管件及应用其的管路的组装方法

文档序号:5536048阅读:204来源:国知局
专利名称:管件及应用其的管路的组装方法
技术领域
本发明有关一种管件及应用其的管路的组装方法,且特别是有关一种以微调机构调整管件的长短及应用其的管路的组装方法。
背景技术
在半导体制造厂中,为维持产品设备的运作效能及使用寿命,定期的维修及保养设备为一必要的工作。然而维修及保养设备必须拆除设备的部分组件,以清除不必要的物质或更换功能不佳的组件,待维修或保养工作后,再将组件组装回产品设备。组装组件时,必须考量组装公差、组件特性以及组件的定位,使组装完成后的设备具有最佳的效能。
以半导体设备中输送等离子体的管路为例,其管路的设计多为数节管件组装而成。且为考量工作环境的组装条件,管件通常为伸缩囊(Bellow)。于定期维护管路时,仅需拆卸所要维护的部份管件,待维护后再将管件组装回管路中。由于输送等离子体的特性为高温高压,管件的材料必须具有耐高温高压且强度够的性质,如不锈钢材。因此,管件具有一定的厚度及重量,作业人员不容易从管件两端施力压缩管件以精确地定位管件于管路中,更可能在组装管件过程中磨耗管路中的防漏组件,例如O型环,使管路产生渗漏的现象。

发明内容
有鉴于此,本发明的目的是提供一种管件及应用其的管路的组装方法。利用微调机构调整管件长度的作用,简化管件的组装过程,并使管件的定位容易,亦不易对管路中的其它组件造成损害。
根据本发明提出一种管件及应用其的管路的组装方法。一种管件,为一第一管件,包括一管本体、一第一管凸缘、一第二管凸缘及一微调机构。管本体具有一第一端及一第二端,第一管凸缘及第二管凸缘分别设置于管本体的第一端及第二端,而微调机构设置于第一管凸缘及第二管凸缘之间,用以调整第一管件的长度。
根据本发明的一种管路的组装方法。首先,提供一第一管件、一第二管件及一第三管件。第一管件包括一管本体、一第一管凸缘、一第二管凸缘及一微调机构。管本体具有一第一端及一第二端,第一管凸缘及第二管凸缘分别设置于管本体的第一端及第二端,而微调机构设置于第一管凸缘及第二管凸缘之间。第二管件具有一第三管凸缘。第三管件具有一第四管凸缘,第四管凸缘与第三管凸缘相隔一管件组装距离。然后,调整第一管件的微调机构,使第一管件的长度小于管件组装距离。接着,置放第一管件于第二管件及第三管件之间,使第一管凸缘及第二管凸缘分别对应第三管凸缘及第四管凸缘。然后,调整微调机构,使第一管凸缘及第二管凸缘分别与第三管凸缘及第四管凸缘接合。
为让本发明的上述目的、特点和优点能更明显易懂,下文特举一较佳实施例,并配合附图进行详细说明如下


图1是依照本发明一较佳实施例的管路的分解示意2是依照本发明一较佳实施例的管路的组合示意图。
图3是依照本发明一较佳实施例的管路的组装方法的流程图。
具体实施例方式
请同时参照图1~2,图1是依照本发明一较佳实施例的管路的分解示意图,图2是依照本发明一较佳实施例的管路的组合示意图。如图1~2所示,管路400包括一第一管件100、一第二管件200及一第三管件300。第二管件200以及第三管件300分别具有一第三管凸缘240及一第四管凸缘360。第三管凸缘240及第四管凸缘360相距一管件组装距离D。第一管件100包括一管本体120、一第一管凸缘(flange)140、一第二管凸缘(flange)160以及一微调机构180。管本体120具有一第一端A及一第二端B。第一管凸缘140与第二管凸缘160分别设置于第一端A与第二端B,用以分别接合第二管件200的第三管凸缘240及第三管件300的第四管凸缘360。微调机构180设置于第一管凸缘140及第二管凸缘160之间,并平行管本体120,用以调整第一管件100的长度L。因此,通过微调机构180的操作,可以调整第一管件100的长短,进而有利于第一管件100、第二管件200及第三管件300的组装。微调机构180包括至少一杆件组。为使第一管件100的受力平均,微调机构180可包括二个杆件组,使二杆件组相隔180度,或包括三杆件组,使三杆件组彼此相隔120度。本实施例以二杆件组做说明如下。
