液态轴承、液态轴承型盘片驱动器及液态轴承的制造方法

专利名称：液态轴承、液态轴承型盘片驱动器及液态轴承的制造方法
技术领域：
本发明涉及液态车由承(fluid dynamic bearing)。
背景技术：
在磁盘驱动器及类似产品中，液态轴承马达用作盘片旋转马达。传统的 液态轴承马达经常采用这样的轴承结构其中，通过轴套来旋转地支撑轴。 在这样的轴承结构的实例中，圆柱状的轴插入到圆筒状轴套中的开口中，这 样轴才能够旋转。因为盘片驱动马达需要很高的旋转跳动精度(rotational runout accuracy)(=低非重复性跳动，low NRRO)，所以高刚度、安静和 长寿命的液态轴承经常用作轴承结构。液态轴承包括轴承液，比如设置在轴 套和轴之间的润滑油，这样轴可以旋转而不与轴套有任何直接接触。
用于磁盘驱动器中的液态轴承马达的轴例如通常由马氏体不锈钢形成， 马氏体不锈钢具有高刚度和相对良好的机械可加工性。套筒轴承(sleeve bearing)通常由铜材料形成，铜材料减少与轴的胶合(seizing)(粘附， adhesion)并且具有良好的机械加工性。
液态轴承的特性在环境温度的影响下会改变。具体地，当环境温度改变 时，轴承液的粘度也会变化，导致轴承刚度变化和转矩损失。当轴承液(油) 的粘度为n，轴的旋转角速度为"，轴的直径为d，且轴和轴套之间的间隙 是c时，轴承刚度和转矩损失如下所示
轴承刚度^ n"d4/c3
转矩损失"n "d4/c
因为轴承液的粘度随环境温度变化，所以液态轴承马达的特性也会变化。
具体地，当环境温度升高时，轴承液的粘度下降，从而轴承刚度降低。
当环境温度降低时，轴承液的粘度上升，从而转矩损失增大。
因此，马达的性能会受与环境温度的变化相关联的轴承液粘度的很大影响。当需要将轴承液粘度保持为常数而响应温度变化时，在现阶段的技术条 件下，具有这种特性的轴承液的研发在技术上很难。
在己经提出的液态轴承的结构中，减小了轴承液的粘度变化对马达性能 的影响。在这种液态轴承结构中，轴套和轴的材料选择要使得轴套的线性膨 胀系数小于轴的线性膨胀系数。具体地，通过马达特性的变化可以消除由于 轴承液的粘度变化引起的马达特性的变化。
更具体地，当环境温度升高时，轴和轴套之间的间隙减小，从而增大轴 承刚度。
当环境温度降低时，轴和轴套之间的间隙增加，从而减小转矩损失。 因此，依据轴和轴套之间的线膨胀系数的差别，自动调节轴和轴套之间 的间隙，以避免轴承液粘度变化的影响。为此目的，己提出材料的多种组合。
例如，日本公开专利申请No.8-161820公开一种液态轴承，其中，轴由 奥氏体不锈钢制成，而轴套由铁素体或者马氏体不锈钢制成。
在另一个实例中，日本公开专利申请No.5-118322公开一种液态轴承， 其中，轴由铝合金制成，而轴套由铁合金制成。
此外，日本公开专利申请No.9-17767公开一种液态轴承，其中，轴由不 锈钢制成，而轴套由殷钢(铁-镍合金)制成。
在另一个例子中，日本公开专利申请No.5-118322公开一种液态轴承， 其中，轴由马氏体不锈钢制成，而轴套由陶瓷制成。
轴和轴套的这种材料组合在以下方面有缺点
当用不锈钢制作轴和轴套时，同种金属彼此之间的滑动或者接触可能会 产生胶合(粘附)。
当用铝合金做轴时，轴可能不能获得足够的刚度。
当用殷钢(Invar)材料做轴套时，由于殷钢材料在市场上较少使用且因 此价格昂贵，就会增加成本。此外，殷钢材料的机械加工性能差，所以很难 在轴套内表面中形成动压槽(dynamic pressure groove)(人字形槽)。
由于陶瓷价格昂贵，所以当用陶瓷做轴套时会增加成本。陶瓷的机械加 工性能也不好，所以很难在轴套内表面形成动压槽(人字形槽)。
