专利名称：滚筒装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于对塑料的片材或薄膜等进行涂覆、形成薄膜状的电子设备的制造(滚筒对滚筒(roll to roll)方式)和该片材、薄膜等的搬运的滚筒装置。
背景技术：
例如，在专利文献1及2中，提出了在径向和推力方向上采用静压气体轴承的滚筒装置。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开平11-190338号公报专利文献2:日本专利特开2010-25208号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题在上述滚筒装置中，由于在径向和推力方向这两个方向上采用静压气体轴承，因此，必须管理静压气体轴承的轴承间隙(单侧间隙10 15 μ m)，此外，由于需要高精度地管理轴承间隙，因此，静压气体轴承也需要较贵的轴承，很难实现装置的低廉化。除此之外，在上述滚筒装置中，由于径向及推力方向这两个方向上的轴承都消耗空气，因此，很难削减装置的运行成本。鉴于上述各点，本申请人在日本专利特愿2010-43375号中提出了一种滚筒装置，该滚筒装置包括:中空的滚筒体；隔着间隙地插通滚筒体的中空部且两端部从滚筒体突出的轴体；在径向上利用静压气体支承滚筒体且设于滚筒体与轴体之间的静压气体轴承；以及在推力方向上利用磁力支承滚筒体的磁性轴承，磁性轴承包括:经由螺栓安装于滚筒体的一端部的环状的外侧磁性体；在外周面与外侧磁性体的内周面隔着间隙相对且安装于轴体的环状的一对内侧磁性体；以及设于一对内侧磁性体之间的永磁体，该磁性轴承基于在推力方向上支承滚筒体的永磁体的磁力，产生使外侧磁性体与一对内侧磁性体互相牵引的力，根据上述滚筒装置，能利用静压气体轴承在径向上支承滚筒体，并能利用磁性轴承在推力方向上支承滚筒体，因此，能实现装置的低廉化、空气消耗量的削减。此外，由于能削减滚筒装置的零件数、减少组装工时、消除滚筒装置的外侧磁性体及滚筒体间的偏心等，因此，能期待消除因径向的磁力所产生的吸引力变得不均匀而导致径向的负载容量降低的可能性。本发明鉴于上述各点而作，其目的在于提供一种滚筒装置，该滚筒装置不仅能实现装置的低廉化、空气消耗量的削减，还能削减零件数、减少组装工时，而且还能消除因径向的磁力所产生的吸引力变得不均匀而导致径向的负载容量降低的可能性。解决技术问题所采用的技术方案本发明的滚筒装置包括:中空的滚筒体；轴体，该轴体隔着间隙地插通上述滚筒体的中空部；静压气体轴承元件，该静压气体轴承元件在径向上利用静压气体支承滚筒体且设于滚筒体与轴体之间；以及磁性轴承元件，该磁性轴承元件在推力方向上利用磁力支承滚筒体，滚筒体由磁性体构成，磁性轴承元件包括:一对内侧磁性体，这一对内侧磁性体在外周面与滚筒体的内周面隔着间隙相对且安装于轴体；以及永磁体，该永磁体设于一对内侧磁性体之间，该磁性轴承元件基于在推力方向上支承滚筒体的永磁体的磁力，产生使滚筒体与一对内侧磁性体互相牵引的力。根据本发明的滚筒装置，特别地，由于磁性轴承元件包括在外周面与滚筒体的内周面隔着间隙相对且安装于轴体的一对内侧磁性体、设于一对内侧磁性体之间的永磁体，该磁性轴承元件基于在推力方向上支承滚筒体的永磁体的磁力，产生使滚筒体与一对内侧磁性体互相牵引的力，因此，能利用静压气体轴承元件在径向上支承滚筒体，并能利用磁性轴承元件在推力方向上支承滚筒体，从而能实现装置的低廉化、空气消耗量的削减，此外，由于滚筒体本身由具有作为与内侧磁性体相对的外侧磁性体的功能的磁性体构成，因此，无需将与内侧磁性体相对的外侧磁性体另外设于滚筒体，能削减零件数、减少组装工时，而且，例如还能避免组装时产生外侧磁性体与滚筒体的偏心，消除因径向的磁力所产生的吸引力变得不均匀而导致径向的负载容量降低的可能性。