分子泵小车的制作方法

文档序号:8619500阅读:328来源:国知局
分子泵小车的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及抽真空设备领域,特别是指一种用于抽真空的分子泵小车。
【背景技术】
[0002]目前真空抽气系统,其相应的(主泵、干泵)和控制单元的安装都是分散地安装于真空腔体下方。如果想想移动相应的主泵,干泵和控制单元相对比较麻烦,而且反复拆装各个部件对各种管件的密封性有一定的损伤,同时使用不够方便。

【发明内容】

[0003]本实用新型所要解决的技术问题,就是提出一种结构简单,使用方便,将抽真空系统的若干零部件集中安装于一个移动小车上的分子泵小车。
[0004]为解决上述技术问题,本实用新型的技术采用以下技术方案:分子泵小车,包括可移动小车,所述可移动小车的车身上集中安装有分子泵,开关单元,控制单元和冷却系统,所述分子泵内设置有压力检测单元和抽真空单元,所述控制单元通过开关单元控制所述压力检测单元和抽真空单元,所述控制单元还通过电信号控制所述冷却系统,用于对所述分子泵进行冷却。
[0005]进一步地,所述分子泵上还设置有真空计,所述真空计的控制端与所述控制单元直接连接。
[0006]优选地,所述自动放气阀与所述分子泵连接。
[0007]具体地,所述可移动小车的底部安装有4个滑轮。
[0008]具体地,所述可移动小车采用金属材质制成。
[0009]与现有技术相比,本实用新型具有的有益效果为:结构紧凑,将分子泵,开关单元,控制单元和冷却系统集中安装在一个可移动小车上,减小实验设备的占据空间;对实验设备的共享做出完美响应,省去反复拆装的过程,为用户带来最大的便利;减少对各个部件的反复拆卸,避免了因反复拆卸对各零部件的部件的损坏。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型优选实施例的结构示意图。
[0011]图中:1_可移动小车;2_分子泵;3_开关单元;4_控制单元;5_冷却系统;6-压力检测单元;7_抽真空单元;8_真空计;9自动放气阀,10-滑轮。
【具体实施方式】
[0012]为让本领域的技术人员更加清晰直观的了解本实用新型,下面将结合附图,对本实用新型作进一步的说明。
[0013]如图1所示为本实用新型的优选实施例。
[0014]分子泵小车,包括可移动小车1,所述可移动小车I采用所述材质制成,在所述可移动小车的底部安装有4个滑轮10,通过所述滑轮10带动所述可移动小车滑动。
[0015]在所述可移动小车I的车身上集中安装有分子泵2 (分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵),开关单元3,控制单元4和冷却系统5,所述控制单元4可以智能控制分子泵内的抽真空操作,所述冷却5用于对分子泵2进行冷却。在所述分子泵2内还设置有压力检测单元6和抽真空单元7,所述压力检测单元6用于检测所述分子泵2内气体的压力,所述抽真空单元7用于抽取分子泵内的空气。所述控制单元4通过开关单元3控制所述压力检测单元6和抽真空单元7,所述控制单元4还通过电信号控制所述冷却系统5。在所述分子泵2上还设置有真空计8,所述真空计8的控制端与所述控制单元4直接连接。所述控制单元4还控制一自动放气阀9,所述自动放气阀9与所述分子泵2连接。
[0016]本实用新型结构紧凑,将分子泵,开关单元,控制单元和冷却系统集中安装在一个可移动小车上,减小实验设备的占据空间;对实验设备的共享做出完美响应,省去反复拆装的过程,为用户带来最大的便利;减少对各个部件的反复拆卸,避免了因反复拆卸对各零部件的部件的损坏。
[0017]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内
【主权项】
1.分子泵小车,包括可移动小车,其特征在于:所述可移动小车的车身上集中安装有分子泵,开关单元,控制单元和冷却系统,所述分子泵内设置有压力检测单元和抽真空单元,所述控制单元通过开关单元控制所述压力检测单元和抽真空单元,所述控制单元还通过电信号控制所述冷却系统,用于对所述分子泵进行冷却。
2.如权利要求1所述的分子泵小车,其特征在于,所述分子泵上还设置有真空计,所述真空计的控制端与所述控制单元直接连接。
3.如权利要求1所述的分子泵小车,其特征在于,所述控制单元还控制以自动放气阀,所述自动放气阀与所述分子泵连接。
4.如权利要求1所述的分子泵小车,其特征在于,所述可移动小车的底部安装有4个滑轮。
5.如权利要求1所述的分子泵小车,其特征在于,所述可移动小车采用金属材质制成。
【专利摘要】本实用新型公开了一种分子泵小车,包括可移动小车,所述可移动小车的车身上集中安装有分子泵,开关单元,控制单元和冷却系统,所述分子泵内设置有压力检测单元和抽真空单元,所述控制单元通过开关单元控制所述压力检测单元和抽真空单元,所述控制单元还通过电信号控制所述冷却系统,用于对所述分子泵进行冷却。本实用新型结构紧凑,将分子泵,开关单元,控制单元和冷却系统集中安装在一个可移动小车上,减小实验设备的占据空间;对实验设备的共享做出完美响应,省去反复拆装的过程,为用户带来最大的便利;减少对各个部件的反复拆卸,避免了因反复拆卸对各零部件的损坏。
【IPC分类】F04D19-04, F04D29-00
【公开号】CN204327531
【申请号】CN201420718264
【发明人】陈禹
【申请人】成都惠诚海泰科技有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年11月26日
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