因此，关于马达刚度、尺寸精度、机械加工性能或者成本，已提出的轴 和轴套的材料的多种组合在实际应用中存在问题。

发明内容
本发明的主要目的是克服前述的问题。本发明更具体的目的是提供一种 液态轴承马达，其中可以消除由环境温度变化引起的轴承液粘度变化导致的 马达的性能的变化。本发明的另一个目的是提供一种使用该液态轴承马达的 盘片驱动器。
在一个方案中，本发明提供一种液态轴承，包括轴套，其具有轴插入 孔；轴，其旋转地插入轴套内的轴插入孔；以及轴承液，其设置于轴套内的 轴插入孔的内表面和轴之间。轴由选自由钢、铁合金材料、铝合金材料以及 铜合金材料构成的群组中的材料制成，而轴套由钛材料形成。
在另一个方案中，本发明提供液态轴承马达，其包括上述液态轴承。轴 固定在转子上而轴套固定在定子上。
在另一个方案中，本发明提供盘片驱动器，其包括作为盘片旋转马达的 上述液态轴承马达。
在另一个方案中，本发明提供了一种制造液态轴承的方法，该液态轴承 旋转地支撑轴。该方法包括步骤形成轴，该轴由选自由钢、铁合金材料、 铝合金材料以及铜合金材料构成的群组中的材料制成；用钛材料制造轴套， 该轴套旋转地支撑轴；以及，通过蚀刻工艺在轴套内的轴插入孔的内表面上 形成动压槽。
根据本发明，由于轴套由钛材料制成，所以轴和轴套之间的间隙以这样 一种方式变化，消除由温度变化引起的轴和轴套之间轴承液粘度变化所带来 的影响。因此，可以降低轴承液的粘度变化对马达性能的影响，从而可以在 大的温度范围内获得稳定的马达性能。


参照说明书和附图，本发明的其它目的、特征和优点将会更清楚，其中 图1示出根据本发明的实施例的液态轴承马达的剖视图。 图2示出图1所示的实施例的轴套的部分剖视立体图。 图3示出用于蚀刻轴插入孔的内表面的光掩模设备(photomask apparatus)的结构。图4示出使用图3所示的光掩模设备在图2所示的轴套通孔的内表面上
形成运压槽图案的工艺流程图。
图5示出在掩模构件的外表面上形成曝光图案的工艺流程图。 图6示出通过图5的工艺形成曝光图案的方法。 图7示出形成在钛材料上的细槽图案。
图8示出通过表面粗糙度测试仪测得的成形后的槽的轮廓的结果；禾口 图9示出使用钛轴套的液态轴承的特性和使用传统材料制成的轴套的液 态轴承的特性对照表。
具体实施例方式
下文中，参照附图描述本发明的实施例。
参照图1，其描述根据本发明的实施例的液态轴承马达。图1示出根据 本实施例的液态轴承主轴马达的剖视图。图1中所示的液态轴承主轴马达用 于使盘片在盘片驱动器中旋转，比如磁盘驱动器。
图1中，轴2旋转地插入轴套4的轴插入孔4a中。轴套4固定在定子 构件6上，定子构件6上安装有定子线圈8。
轴2的上端从轴套4的轴插入孔4a中凸出并固定到转子构件10上，以 使转子构件10可以围绕轴2旋转。转子构件10具有凸缘部10a，该凸缘部 10a沿轴2的轴向延伸。在凸缘部10a内侧上，磁铁12相对于定子线圈8固 定，该定子线圈8以小间隙连接到定子构件6上。
当电流流过定子线圈8时，转子磁铁12中产生旋转力，由此转子构件 10围绕轴2旋转。因此，可以旋转连接到转子构件10的凸缘部10a上的磁 盘14。通过提供磁头和用于驱动靠近磁盘14的该磁头的驱动单元，本实施 例用作磁盘驱动器。
在本实施例中，轴2由马氏体不锈钢制成，比如SUS420J2。经常用作 轴材料的马氏体锈钢SUS420J2具有优良的刚度、良好的机械加工性和耐腐 蚀特性。马氏体不锈钢SUS420J2的线性膨胀系数为10.3x10—6/k。然而，轴2 的材料不局限于马氏体不锈钢SUS420J2。例如，轴材料可以是不锈钢而不 是马氏体不锈钢；是钢而不是不锈钢；是铁合金材料；是铝合金材料或者铜 合金材料。具体地，轴2可以由具有比下述钛材料更大的线性膨胀系数的金属材料制成。