本发明的另一实施方式的滚筒装置包括:中空的滚筒体；轴体，该轴体隔着间隙地插通上述滚筒体的中空部；静压气体轴承元件，该静压气体轴承元件在径向上利用静压气体支承滚筒体且设于滚筒体与轴体之间；以及磁性轴承元件，该磁性轴承元件在推力方向上利用磁力支承滚筒体，磁性轴承元件包括:外侧磁性体，该外侧磁性体嵌接于滚筒体的内周面；一对内侧磁性体，这一对内侧磁性体在外周面与外侧磁性体的内周面隔着间隙相对且安装于轴体；以及永磁体，该永磁体设于一对内侧磁性体之间，该磁性轴承兀件基于在推力方向上支承滚筒体的永磁体的磁力，产生使外侧磁性体与一对内侧磁性体互相牵弓I的力。根据本发明的另一实施方式的滚筒装置，特别地，由于磁性轴承元件包括嵌接于滚筒体的内周面的外侧磁性体、在外周面与外侧磁性体的内周面隔着间隙相对且安装于轴体的一对内侧磁性体、设于一对内侧磁性体之间的永磁体，该磁性轴承兀件基于在推力方向上支承滚筒体的永磁体的磁力，产生使外侧磁性体与一对内侧磁性体互相牵引的力，因此，能利用静压气体轴承元件在径向上支承滚筒体，并能利用磁性轴承元件在推力方向上支承滚筒体，从而能实现装置的低廉化、空气消耗量的削减，此外，由于外侧磁性体嵌接于滚筒体的内周面，因此能预先将外侧磁性体嵌接于滚筒体而形成一体构件，能减少将轴体、静压气体轴承元件及磁性轴承元件组装于滚筒体的组装工时，此外，还能预先精确地进行滚筒体及外侧磁性体的定心，能避免组装时产生外侧磁性体与滚筒体的偏心，消除因径向的磁力所产生的吸引力变得不均匀而导致径向的负载容量降低的可能性。本发明的又一实施方式的滚筒装置包括:中空的滚筒体；轴体，该轴体隔着间隙地插通上述滚筒体的中空部；静压气体轴承元件，该静压气体轴承元件在径向上利用静压气体支承滚筒体且设于滚筒体与轴体之间；以及磁性轴承元件，该磁性轴承元件在推力方向上利用磁力支承滚筒体，磁性轴承元件包括:外侧磁性体，该外侧磁性体安装于滚筒体的端部；一对内侧磁性体，这一对内侧磁性体在外周面与外侧磁性体的内周面隔着间隙相对且安装于轴体；以及永磁体，该永磁体设于一对内侧磁性体之间，该磁性轴承兀件基于在推力方向上支承滚筒体的永磁体的磁力，产生使外侧磁性体与一对内侧磁性体互相牵弓I的力，静压气体轴承元件包括:圆筒状的轴承体，该轴承体具有隔着环状的轴承间隙与滚筒体的内周面相对的径向轴承面且固接于轴体；供气通路，该供气通路以能供给从径向轴承面供给到轴承间隙的气体的方式形成于轴承体；以及供给通路，该供给通路形成于轴体，且以能朝供气通路供给气体的方式与该供气通路连通。根据本发明的又一实施方式的滚筒装置，特别地，由于磁性轴承元件包括安装于滚筒体的端部的外侧磁性体、在外周面与外侧磁性体的内周面隔着间隙相对且安装于轴体的一对内侧磁性体、设于一对内侧磁性体之间的永磁体，该磁性轴承兀件基于在推力方向上支承滚筒体的永磁体的磁力，产生使外侧磁性体与一对内侧磁性体互相牵引的力，因此，能利用静压气体轴承元件在径向上支承滚筒体，并能利用磁性轴承元件在推力方向上支承滚筒体，从而能实现装置的低廉化、空气消耗量的削减，此外，由于静压气体轴承元件包括具有隔着环状的轴承间隙与滚筒体的内周面相对的径向轴承面且固接于轴体的圆筒状的轴承体、以能供给从径向轴承面供给到轴承间隙的气体的方式形成于轴承体的供气通路、形成于轴体且以能朝供气通路供给气体的方式与该供气通路连通的供给通路，因此，例如与以在静压气体轴承元件的轴承主体的一个端面开口的方式在该轴承主体上设置气体的供给通路的情况相比，能将磁性轴承元件设于滚筒体的两端面，能增大推力方向的负载容量。