在本实施例中,微调机构180是以包括二个相同的杆件组10为例做说明,但本实施例的技术并不局限在此。其中,此二个杆件组10相隔180度。杆件组10包括一第一杆件11、一第二杆件12,以及一调节部13。第一管凸缘140以及第二管凸缘160分别借助一内侧表面与管本体120的第一端A及第二端B连接。第一杆件11以及第二杆件12的一端分别与第一管凸缘140以及第二管凸缘160的内侧表面连接,调节部13则套接于第一杆件11以及第二杆件12的另一端。第一杆件11与第二杆件12为旋向相反的二螺杆。例如第一杆件11具有右螺纹,则第二杆件12具有左螺纹。或者是,第一杆件11具有左螺纹,则第二杆件12具有右螺纹。而调节部13为一螺帽,旋转调节部13时,可同时拉近或推远第一杆件11以及第二杆件12。当作业人员以一第一方向旋转调节部13,将会拉近第一杆件11以及第二杆件12。即,二个杆件组10同时施力于第一管凸缘140及第二管凸缘160,致使第一管凸缘140及第二管凸缘160压缩管本体120,可使第一管件100的长度L减少。当作业人员以一第二方向(与第一方向相反)旋转调节部13时,将会推远第一杆件11以及第二杆件12。即,二个杆件组10同时施力于第一管凸缘140及第二管凸缘160,致使第一管凸缘140及第二管凸缘160拉伸管本体120,可使第一管件100的长度L增加。
由于螺杆与螺帽的组合具有螺旋运动对性质,亦即螺杆与螺帽的相对旋转角度及相对移动距离成一固定比例。因此借助旋转调节部13一固定圈数,可拉近或推远第一杆件11以及第二杆件12以得到相对应的一压缩量或一拉伸量,亦相对应为第一管件100的一压缩量或一拉伸量。
微调机构180的杆件组10除了可由二根不同旋向的螺杆以及一螺帽所组成,亦可由齿条、齿轮及杆件所组成。齿条与齿轮相啮合,齿轮则与杆件结合。当转动齿轮,可带动齿轮在齿条上的移动,以调整第一管件100的长度。杆件组10还可由一螺杆、一螺帽、一旋转接头以及一杆件所组成。螺帽与旋转接头结合。当旋转螺帽,可使螺帽相对于螺杆移动一距离,以调整第一管件100的长度。
至于本实施例如何组装管路400的流程,将

如下。请参照图3,其是依照本发明一较佳实施例的管路的组装方法的流程图。请同时参照图1~2。
首先,如步骤31所示,提供一第一管件100、一第二管件200以及一第三管件300。第一管件100包括一管本体120、一第一管凸缘140、一第二管凸缘160及一微调机构180,管本体120具有一第一端A及一第二端B。第一管凸缘140及第二管凸缘160分别设置于第一端A及第二端B,微调机构180设置于第一管凸缘140及第二管凸缘160之间。第二管件200以及第三管件300分别具有一第三管凸缘240及一第四管凸缘360,第三管凸缘240及第四管凸缘360相距一管件组装距离D。其中,第一管件100的长度为L。
接着,进入步骤32,调整微调机构180,使第一管件100的长度L小于管件组装距离D。即,必须使第一管件100的长度L小于管件组装距离D,才可将第一管件100放入第二管件200及第三管件之间。因此,作业人员借助调整微调机构180,亦即以第一方向旋转调节部13,以同时拉近第一杆件11以及第二杆件12,使第一管凸缘140与第二管凸缘160压缩管本体120,致使第一管件100的长度L减少。
然后,进入步骤33,置放第一管件100于第二管件200及第三管件300之间,第一管凸缘120及第二管凸缘140分别对应第三管凸缘240及第四管凸缘360。当第一管件100的长度L小于管件组装距离D之后,作业人员即可置放第一管件100于第二管件200及第三管件300之间,使第一管凸缘140及第二管凸缘160分别对应第三管凸缘240及第四管凸缘360。
接着,如步骤34所示,调整微调机构180,使第一管凸缘140及第二管凸缘160分别与第三管凸缘240及第四管凸缘360接合。当第一管件100置放于第二管件200及第三管件300之间后,则可再次调整微调机构180的调节部13,亦即以与第一方向相反的第二方向旋转调节部13,以推远第一杆件11以及第二杆件12,使第一管凸缘140及第二管凸缘160分别接合第三管凸缘240及第四管凸缘360。因此,又如图2所示,管件400在此被组装完成为使第一管件100与第二管件200及第三管件300固定,本方法组装流程也可包括数个子步骤。例如,锁合第一管凸缘140及第三管凸缘240,以及锁合第二管凸缘160及第四管凸缘360。如图2所示,可利用一第一锁紧组件210,将第一管凸缘140及第三管凸缘240固定。并利用一第二锁紧组件220,将第二管凸缘160及第四管凸缘360固定。其中,第一锁紧组件210及第二锁接组件220可以是数个镙栓以及数个螺帽的组合。
当管路400用以输送材料时,必须避免第一管件100、第二管件200以及第三管件300之间接合的部分产生泄漏的现象。因此,本方法组装流程更可包括数个子步骤。例如,设置一第一防漏组件于该第一管凸缘140及该第三管凸缘240之间。甚至,更可设置一第二防漏组件于该第二管凸缘160及该第四管凸缘360之间。
第一防漏组件及第二防漏组件例如是橡胶材质的O型环。第一管件100的管本体120视管路输送的材料的性质而定,为满足可压缩的条件,管本体120较佳为一伸缩囊(Bellow)。若是一高温高压的工作环境,且必须满足可压缩的条件,则管本体120可为一不锈钢材质的伸缩囊。