在本实施例中，轴套4由钛材料制成。钛材料用作轴套4具有足够的刚 度，并且在金属中它的线性膨胀系数较小(8xl0—6/k)。钛材料也适用于作为 轴套材料，因为钛材料的耐化学性好并且可以抵抗例如轴承液(油)中的添 加剂所带来的侵蚀这样的失效。通过使用钛材料来作为轴套4的材料，可以 将轴套4的线性膨胀系数制得与轴2相比足够的小。因此，当轴2和轴套4 的温度升高时，可以减小轴2和轴套4的轴插入孔4a之间的间隙。当轴2 和轴套4的温度降低时，可以增大轴2和轴套4的轴插入孔4a之间的间隙。
具体地，当温度升高时，供应到轴2和轴套4的轴插入孔4a之间的间 隙中的轴承液(油)的粘度降低，降低了轴承的刚度；然而轴2和轴套4的 轴插入孔4a之间的间隙减小，增加了轴承刚度。因此，消除了由于温度升 高引起的轴承特性的变化，从而减小了马达性能的改变。
此外，当温度降低时，供应到轴2和轴套4的轴插入孔4a之间的间隙 的轴承液(油)的粘度升高，增大了转矩损失；然而轴2和轴套4的轴插入 孔4a之间的间隙增大，减小了转矩损失。因此，消除了由于温度降低引起 的轴承特性的变化，从而减小了马达性能的改变。
在轴2和轴套4的轴插入孔4a的内表面之间，供应有轴承液，比如润 滑油。在轴2和轴套4之间的轴承液中，通过轴2的旋转产生动压。因此， 轴2在轴套4的轴插入孔4a内旋转，同时轴2的外表面始终覆盖有轴承液。
如图2所示，在轴套4的轴插入孔4a的内表面上形成有动压槽4b，以 作为在轴承液中产生动压的方法。动压槽4b， 一般选用人字型槽，包含很多 的细槽。依据液态轴承的多种状况，动压槽4b的尺寸可能不同。例如，很 多10ym深的V型槽以100"m的间距排列，以使每个槽的尖部都朝向轴的 旋转方向。
因为动压槽都是细槽而且需要形成在通孔4b的内表面上，所以动压槽 的形成很难。此外，当轴套4由钛材料形成时，钛材料难以加工就成为另一 个问题。
在研究了多种钛材料的微加工方法之后，本发明发现可以通过一种特殊 的蚀刻工艺形成动压槽4b，如下所述。
在蚀刻工艺中，不透光层，即抗蚀剂(resist)，形成于掩模表面，然后进行曝光、显影和蚀刻步骤，以在掩模表面形成负正翻转图形
(negative-positive inverted pattern)。在被加工元件(轴套4)的图案(动压 槽4b)要形成的位置处，形成不透光层，即抗蚀剂。将掩模插入被加工元件
(轴套4)内，进行曝光，以将掩模图案转印到抗蚀剂上。显影抗蚀剂后， 进行蚀刻，以将掩模图案形成在被加工元件的表面(即轴套4的轴插入孔 4a的内表面)上。
下文将对蚀刻工艺进行详细描述。图3示出用于蚀刻工艺的光掩模设备 的结构。
在图3中，由钛材料制成的轴套4的轴插入孔4a的内表面覆盖有抗蚀 剂22。抗蚀剂22是光敏抗蚀剂(紫外光固化抗蚀剂)。在轴插入孔4a中插 入掩模构件20，掩模构件20是圆柱状，且在其外表面上形成有预定的掩模 图案(与动压槽相对应的图案)。掩模构件20的材料可为透明的玻璃或石 英，或者透明的树脂材料。树脂材料的实例包括丙烯酸(acrylic)树脂、聚 碳酸酯(polycarbonate)、聚酯(polyester)以及聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET， polyethylene terephthalate)。
掩模构件20经由连接件24可拆卸地连接到支撑部26上。因此，可以 根据轴套4的轴插入孔4a的形状，用带有期望形状的另一个掩模来替换掩 模构件20。掩模构件20连接到可以由柔性光纤制成的导光缆28( light-guiding cable)上。柔性导光缆28的使用使操作布局(operating layout)成为可能， 因此提高了可操作性。