在本发明的上述滚筒装置及另一实施方式的滚筒装置中，静压气体轴承元件还可以包括:圆筒状的轴承体，该轴承体具有隔着环状的轴承间隙与滚筒体的内周面相对的径向轴承面且固接于轴体；供气通路，该供气通路以能供给从径向轴承面供给到轴承间隙的气体的方式形成于轴承体；以及供给通路，该供给通路形成于轴体，且以能朝供气通路供给气体的方式与该供气通路连通。发明效果根据本发明，不仅能实现装置的低廉化、空气消耗量的削减，还能削减零件数、减少组装工时，而且还能消除因径向的磁力所产生的吸引力变得不均匀而导致径向的负载容量降低的可能性。
图1是从正面观察到的本发明实施方式的例子的局部剖视整体说明图。图2是图1所示的例子的局部剖视说明图。图3是图1所示例子的II1-1II线截面向视说明图。图4是图1所示例子的IV -1V线截面向视说明图。图5是图1所示例子的V — V线截面向视说明图。图6是图1所示例子的V1- VI线截面向视说明图。图7是主要表示图1所示例子中的磁性轴承元件的放大说明图。图8是本发明实施方式的其它例子的剖视说明图。
具体实施例方式接着，根据如图所示的优选实施方式的例子对本发明进行进一步详细的说明。另外，本发明不限定于这些例子。实施例在图1至图7中，本例的滚筒装置I包括:中空的滚筒体2 ;隔着间隙3插入滚筒体2的中空部的轴体4 ;在径向上利用静压气体支承滚筒体2的、设于滚筒体2与轴体4之间的静压气体轴承元件7及8 ;以及在推力方向上利用磁力支承滚筒体2的磁性轴承元件9及10。静压气体轴承元件7及磁性轴承元件9配置于滚筒体2的一端部5 —侧，静压气体轴承元件8及磁性轴承元件10配置于滚筒体2的另一端部6 —侧。静压气体轴承元件7及磁性轴承元件9分别与静压气体轴承元件8及磁性轴承元件10同样地形成，因此，以下对配置于一端部5 —侧的静压气体轴承元件7及磁性轴承元件9进行详细说明，对于配置于另一端部6 —侧的静压气体轴承元件8及磁性轴承元件10在图1中相应地追加符号a,而省略对它们的详细说明。另外，磁性轴承元件9相对于与该磁性轴承元件9邻接的静压气体轴承元件7配置于一端部5 —侧，磁性轴承元件10相对于与该磁性轴承元件10邻接的静压气体轴承元件8配置于另一端部6 —侧。滚筒体2由圆筒状的磁性体构成，在其内周面12上，与静压气体轴承元件7及8和磁性轴承元件9及10隔着环状的轴承间隙31及环状的间隙64相对。轴体4呈圆柱状，其一端部21从滚筒体2的一端部5突出，利用该一端部21固定支承于支承框15等。轴体4的另一端部22从滚筒体2的另一端部6突出，利用该另一端部22固定支承于支承框15等。在本例中，轴体14被支承框15等双臂支承，但也可以仅悬臂支承一端部21或另一端部22。在轴体4上安装有静压气体轴承元件7及8和磁性轴承元件9及10。轴体4的外周面20与滚筒体2的内周面12隔着间隙3相对。轴体4的位于静压气体轴承元件7与静压气体轴承元件8之间的外周部分的直径扩大。