。

2、传统的气囊在完成生成后，气囊的刚度和阻尼固定后无法进行调整，同时环境干扰较为复杂，会对气囊的刚度和承载力造成影响，并且气囊本身的接触面积很难进行改变，无法对气囊本身的固有频率进行调整，只能通过改变气囊的结构参数改变气囊的固有频率，而现有技术中，通过改变通过充气放气或增加副气囊的方式改变气室的容积，从而改变气囊的固有频率，然而以上方法不能根据不同工作条件调整气囊的固有频率且还需要额外的空间。

3、因此，本申请研制了一种单腔被动气囊，以解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

1、本发明目的是：提供一种单腔被动气囊，以解决现有技术中气囊难以改变自身刚度，及无法在保证气囊本身承载能力的同时使气囊具有较强刚度的问题。

2、本发明的技术方案是：一种单腔被动气囊，包括：

3、本体，所述本体包括壳体、气膜以及活塞；所述气膜与所述活塞之间形成气室，所述气室对应的壳体侧壁上连通有通气管；

4、承载平台，设置在气膜上方，并与所述气膜固定连接，所述承载平台上端具有额外的承载面积；

5、调节组件，包括驱动端和执行端，所述执行端处于所述壳体内，并与所述活塞连接，受所述驱动端作用调节所述气室的容积，改变被动气囊的刚度及固有频率。

6、优选的，所述气膜包括安装面、抵接面及连接面，所述安装面设置在所述壳体与所述承载平台之间，并呈环形围绕在所述气室顶部，所述抵接面与所述承载平台的底端相贴合，所述抵接面的外轮廓与所述安装面的内轮廓通过所述连接相连接，并与所述承载平台的外壁面形成腔室。

7、优选的，所述连接面自所述安装面的内轮廓向所述抵接面的外轮廓延伸，并呈倾斜设置。

8、优选的，所述执行端包括横移部和一对升降部，所述横移部位于一对所述升降部之间，所述横移部通过控制杆与所述驱动端旋转连接，与所述控制杆位置相对应的壳体侧壁开设有贯穿孔，用于控制杆的旋转和横移部的移动，所述横移部和所述升降部的接触面为倾斜面，在驱动端带动控制杆旋转时，使所述横移部沿所述壳体的径向移动，并相对两个所述升降部滑动，使所述升降部上升或下降，改变气室的容积。

9、优选的，所述横移部的倾斜面上设有滑槽，所述升降部的倾斜面对应设有与所述滑槽相匹配的凸起，当所述滑槽与所述凸起相匹配时，所述升降部与所述横移部之间紧密贴合。

10、优选的，所述横移部沿所述壳体的轴向设有凹槽，所述凹槽内设有导向柱，所述导向柱沿所述壳体的轴向设置，所述控制杆远离所述驱动端的一端穿透所述导向柱的径向，并与所述导向柱旋转连接，且远离所述驱动端的一端还设有限位块。

11、优选的，所述活塞与所述执行端接触的一面及所述壳体的底部均设有套筒，所述套筒套设在所述导向柱的两端，在所述升降部移动时，所述套筒沿所述导向柱的轴向滑动。

12、优选的，所述活塞的外壁面上设有多个密封圈，所述密封圈与所述气室的内壁紧密贴合。

13、优选的，所述壳体的底部设有传感器，用于测量所述活塞的高度，从而对气室容积进行调整。

14、与现有技术相比，本发明的优点是：

15、(1)通过横移部与升降部的相对移动，使升降部带动活塞进行上下移动，从而改变气室的容积，同时也能够对气室容积进行微调满足不同工作环境下，气囊的刚度需求，并具有一定的承载能力；

16、(2)气膜设置在承载平台与壳体之间提高气室的气密性，且气膜与承载平台的外壁面形成腔室，在向气室内充气后，气膜的连接面向腔室的方向发生形变，并支撑在承载平台的外壁面和壳体的内壁面上，提供径向的支撑力，防止承载平台发生横向的移动或错位；

