低温泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及栗技术领域，具体涉及一种低温栗。
【背景技术】
[0002]低温栗是将气体分子通过冷凝或吸附捕捉于冷却成超低温的低温板上而进行排气的真空栗，其广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等领域。
[0003]低温栗的栗本体工作温度一般低于零下一百多摄氏度，根据低温栗的栗本体内工作环境，各部件需要在充分润滑的情况下才能正常工作，润滑不到位将会出现零件失效的情况，从而影响低温栗的正常工作，给维修带来很大的成本。相关技术中，低温栗自带一套润滑系统，所述润滑系统只能润滑其内部的部分部件，而大部分部件工作时处于无润滑状态，从而使所述低温栗的故障率高。
[0004]因此，有必要提供一种新的低温栗解决上述问题。
【发明内容】
[0005]为解决上述技术问题，本发明提供一种能实现对多个润滑点进行自润滑的低温栗Ο
[0006]本发明提供一种低温栗，包括栗本体、自润滑系统和电机，所述自润滑系统设于所述栗本体内，所述栗本体包括具有收容空间的壳体、收容于所述壳体内的主轴以及由所述栗本体的进口至所述电机方向依次设置的叶轮、后盖、第一轴承、内磁联轴器、增压叶轮、第二轴承和隔离套，所述自润滑系统包括相连通的主流道、轴承支路、主轴支路以及由所述主轴支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路，所述主流道由所述壳体的入口、所述壳体与所述叶轮形成的流道、所述后盖的润滑槽依次连通形成;所述轴承支路由所述润滑槽连通所述第一轴承形成;所述主轴支路由所述润滑槽、所述主轴上的油槽及所述增压叶轮依次连通形成;所述第一支路由所述增压叶轮、所述内磁联轴器的管路槽及所述第一轴承依次连通形成，所述第二支路由所述增压叶轮连通所述内磁联轴器与所述隔离套之间的通道形成，所述第三支路由所述增压叶轮、所述隔离套的流槽、所述第二轴承和所述主轴的油槽依次连通形成。
[0007]优选的，所述第二支路的润滑液为经所述增压叶轮汽化后的润滑液。
[0008]优选的，所述增压叶轮外端面具有斜角，所述斜角倾斜于所述第二支路。
[0009]优选的，所述低温栗的工作温度小于或等于-196°C。
[0010]与相关技术相比，本发明提供的低温栗，将所述自润滑系统内置于所述栗本体内，所述自润滑系统包括多条管路，能够实现对栗本体内的多个部件进行自润滑功能，且所述增压叶轮的设计，能提高所述自润滑系统的润滑效果，从而保证栗本体内各部件的正常运行，提高所述低温栗的工作效率，延长其使用寿命。
【附图说明】
[0011 ]图1为本发明低温栗的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面将结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。
[0013]请参阅图1，为本发明低温栗的结构示意图。所述低温栗1包括栗本体11、自润滑系统12和电机13。所述自润滑系统12设于所述栗本体11内。所述电机13与所述栗本体11连接。
[0014]所述栗本体11包括具有收容空间的壳体101、收容于所述壳体101内的主轴102以及由所述栗本体11的入口 1011至所述电机13方向依次设置的叶轮103、后盖104、第一轴承
105、内磁联轴器106、增压叶轮107、第二轴承108和所述隔离套109。
[0015]所述叶轮103、所述后盖104、所述第一轴承105、所述内磁联轴器106、所述增压叶轮107及所述第二轴承108分别与所述主轴102连接，所述隔离套109环设于所述内磁联轴器
106。
[0016]所述壳体101与所述叶轮103形成流道1012。所述主轴102具有油槽1021。所述后盖104具有润滑槽1041。所述内磁联轴器106与所述隔离套109间隔设置形成通道1091。所述隔离套109具有流槽1092。
[0017]所述自润滑系统12包括相连通的主流道120、轴承支路121、主轴支路122以及由所述主轴支路122延伸的第一支路123、第二支路124和第三支路125。
[0018]所述主流道120由所述壳体101的入口1011、所述壳体101与所述叶轮103形成的所述流道1012、所述后盖104的所述润滑槽1041依次连通形成。
[0019]所述轴承支路121由所述润滑槽1041连通所述第一轴承105形成，润滑液可对所述第一轴承105进行润滑。