静压气体轴承元件7包括:圆筒状的轴承体36，该轴承体36具有隔着环状的轴承间隙31与滚筒体2的内周面12相对的径向轴承面32，且该轴承体36固接于轴体4 ;供气通路44，该供气通路44以能供给从径向轴承面32供给到轴承间隙31的气体的方式形成于轴承体36 ；以及供给通路45，该供给通路45以能将气体供给到供气通路44的方式与该供气通路44连通地形成于轴体4。轴承体36包括:圆筒状的主体55，该主体55利用其内周面51固接于轴体4的外周面20 ；以及作为多孔质体的圆筒状的多孔质金属烧结层56，该多孔质金属烧结层56与主体55的外周面52接合。多孔质金属烧结层56在内部具有在其整个表面上无序的许多部位上开口且无序地彼此连通的许多细孔。径向轴承面32由多孔质金属烧结层56的与所支承的滚筒体2的内周面12相对并露出的外周面构成。多孔质金属烧结层56也可以由4重量％以上10重量％以下的锡、10重量％以上40重量％以下的镍、0.1重量％以上不足0.5重量％的磷、2重量％以上10重量％以下的无机物质粒子、其余为铜而构成。多孔质金属烧结层中分散含有的无机物质粒子也可以由石墨、氮化硼、氟化石墨、氟化钙、氧化铝、氧化硅和碳化硅中的至少一种组成。供气通路44包括:形成于轴承体36的主体55的外周面52上的多个环状通路71及72 ;在轴向上延伸地形成于主体55内，与环状通路71及72连通并与供给通路45连通的连通路76。供给通路45在轴向上延伸地形成于轴体4内，在一端部21开口并与连通路76连通。在上述供气通路44中，从一端部21经由供给通路45供给来的气体(压缩气体)被供给到连通路76，被供给到连通路76的气体流入环状通路71及72，并将该流入的气体供给到多孔质金属烧结层56，从而将气体供给到轴承间隙31。另外，设于滚筒体2的一端部5 —侧的静压气体轴承元件7的供给通路45与设于滚筒体2的另一端部6 —侧的静压气体轴承元件8的供给通路(未图示)彼此连通。本例的滚筒装置I包括分别具有多孔质金属烧结层56及56a的静压气体轴承元件7及8，但例如也可以包括自成节流型的静压气体轴承元件来取而代之，该静压气体轴承元件经由形成于轴承体36及36a的自成节流通路将静压气体供给到轴承间隙31，以在径向上非接触地支承滚筒体2。磁性轴承元件9包括:环状的一对内侧磁性体65及66,这一对内侧磁性体65及66在外周面62与滚筒体2的内周面12隔着环状的间隙64相对并安装于轴体4 ;以及永磁体，该永磁体设于一对内侧磁性体65及66之间,在本例中为中空圆板状的一个永磁体67,利用在推力方向上支承滚筒体2的永磁体67的磁力，产生滚筒体2与一对内侧磁性体65及66互相牵引的力。间隙64与轴承间隙31邻接配置。滚筒体2在其一端部5 —侧形成有朝向内侧磁性体65突出并形成于该滚筒体2的内周面12的环状凸部82，此外，在其一端部5 —侧还形成有朝向内侧磁性体66突出并形成于该滚筒体2的内周面12的环状凸部83。环状凸部82及83彼此形状相同，环状凸部82相对于环状凸部83位于一端部5一侧。在环状凸部82与环状凸部83之间、环状凸部83与轴承体36之间分别形成有环状的凹槽84及85。凹槽84与永磁体67相对，凹槽85与后述的环状隔板80相对。在本例的环状凸部82及83上例如也可以进行倒角。环状凸部82及83的与内侧磁性体65及66的外周面62相对的面也可以由平坦面构成。内侧磁性体65相对于内侧磁性体66位于一端部5 —侧，内侧磁性体65的外周面62与环状凸部82隔着环状的间隙64相对，内侧磁性体66的外周面62与环状凸部83隔着环状的间隙64相对。内侧磁性体65及66分别呈中空圆板状，在它们的中空部分别固接于轴体4。