本发明上述实施例所揭示的一种管件及应用其的管路的组装方法。利用管件的微调机构调整管件的长度,以取代人力直接压缩管件的方式,可先控制管件的压缩量使的小于管件的组装距离,再精确地定位管件。除了可简化组装管件的工作,亦可减少对管路中其它组件的损害。
综上所述,虽然本发明已以一较佳实施例揭示如上,然而其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种的等效的更动与润饰。因此,本发明的保护范围当视后附的本申请权利要求范围所界定的为准。
权利要求
1.一种管件,包括一管本体,具有一第一端及一第二端;一第一管凸缘,设置于该第一端;一第二管凸缘,设置于该第二端;以及一微调机构,设置于该第一管凸缘及该第二管凸缘之间,该微调机构用以调整该管件的长度。
2.如权利要求1所述的管件,其特征在于该管本体是一伸缩囊。
3.如权利要求2所述的管件,其特征在于该管本体的材质是一耐高温及高压的材质。
4.如权利要求3所述的管件,其特征在于该管本体的材质是不锈钢。
5.如权利要求1所述的管件,其特征在于该微调机构包括至少一杆件组,该杆件组包括一第一杆件,其一端连接于该第一管凸缘;一第二杆件,其一端连接于该第二管凸缘;以及一调节部,其活动式地连接该第一杆件的另一端及该第二杆件的另一端,用以被旋转而拉近或推远该第一杆件及该第二杆件。
6.如权利要求5所述的管件,其特征在于该微调机构包括二个该杆件组,该二杆件组彼此相隔180度。
7.如权利要求5所述的管件,其特征在于该微调机构包括三个该杆件组,该三杆件组彼此相隔120度。
8.如权利要求5所述的管件,其特征在于该第一杆件是一第一螺杆,该第二杆件是一第二螺杆,与该第一螺杆的旋向相反,该调节部是一螺帽,用以套接于该第一螺杆及该第二螺杆。
9.一种管路的组装方法,包括提供一第一管件、一第二管件及一第三管件,该第一管件包括一管本体、一第一管凸缘、一第二管凸缘及一微调机构,该管本体具有一第一端及一第二端,该第一管凸缘及该第二管凸缘分别设置于该第一端及该第二端,该微调机构设置于该第一管凸缘及该第二管凸缘之间,该第二管件及该第三管件分别具有一第三管凸缘及一第四管凸缘,该第三管凸缘及该第四管凸缘相隔一管件组装距离;调整该微调机构,使第一管件的长度小于该管件组装距离;置放该第一管件于该第二管件及该第三管件之间,该第一管凸缘及该第二管凸缘分别对应该第三管凸缘及该第四管凸缘;以及调整该微调机构,使该第一管凸缘及该第二管凸缘分别与该第三管凸缘及该第四管凸缘接合。
10.如权利要求9所述的方法,其特征在于该管本体是一伸缩囊。
11.如权利要求10所述的管件,其特征在于该管本体的材质是一耐高温及高压的材质。
12.如权利要求11所述的管件,其特征在于该管本体的材质是不锈钢。
13.如权利要求12所述的方法,其特征在于该微调机构包括至少一杆件组,该杆件组包括一第一杆件,其一端连接于该第一管凸缘;一第二杆件,其一端连接于该第二管凸缘;以及一调节部,其活动式地连接该第一杆件的另一端及该第二杆件的另一端,用以被旋转而拉近或推远该第一杆件及该第二杆件。
14.如权利要求13所述的方法,其特征在于该微调机构包括二个该杆件组,该二杆件组彼此相隔180度。
15.如权利要求13所述的方法,其特征在于该微调机构包括三个该杆件组,该三杆件组彼此相隔120度。
16.如权利要求13所述的方法,其特征在于该第一杆件是一第一螺杆,该第二杆件是一第二螺杆且与该第一螺杆的旋向相反,该调节部是一螺帽,用以套接于该第一及该第二螺杆。
17.如权利要求9所述的方法,其特征在于还包括锁合该第一管凸缘及该第三管凸缘;以及锁合该第二管凸缘及该第四管凸缘。
18.如权利要求9所述的方法,其特征在于还包括设置一第一防漏组件于该第一管凸缘及该第三管凸缘之间。
19.如权利要求9所述的方法,其特征在于还包括设置一第二防漏组件于该第二管凸缘及该第四管凸缘之间。
全文摘要
一种管件,包括一管本体、一第一管凸缘、一第二管凸缘及一微调机构。管本体具有一第一端及一第二端,第一管凸缘及第二管凸缘分别设置于管本体的第一端及第二端。微调机构设置于第一管凸缘及第二管凸缘之间,用以调整管件的长度。
文档编号F16L11/15GK101025243SQ20061005493
公开日2007年8月29日 申请日期2006年2月20日 优先权日2006年2月20日
发明者周志能, 曾国邦 申请人:旺宏电子股份有限公司
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