导光缆28连接到曝光源(比如紫外光源)上，该曝光源没有示出。曝 光源发出的紫外光经过导光缆28并到达掩模构件20，将掩模图案曝光在抗 蚀剂22上。
参照图4，说明了使用前述的光掩模设备，在轴套4的轴插入孔4a的内 表面上形成动压槽4b的图案的程序。图4示出了该程序的流程图。
首先，将抗蚀剂22涂布在轴套4的轴插入孔4a的内表面上(步骤S101)。 具体地，将溶剂稀释后的抗蚀剂溶液逐滴施加到轴插入孔4a的内表面上， 接着去除过多的溶液。形成抗蚀剂22的层的其它方法包括在抗蚀剂溶液 中浸蘸物品的浸蘸工艺(dipping process)、流动涂布(flow-coating)、旋 转涂布 (rotary-coating )、 喷雾涂布 (spray-coating ) 以及电沉积(electrodeposition)。
接着将涂布后的抗蚀剂22进行预烘(步骤S102)，由此，为了蒸发步 骤S101中施加到抗蚀剂中的溶剂，将抗蚀剂22的温度升高到预定的温度。
接着将掩模构件20插入到轴套4的轴插入孔4a中(步骤S103)，然后 通过掩模构件20进行曝光(步骤S104)。具体地，将形成于掩模构件20 的外表面上的掩模图案曝光到抗蚀剂22上，该掩模构件在步骤S103中被插 入到轴套4的轴插入孔4a中。在从轴插入孔4a中去除掩模构件20后(步骤 S105)，例如，使用碳酸钠(carbonate)溶液显影抗蚀剂22 (步骤S106)。 以此方式，在轴套4的轴插入孔4a内形成掩模图案。
此后，后烘(postbake)抗蚀剂22 (步骤S107)，该工序将抗蚀剂22 温度升高到预定温度，以去除抗蚀剂22内的溶液和湿气，并增加抗蚀剂22 到轴插入孔4a的内表面上的粘合性。
接着进行蚀刻(步骤S108)，由此，通过去除轴插入孔4a不存在抗蚀 剂22的内表面部分，在轴套4的轴插入孔4a的内表面上形成预定深度的图
能够蚀刻钛材料的任意一种蚀刻方法都可被采用。例如化学蚀刻，比如 干蚀刻、湿蚀刻和电解蚀刻(elec加lytic etching)。干蚀刻的一个实例是等 离子体蚀刻。氢氟酸或硝酸可以用作湿蚀刻钛材料的溶液。硫酸可以用作电 解蚀刻钛材料的溶液。
在通过蚀刻形成预定深度的图案(动压槽)后，去除抗蚀剂22 (步骤 S109)。固化的抗蚀剂22可以通过脱膜剂(remover)来去除，比如氢氧化 钠溶液或者有机溶剂。
综上所述，抗蚀剂22施加在轴套的轴插入孔4a的内表面上动压槽形成 的部分处，将掩模构件20插入到轴套的轴插入孔4a中，接着进行曝光、显 影、蚀刻以及去除抗蚀剂22的步骤。以此方式，可以有效地在轴套的轴插 入孔4a的内表面上形成动压槽4b。
在下文中，描述一种在掩模构件20的外表面上形成曝光图案(对应于 动压槽)的方法。图5示出根据这种方法形成曝光图案的流程图。图6示出 根据图5的工艺形成曝光图案的方法。
首先，准备具有能够插入到轴套4的轴插入孔4a内的形状的掩模构件20。掩模构件20的外表面设置有通过铬沉积、电镀等制成的不透光层(步
骤S201 )。然后给掩模构件20的外表面涂布抗蚀剂(步骤S202)并预烘(步 骤S203)。然后在掩模构件20上缠绕曝光图案薄膜(步骤S204)并曝光(步 骤S205)，接着显影抗蚀剂(步骤S206)。然后对显影后的掩模图案进行 后烘(步骤S207)。
使用显影后的抗蚀剂作为掩模，对掩模构件20的表面进行蚀刻(步骤 S208)，去除抗蚀剂(步骤S209),从而在掩模构件20的表面上形成负正 翻转图形(步骤S210)。