17、(3)横移部上开设有凹槽，并设有导向柱，控制杆旋转连接在导向柱上，在横移部进行移动时，导向柱在凹槽内移动，减小横移部端部的占用空间，在受限空间内不仅能完成气囊固有频率的调节，还能减小对受限空间的占用。

技术特征：

1.一种单腔被动气囊，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种单腔被动气囊，其特征在于：所述气膜(12)包括安装面(121)、抵接面(122)及连接面(123)，所述安装面(121)设置在所述壳体(11)与所述承载平台(2)之间，并呈环形围绕在所述气室(14)顶部，所述抵接面(122)与所述承载平台(2)的底端相贴合，所述抵接面(122)的外轮廓与所述安装面(121)的内轮廓通过所述连接相连接，并与所述承载平台(2)的外壁面形成腔室(124)。

3.根据权利要求2所述的一种单腔被动气囊，其特征在于：所述连接面(123)自所述安装面(121)的内轮廓向所述抵接面(122)的外轮廓延伸，并呈倾斜设置。

4.根据权利要求1所述的一种单腔被动气囊，其特征在于：所述执行端(32)包括横移部(321)和一对升降部(322)，所述横移部(321)位于一对所述升降部(322)之间，所述横移部(321)通过控制杆(33)与所述驱动端(31)旋转连接，与所述控制杆(33)位置相对应的壳体(11)侧壁开设有贯穿孔(34)，用于控制杆(33)的旋转和横移部(321)的移动，所述横移部(321)和所述升降部(322)的接触面为倾斜面，在驱动端(31)带动控制杆(33)旋转时，使所述横移部(321)沿所述壳体(11)的径向移动，并相对两个所述升降部(322)滑动，使所述升降部(322)上升或下降，改变气室(14)的容积。

5.根据权利要求4所述的一种单腔被动气囊，其特征在于：所述横移部(321)的倾斜面上设有滑槽(323)，所述升降部(322)的倾斜面对应设有与所述滑槽(323)相匹配的凸起(324)，当所述滑槽(323)与所述凸起(324)相匹配时，所述升降部(322)与所述横移部(321)之间紧密贴合。

6.根据权利要求4所述的一种单腔被动气囊，其特征在于：所述横移部(321)沿所述壳体(11)的轴向设有凹槽(325)，所述凹槽(325)内设有导向柱(326)，所述导向柱(326)沿所述壳体(11)的轴向设置，所述控制杆(33)远离所述驱动端(31)的一端穿透所述导向柱(326)的径向，并与所述导向柱(326)旋转连接，且远离所述驱动端(31)的一端还设有限位块(327)。

7.根据权利要求6所述的一种单腔被动气囊，其特征在于：所述活塞(13)与所述执行端(32)接触的一面及所述壳体(11)的底部均设有套筒(328)，所述套筒(328)套设在所述导向柱(326)的两端，在所述升降部(322)移动时，所述套筒(328)沿所述导向柱(326)的轴向滑动。

8.根据权利要求1所述的一种单腔被动气囊，其特征在于：所述活塞(13)的外壁面上设有多个密封圈(15)，所述密封圈(15)与所述气室(14)的内壁紧密贴合。

9.根据权利要求1所述的一种单腔被动气囊，其特征在于：所述壳体(11)的底部设有传感器(4)，用于测量所述活塞(13)的高度，从而对气室(14)容积进行调整。

技术总结
本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种单腔被动气囊，包括：本体，本体包括壳体、气膜以及活塞；气膜与活塞之间形成气室，气室对应的壳体侧壁上连通有通气管；承载平台，设置在气膜上方，并与气膜固定连接，承载平台上端具有额外的承载面积；调节组件，包括驱动端和执行端，执行端处于壳体内，并与活塞连接，受驱动端作用调节气室的容积，改变被动气囊的刚度及固有频率，本发明中，通过横移部与升降部的相对移动，使升降部带动活塞进行上下移动，从而改变气室的容积，同时也能够对气室容积进行微调满足不同工作环境下，气囊的刚度需求，并具有一定的承载能力。

技术研发人员：陈庆生,王玉斌,刘鹏,余玉,梁勇,何云祥
受保护的技术使用者：苏州盛拓半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/3/3