也可以对内侧磁性体65及66各自的外周面62进行倒角。内侧磁性体65及66各自的外周面62也可以由分别与环状凸部82及83隔着间隙64相对的平坦面构成。另外，内侧磁性体66隔着环状隔板80安装于轴承体36。永磁体67的一端面86为N极,另一端面88为S极。内侧磁性体65及66因该永磁体67的磁力而带有磁性，藉此，内侧磁性体65的外周面62为N极，内侧磁性体66的外周面62为S极。滚筒体2的一端部5因上述多个永磁体67的磁力而带有磁性，藉此，环状凸部82为S极，环状凸部83为N极。因此，在磁性轴承元件9中，例如如图7所示产生磁通68，在环状凸部82与内侧磁性体65的外周面62之间产生牵引力，并在环状凸部83与内侧磁性体66的外周面62之间产生牵引力。由于上述牵引力随着滚筒体2相对于轴体4在推力方向上的变位而增大，因此，滚筒体2在推力方向上被磁力支承。这样，磁性轴承元件9根据在推力方向上支承滚筒体2的永磁体67的磁力,在滚筒体2的一端部5与一对内侧磁性体65及66之间产生互相牵引的力。另外,磁性轴承元件10也与磁性轴承元件9同样地，产生基于在推力方向上支承滚筒体2的永磁体67a的磁力的牵引力。磁性轴承元件9及10分别包括一个中空圆板状的永磁体67及67a，但例如也可以包括在圆周方向上排列的多个永磁体来取而代之。在上述滚筒装置I中，通过从各供气通路44对多孔质金属烧结层56及56a供气，从而将气体从径向轴承面32及32a供给到轴承间隙31及31a，从而能利用静压气体轴承元件7及8以非接触的方式将滚筒体2支承成可沿R方向自由旋转。此外，如上所述，能利用磁性轴承元件9及10的磁力在横向上以非接触的方式将滚筒体2支承成可沿R方向自由旋转，藉此，能防止滚筒体2相对于轴体4在横向上的位置偏移。在滚筒装置I中，不会产生在推力方向上支承滚筒体2的空气消耗，因此能抑制支承滚筒体2时的空气消耗量。根据本例的滚筒装置I，其包括:中空的滚筒体2 ;隔着间隙3插入滚筒体2的中空部的轴体4 ;在径向上利用静压气体支承滚筒体2的、设于滚筒体2与轴体4之间的静压气体轴承元件7及8 ;以及在推力方向上利用磁力支承滚筒体2的磁性轴承元件9及10，滚筒体2由磁性体构成,磁性轴承兀件9包括:一对内侧磁性体65及66,这一对内侧磁性体65及66在外周面62与滚筒体2的内周面12隔着环状的间隙64相对并安装于轴体4 ;以及永磁体67,该永磁体67设于一对内侧磁性体65及66之间,利用在推力方向上支承滚筒体2的永磁体67的磁力，产生滚筒体2与一对内侧磁性体65及66互相牵引的力，磁性轴承元件10包括:一对内侧磁性体65a及66a,这一对内侧磁性体65a及66a在外周面62与滚筒体2的内周面12隔着间隙3相对并安装于轴体4 ；以及永磁体67a,该永磁体67a设于一对内侧磁性体65a及66a之间,利用在推力方向上支承滚筒体2的永磁体67a的磁力,产生滚筒体2与一对内侧磁性体65a及66a互相牵引的力，因此，能利用静压气体轴承元件7及8在径向上支承滚筒体2，并能利用磁性轴承元件9及10在推力方向上支承滚筒体2，从而能实现装置的廉价化、空气消耗量的削减，此外，由于滚筒体2本身由内侧磁性体65及66和与内侧磁性体65a及66a相对的作为外侧磁性体起作用的磁性体构成，因此，无需将内侧磁性体65及66和与内侧磁性体65a及66a相对的外侧磁性体与滚筒体2分体地设于滚筒体2，能削减零件数，并能减少滚筒装置I的组装工时，此外，在组装时不会出现外侧磁性体与滚筒体2的偏心，还能消除因径向的磁力所产生的吸引力变得不均匀而导致径向的负载容量降低的可能性。