参照图5，在前述说明中，使用曝光图案薄膜通过光蚀刻(photo etching) 在掩模构件20的表面上形成图案仅仅是是一个实例。在另一个实例中，可 以用激光对抗蚀剂进行三维扫描，以直接在抗蚀剂层上形成预定的图案，而 不是使用曝光图案薄膜。
具体地，当通过激光三维扫描在被加工的掩模构件20的外表面上形成 曝光图案时，在准备好具有能够插入轴套4的轴插入孔4a中的形状的掩模 构件20之后，在掩模构件20的表面上设置通过铬沉积、电镀等制成的不透 光层。接着在掩模构件20的表面上涂布抗蚀剂，然后预烘。
然后，通过激光三维扫描来曝光抗蚀剂，显影曝光后的抗蚀剂并随后进 行后烘。使用显影后的抗蚀剂作为掩模，蚀刻掩模构件20的表面，去除抗 蚀剂，从而在掩模构件20的表面上形成负正翻转图形。
或者，可以通过用激光三维扫描除去除掩模表面上的不透光层而直接将 负正翻转图形绘制在掩模构件20上。例如，在准备好具有能够插入轴套4 的轴插入孔4a的形状的掩模构件20之后，通过铬沉积、电镀等在掩模构件 20的表面上设置不透光层。可以通过激光三维扫描去除铬沉积层，从而将负 正翻转图形直接绘制在掩模表面上。
以此方式，用于形成动压槽的图案可以绘制在透明的圆柱状掩模构件20 的外表面上。虽然在前述的实例中，掩模构件20是透明的圆柱状构件，但 该掩模构件还可以是透明的圆筒状构件，曝光图案形成于该圆筒状构件的内 表面上。
当通过前述的蚀刻工艺在钛材料的表面形成作为动压槽的、具有相同形 状的多个细槽时，能够获得好的结果。图7示出形成在钛材料上的细槽屈案。图8示出表面粗糙度测试仪对形成的槽的轮廓的测量结果。该表面粗糙度测
试仪是记录针式(stylus-type)，利用该表面粗糙度测试仪沿图7所示的箭头 方向对表面进行扫描。如图8所示，大约20"m深的槽以800um的间距形 成。动压槽所需的宽度和深度分别为几百微米和几十到十微米。因此，通过 前述的蚀刻工艺，可以形成具有适用于钛材料表面轮廓的动压槽。 实例
如上所述，通过制造钛材料轴套和马氏体不锈钢(SUS420J2)轴而制作 液态轴承。在室温(25'c)时，轴的外径为4mm。在室温(25°c)时，轴套 的轴插入孔制成为相对于轴的间隙c为4u m。
供应到轴和轴套之间间隙的轴承液包含酯基(ester-based)轴承油。在 室温(25。c)时，该轴承油的粘度值n为20cSt。在低温(0'c)时，该轴承 油的粘度值n增大到50cSt;在高温(50。c)时，该轴承油的粘度值ri减小到 lOcSt。
对比实例
作为对比实例，基于轴和轴套所使用的传统材料的多种组合来制作液态 轴承。
1) 对比实例1
轴由马氏体不锈钢(SUS420J2)制成而轴套由铜合金制成。这种组合， 在相关技术领域中很常见，其问题在于当环境温度改变时，轴承刚度和转矩 损失的变化比的变化相当大。
2) 对比实例2
轴由奥氏体不锈钢(SUS304)制成而轴套由马氏体不锈钢(SUS420J2) 制成。因为这种组合是基于同类金属，所以容易发生胶合(粘附)。
3) 对比实例3
轴由铝合金制成而轴套由奥氏体不锈钢(SUS304)制成。因为轴是铝制 成的，所以轴的刚度不足。
4) 对比实例4
轴由马氏体不锈钢(SUS420J2)制成而轴套由殷钢材料制成。因为殷钢 材料的线性膨胀系数非常小，所以在这方面适合作为轴套材料；但是，该材 料在巿场上比较少见而且机械加工性能差，所以在低成本的状况下难以将殷钢加工成可用的形状。 5)对比实例5
轴由马氏体不锈钢(SUS420J2)制成而轴套由陶瓷制成。因为陶瓷的线 性膨胀系数小，在这方面适合作为轴套的材料；但是，陶瓷的机械加工性能 差，所以在低成本的状况下难以将陶瓷加工成可用的形状。
