专利名称：一种分配阀箱管道的固定卡盘的制作方法
技术领域：
本实用型性涉及传输管道的固定装置设计领域，尤其涉及一种分配阀箱管 道的固定卡盘。
背景技术：
半导体生产工艺中会频繁使用氯气、氯化氢、磷烷等数十种有毒的工艺气 体。将这些有毒的气体输送或供给给半导体芯片制作机台的过程中需要大量的 气体分配阀箱。根据分配阀箱上分配气体使用端的数量，每个分配阀箱通常都 会有大约数十支的气体管道从分配阀箱的顶板穿过。气体分配阀箱内每支被分
配的气体管道与气体调压器的连接都只能用专用的"VCR"接头进行连接。 "VCR"这种接头是一种通过螺紋连接方式锁紧接触面上密封垫来实现连接的 工艺气体管道的专用接头。这种接头的缺点是当受到外力作用时，接头容易 松动而产生气体泄漏。
然而，目前使用的从分配阀箱顶板上穿过的气体管道上的管道固定卡盘， 请参阅图l。管道卡盘2穿过气体管道1，通过锁母3固定气体管道l于分配阀 箱顶板4。此种卡盘只有径向固定气体管道l的作用，没有轴向和转动方向固定 的功能。在实际情况下，通常需要在这样的气体管道1上或相邻部位做一些管 道安装和维护工作，这就存在着容易将施加在气体管道1上轴向或转动方向的 外力通过分配阀箱顶板上的固定卡盘传给"VCR"接头，从而致使该接头松动 引起危险的有毒气体泄漏。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种分配阀箱上的固定卡盘，以解决传统的固 定卡盘不能对气体管道进行轴向和转动方向固定的问题。
本实用新型的固定卡盘，用于固定管道于分配阀箱顶板。它除了包括管道卡盘，锁母，还包括固定组件和锁紧箍。管道卡盘上端开有连接孔，端开有收 缩槽内孔。锁母开有锁紧孔和固定孔。锁紧箍为具有一定锥度的锁紧箍。锁母 与管道卡盘中部和下端连接，所述锁紧箍置于所述锁母的锁紧孔内，与所述管 道卡盘下端收缩槽的内孔接触，所述锁母的固定孔与管道卡盘中部接触，所述 管道卡盘通过所述固定组件穿过所述管道卡盘上的连接孔固定于所述分配阀箱 顶板。
进一步地，固定组件为四个螺栓，管道卡盘中部粗于所述管道卡盘的下端。 管道卡盘中部具有螺紋，管道卡盘下端开有四个收缩槽的内孔。
进一步地，与管道卡盘下端接触的锁紧箍为具有内锥度，孔径逐渐减小的 圆箍。与管道卡盘中部接触的锁母的固定孔具有螺紋，固定孔的孔径大于锁母 的锁紧孔的孔径。
与传统的固定卡盘相比，本实用新型的固定卡盘通过锁紧箍和固定组件可 实现分配阀箱顶板上管道的径向、轴向和转动方向上的全方位固定。这样避免
了在受到外力干扰时由于传统固定卡盘只能实现径向固定，导致"VCR"接头 松动引起安全隐患的问题出现。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型的分配阀箱管道的固定卡盘作 进一步详细具体的描述。
图1为传统固定卡盘结构的半剖示意图。
图2为本实用新型固定卡盘结构的半剖示意图。
图3是本实用新型管道卡盘的主视图。
图4是图3管道卡盘的俯一见图。
图5是本实用新型锁母的主视图。
图6是图5锁母的俯视图。
图7是本实用新型锁紧箍的主^L图。
图8是图7锁紧箍的俯视图。
具体实施方式
本实用新型的分配阀箱管道的固定卡盘，请参阅图2，它包括固定组件7， 管道卡盘5，锁母6和锁紧箍8。固定组件7为四个螺栓。管道卡盘5的具体结 构请参见图3和图4。图3为管道卡盘5的主^L图，管道卡盘5上端51开有连 接孔9。对应四个螺栓7，管道卡盘5上端51开有四个连接孔。图4为图3管 道卡盘5的俯视图，管道卡盘5的中部52相对管道卡盘的下端53要粗。中部 52具有螺紋，下端53开有收缩槽的内孔10。本实施例中下端53开有四个收缩 槽的内孔IO。图5为锁母6结构的主视图，锁母6开有固定孔61和锁紧孔62。 图6为图5中锁母5的俯视图，固定孔61的孔径大于锁紧孔62的孔径。图7 为锁紧箍8的主视图，图8为图7的锁紧箍8的俯—见图，它为具有内锥度孔径 逐渐减小的圆箍。