本例的其它实施方式的图8所示的滚筒装置101除了滚筒体2以外，与滚筒装置I同样地形成，其具有由非磁性体构成的中空的滚筒体102。滚筒装置101的磁性轴承元件9还包括在滚筒体102的一端部5处的内周面12的部位嵌接的外侧磁性体103，滚筒装置101的磁性轴承元件10与上述滚筒装置101的磁性轴承元件9同样地，还包括在滚筒体102的另一端部6处的内周面12的部位嵌接的外侧磁性体(未图示)。滚筒体102的内周面12在其一端部5及另一端部6被扩径，外侧磁性体103嵌接于上述被扩径的一端部5，滚筒装置101的磁性轴承元件10的外侧磁性体嵌接于上述被扩径的另一端部6。在外侧磁性体103上形成有上述环状凸部82及83和凹槽84及85。滚筒装置101的磁性轴承元件10的外侧磁性体与外侧磁性体103同样地形成。上述滚筒装置101的磁性轴承元件9及10基于在推力方向上支承滚筒体102的永磁体67及67a的磁力，产生使外侧磁性体103及上述磁性轴承元件10的外侧磁性体与内侧磁性体65、66、65a、66a互相牵引的力。根据滚筒装置101，与滚筒装置I同样地，能利用静压气体轴承元件7及8在径向上支承滚筒体102，并能利用磁性轴承元件9及10在推力方向上支承滚筒体102，从而能实现装置的廉价化、空气消耗量的削减，此外，由于外侧磁性体103及滚筒装置101的磁性轴承元件10的外侧磁性体嵌接于滚筒体102的内周面12，因此，能预先将外侧磁性体103及滚筒装置101的磁性轴承元件10嵌接于滚筒体102而形成一体构件，能减少将轴体4、静压气体轴承元件7及8和磁性轴承元件9及10组装于滚筒体102的组装工时，除此之外，能预先简单且精确地进行滚筒体102以及外侧磁性体103及滚筒装置101的磁性轴承元件10的外侧磁性体的定心，此外，在组装时不会出现外侧磁性体与滚筒体的偏心，还能消除因径向的磁力所产生的吸引力变得不均匀而导致径向的负载容量降低的可能性。本例的其它实施方式的滚筒装置(未图示)在由非磁性体构成的滚筒体的两端部安装有外侧磁性体，除此之外，与滚筒装置I及101同样地形成。根据上述滚筒装置以及滚筒装置I及101，特别地，由于静压气体轴承元件7及8包括:圆筒状的轴承体36、36a，该轴承体36、36a具有隔着环状的轴承间隙31、31a与滚筒体2 (102)的内周面12相对的径向轴承面32、32a，且该轴承体36、36a固接于轴体4 ;供气通路44 (静压气体轴承元件8的供气通路未图示)，该供气通路44以能供给从径向轴承面32、32a供给到轴承间隙31、31a的气体的方式形成于轴承体36、36a ；以及供给通路45 (静压气体轴承元件8的供给通路未图示)，该供给通路45形成于轴体4，以能将气体供给到供气通路44的方式与该供气通路44连通，因此，例如与将气体的供给通路设置于静压气体轴承元件7及8的轴承体36及36a中的任一方的情形相比，除了设于静压气体轴承元件7的一端部5 —侧的磁性轴承元件9以夕卜，还包括与磁性轴承元件9同样地形成，且在静压气体轴承元件8的另一端部6 —侧邻接设置的磁性轴承元件10。此外，滚筒装置I及101以及上述本例的其它实施方式的滚筒装置除了上述结构以外，还可以包括:与在静压气体轴承元件7的一端部5 —侧邻接设置的磁性轴承元件9同样地形成，且与该静压气体轴承元件7的另一端部一侧邻接设置的其它磁性轴承元件(未图示)；以及与在静压气体轴承元件8的一端部6 —侧邻接设置的磁性轴承元件10同样地形成，且与该静压气体轴承元件8的另一端部一侧邻接设置的其它磁性轴承元件(未图示)，此时，能使推力方向的负载容量进一步增大。(符号说明)1、101滚筒装置2、102 滚筒体4 轴体7、8静压气体轴承元件9、10磁性轴承元件64 间隙65、66、65a、66a 内侧磁性体67、67a 永磁体31、31a轴承间隙32、32a径向轴承面