[0020]所述主轴支路122由所述润滑槽1041、所述主轴102上的所述油槽1021及所述增压叶轮107依次连通形成。
[0021]所述第一支路123由所述增压叶轮107、所述内磁联轴器106的管路槽1061及所述第一轴承105依次连通形成，润滑液可通过所述第一支路123回到所述轴承105。
[0022]所述增压叶轮107外端面具有斜角，所述斜角倾斜于所述第二支路124，润滑液被所述增压叶轮107汽化的部分，流向所述第二支路124。所述第二支路124由所述增压叶轮107连通所述内磁联轴器106与所述隔离套109之间的所述通道1091形成。流经所述轴承支路121的润滑液及所述第一支路123的润滑液经过所述第一轴承105后并流，再与流经所述第二支路124的润滑液并流于所述后盖104的所述润滑槽1041中，由此构成循环润滑。
[0023]所述第三支路125由所述增压叶轮107、所述隔离套109的所述流槽1092、所述第二轴承108和所述主轴102的油槽1021依次连通形成。流经所述第三支路125的润滑液通过所述增压叶轮107与其它润滑液通道连通构成循环润滑。
[0024]在本实施方式中，所述主轴102的所述油槽1021与所述壳体101的入口 1011相通，进入所述壳体101的润滑液也可直接进入所述油槽102，对所述主轴102进行润滑。再经所述轴承支路121、所述主轴支路122、所述第一支路123、所述第二支路124和所述第三支路125对所述第一轴承105、所述第二轴承108等部件进行循环润滑。
[0025]在本实施方式中，所述低温栗1的工作温度小于或等于-196°C。
[0026]与相关技术相比，本发明提供的低温栗，将所述自润滑系统内置于所述栗本体内，所述自润滑系统包括多条管路，能够实现对栗本体内的多个部件进行自润滑功能，且所述增压叶轮的设计，能提高所述自润滑系统的润滑效果，从而保证栗本体内各部件的正常运行，提高所述低温栗的工作效率，延长其使用寿命。
[0027]以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种低温栗，包括栗本体、自润滑系统和电机，所述自润滑系统设于所述栗本体内，其特征在于，所述栗本体包括具有收容空间的壳体、收容于所述壳体内的主轴以及由所述栗本体的进口至所述电机方向依次设置的叶轮、后盖、第一轴承、内磁联轴器、增压叶轮、第二轴承和隔离套，所述自润滑系统包括相连通的主流道、轴承支路、主轴支路以及由所述主轴支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路，所述主流道由所述壳体的入口、所述壳体与所述叶轮形成的流道、所述后盖的润滑槽依次连通形成;所述轴承支路由所述润滑槽连通所述第一轴承形成;所述主轴支路由所述润滑槽、所述主轴上的油槽及所述增压叶轮依次连通形成;所述第一支路由所述增压叶轮、所述内磁联轴器的管路槽及所述第一轴承依次连通形成，所述第二支路由所述增压叶轮连通所述内磁联轴器与所述隔离套之间的通道形成，所述第三支路由所述增压叶轮、所述隔离套的流槽、所述第二轴承和所述主轴的油槽依次连通形成。2.根据权利要求1所述的低温栗，其特征在于，所述第二支路的润滑液为经所述增压叶轮汽化后的润滑液。3.根据权利要求2所述的低温栗，其特征在于，所述增压叶轮外端面具有斜角，所述斜角倾斜于所述第二支路。4.根据权利要求1所述的低温栗，其特征在于，所述低温栗的工作温度小于或等于-196?C。
【专利摘要】本发明提供一种低温泵。所述低温泵包括泵本体、自润滑系统和电机，所述自润滑系统设于所述泵本体内，所述自润滑系统包括相连通的主流道、轴承支路、主轴支路及由所述主轴支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路，所述主流道由所述壳体的入口、所述壳体与所述叶轮形成的流道、所述后盖的润滑槽依次连通形成，各支路相通。与相关技术相比，本发明提供的低温泵，将所述自润滑系统内置于所述泵本体内，所述自润滑系统包括多条管路，能够实现对泵本体内的多个部件进行自润滑功能，且所述增压叶轮的设计，能提高所述自润滑系统的润滑效果，从而保证泵本体内各部件的正常运行，提高所述低温泵的工作效率，延长其使用寿命。
【IPC分类】F04D29/063, F04D25/06, F04D29/26
【公开号】CN105465006
【申请号】CN201510834341
【发明人】苗伟, 吴磊军, 张盼利
【申请人】湖南耐普泵业股份有限公司
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年11月25日