在组装时，管道卡盘5通过固定组件四个螺栓7穿过管道卡盘5上端51的 连接孔9固定在分配箱顶板4上；将锁紧箍8置于锁母6中的锁紧孔62内，将 锁母6与管道卡盘5中部和下端接触。由于锁母内的固定孔61具有螺紋，管道 中部也具有螺紋，这样可先使锁母6与管道卡盘5形成较松的连接，锁母6的 固定孔61与管道卡盘5的中部52进行接触，锁母6的锁紧孔62中的锁紧箍8 与管道卡盘5的下端53的收缩槽的内孔IO接触。
在使用时，将要安装的分配阀箱的管道1穿入固定卡盘5的圆孔内，此时 可使用锁紧工具将锁母6拧紧，当拧紧锁姆6时，锁姆6的紧固使得锁紧孔62 内的锁紧箍8向上移动，通过锁紧箍8的内锥度可紧固管道卡盘5下端的四个 收缩槽的内孔10,使其收缩变形并紧紧围住插入的管道1。
这样通过锁紧箍8以及固定组件7四个螺栓可实现固定卡盘的径向、轴向 和转动方向的全方位固定。克服了传统固定卡盘不能实现轴向和转动方向固定 的缺点。通过本实用新型的固定卡盘的全方位固定，避免了外力干扰时"VCR" 接头松动引起安全隐患问题的出现。
权利要求1、一种分配阀箱管道的固定卡盘，用于固定管道于分配阀箱顶板，它包括管道卡盘，锁母，其特征在于，它还包括固定组件和锁紧箍，所述管道卡盘上端开有连接孔，所述管道卡盘下端开有收缩槽内孔，所述锁母开有锁紧孔和固定孔，所述锁紧箍为具有一定锥度的锁紧箍；所述锁母与管道卡盘中部和下端连接，所述锁紧箍置于所述锁母的锁紧孔内，与所述管道卡盘下端收缩槽的内孔接触，所述锁母的固定孔与管道卡盘中部接触，所述管道卡盘通过所述固定组件穿过所述管道卡盘上的连接孔固定于所述分配阀箱顶板。
2、 如权利要求1所述的固定卡盘，其特征在于，所述固定组件为四个螺栓， 所述管道卡盘上端开有四个连接孔，所述管道卡盘中部并且于所述管道卡盘的下 端。
3、 如权利要求2所述的固定卡盘，其特征在于，所述管道卡盘中部具有螺紋， 所述管道卡盘下端开有四个收缩槽的内孔。
4、 如权利要求3所述的固定卡盘，其特征在于，与所述管道卡盘下端接触的 锁紧箍为具有内锥度，孔径逐渐减小的圆箍。
5、 如权利要求3所述的固定卡盘，其特征在于，与所述管道卡盘中部接触的 锁母的固定孔具有螺紋，所述固定孔的孔径大于所述锁紧孔的孔径。
专利摘要本实用新型提供了一种分配阀箱管道的固定卡盘，用于全方位固定穿过分配阀箱顶板的管道。它除了包括管道卡盘，锁母，还包括固定组件和锁紧箍。锁紧箍为具有一定锥度的锁紧箍，锁母开有固定孔和锁紧孔，管道卡盘的下端开有收缩槽的内孔；锁紧箍置于锁母的锁紧孔，与管道卡盘的下端接触，锁母的固定孔与管道卡盘的中部接触，固定组件将管道卡盘的上端固定在分配阀箱顶板上。在拧紧锁母时，通过具有锥度的锁紧箍的上移紧固管道卡盘下端的收缩槽内孔，使其收缩变形并紧紧的抱紧管道，达到管道的全方位的固定，避免管道轴向和转动方向的移动导致“VCR”接头松动引起的安全隐患问题的出现。
文档编号F16L19/02GK201129566SQ20072007704
公开日2008年10月8日 申请日期2007年12月17日 优先权日2007年12月17日
发明者王东海 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司