基于上述组合，制造对比实例1到5中的液态轴承，要使它们的轴外径 在室温(25'c)时为4mm，在室温(25。c)时，相对于轴的间隙c为4U m。 对比实例1到5中均使用与本实例相同的轴承液。
根据对比实例1到5和本实例的各液态轴承均在室温(25。c)、低温(0 。c)和高温(50。c)下运转，测得它们的轴承刚度比和转矩损失比。
图9示出本实例的液态轴承和对比实例1到5的液态轴承的特性对比结 果。在表中，"轴承刚度比"是指轴承刚度与室温(25'c)下轴承刚度的比 值。具体地，它是指(低温下轴承刚度)/ (室温下轴承刚度)，或者是指(高 温下轴承刚度)/ (室温下轴承刚度)。"转矩损失比"是指转矩损失与室温 (25。c)下转矩损失的比值。具体地，它是指(低温下转矩损失)/ (室温下 转矩损失)，或者是指(高温下转矩损失)/ (室温下转矩损失)。
从图9中可见，当轴套由钛制成时(实例)，轴承刚度比和转矩损失比 比基于传统组合的对比实例1小，获得了重大改进。在对比实例2中，虽然 轴承刚度比和转矩损失都比使用钛材料的本实例小，但是由于使用同类金属 而导致发生胶合(粘附)，所以它很难实际应用。在对比实例3中，虽然轴 承刚度比和转矩损失都比使用钛材料的本实例小，但是轴的刚度如此之小， 所以很难实际应用。在用殷钢制作轴套的对比实例4中，轴承刚度比和转矩 损失比都是最小，因此提供了最好的特性。然而，由于成本问题，该材料不 实用。在对比实例5中，虽然轴承刚度比和转矩损失比都与使用钛材料的本 实例相当，但是陶瓷非常差的机械加工性使它们的制造成本昂贵。
因此，上述内容表明根据本发明的本实施例的、使用钛材料作为轴套材 料的该实例在包括特性变化、机械加工性能、制造成本以及材料成本等多个 方面中都是最适合的。
可以理解的是，上述讨论仅仅说明了代表本发明的原理的很多具体形式 中的一部分。显然，在不脱离本发明范围的情况下，本领域技术人员可以容易地设计出很多其他的组合。
本发明申请是基于2007年5月31日提交的日本优先申请 No.2007-45093，其全部内容通过援引在此合并。
权利要求
1.一种液态轴承，包括轴套，其具有轴插入孔；轴，其旋转地插入该轴套的轴插入孔中；以及轴承液，其设置于该轴套的轴插入孔的内表面与该轴之间；其中，该轴由选自由钢、铁合金材料、铝合金材料以及铜合金材料构成的群组中的材料制成；该轴套由钛材料形成。
2. 根据权利要求1所述的液态轴承，其中在该轴套的轴插入孔的内表 面上形成动压槽。
3. 根据权利要求2所述的液态轴承，其中该动压槽通过蚀刻工艺形成。
4. 一种液态轴承马达，包括根据权利要求1所述的液态轴承，其中该 轴固定到转子上，该轴套固定到定子上。
5. —种液态轴承型盘片驱动器，包括作为盘片旋转马达的、根据权利 要求4所述的液态轴承。
6. —种制造液态轴承的方法，该液态轴承旋转地支撑轴，该方法包括 以下步骤利用选自由钢、铁合金材料、铝合金材料以及铜合金材料构成的群组中 的材料来形成轴；利用钛材料来形成旋转地支撑该轴的轴套；以及 通过蚀刻工艺，在该轴套的轴插入孔的内表面上形成动压槽。
全文摘要
本发明公开了一种液态轴承马达以及使用该液态轴承马达的盘片驱动器，消除了由于温度变化引起的轴承液粘度变化所带来的马达性能的变化。该液态轴承包括其上具有轴插入孔的轴套，轴旋转地插入该轴插入孔内。轴承液设置于该轴插入孔的内表面和该轴之间。该轴由钢、铁合金材料、铝合金材料或铜合金材料形成。该轴套由钛材料制成。
文档编号F16C17/02GK101315099SQ200810098799
公开日2008年12月3日 申请日期2008年5月30日 优先权日2007年5月31日
发明者三浦康宏, 上田正则 申请人:富士通株式会社