44供气通路45供给通路103外侧磁性体
权利要求
1.一种滚筒装置，其特征在于，包括: 中空的滚筒体； 轴体，该轴体隔着间隙地插通所述滚筒体的中空部； 静压气体轴承元件，该静压气体轴承元件在径向上利用静压气体支承滚筒体且设于滚筒体与轴体之间；以及 磁性轴承元件，该磁性轴承元件在推力方向上利用磁力支承滚筒体， 滚筒体由磁性体构成， 磁性轴承元件包括: 一对内侧磁性体，这一对内侧磁性体在外周面与滚筒体的内周面隔着间隙相对且安装于轴体；以及 永磁体，该永磁体设于一对内侧磁性体之间， 该磁性轴承元件基于在推力方向上支承滚筒体的永磁体的磁力，产生使滚筒体与一对内侧磁性体互相牵引的力。
2.一种滚筒装置，其特征在于，包括: 中空的滚筒体； 轴体，该轴体隔着间隙地插通所述滚筒体的中空部； 静压气体轴承元件，该静 压气体轴承元件在径向上利用静压气体支承滚筒体且设于滚筒体与轴体之间；以及 磁性轴承元件，该磁性轴承元件在推力方向上利用磁力支承滚筒体， 磁性轴承元件包括: 外侧磁性体，该外侧磁性体嵌接于滚筒体的内周面； 一对内侧磁性体；这一对内侧磁性体在外周面与外侧磁性体的内周面隔着间隙相对且安装于轴体；以及 永磁体，该永磁体设于一对内侧磁性体之间， 该磁性轴承兀件基于在推力方向上支承滚筒体的永磁体的磁力，产生使外侧磁性体与一对内侧磁性体互相牵引的力。
3.一种滚筒装置，其特征在于，包括: 中空的滚筒体； 轴体，该轴体隔着间隙地插通所述滚筒体的中空部； 静压气体轴承元件，该静压气体轴承元件在径向上利用静压气体支承滚筒体且设于滚筒体与轴体之间；以及 磁性轴承元件，该磁性轴承元件在推力方向上利用磁力支承滚筒体， 磁性轴承元件包括: 外侧磁性体，该外侧磁性体安装于滚筒体的端部； 一对内侧磁性体，这一对内侧磁性体在外周面与外侧磁性体的内周面隔着间隙相对且安装于轴体；以及 永磁体，该永磁体设于一对内侧磁性体之间， 该磁性轴承兀件基于在推力方向上支承滚筒体的永磁体的磁力，产生使外侧磁性体与一对内侧磁性体互相牵引的力，静压气体轴承元件包括: 圆筒状的轴承体，该轴承体具有隔着环状的轴承间隙与滚筒体的内周面相对的径向轴承面且固接于轴体； 供气通路，该供气通路以能供给从径向轴承面供给到轴承间隙的气体的方式形成于轴承体；以及 供给通路，该供给通路形成于轴体，且以能朝供气通路供给气体的方式与该供气通路连通。
4.如权利要求1或2所述的滚筒装置，其特征在于， 静压气体轴承元件包括: 圆筒状的轴承体，该轴承体具有隔着环状的轴承间隙与滚筒体的内周面相对的径向轴承面且固接于轴体； 供气通路，该供气通路以能供给从径向轴承面供给到轴承间隙的气体的方式形成于轴承体；以及 供给通路，该供给通路形成于轴体，且以能朝供气通路供给气体的方式与该供气通路连通。
5.如权利要求2所述的滚筒装置，其特征在于， 与一对内侧磁性体相对的滚筒主体的内周面的部位被扩径，外侧磁性体嵌接于滚筒主体的内周面的所述被扩径的部位。
全文摘要
滚筒装置(1)包括中空的滚筒体(2)；隔着间隙(3)插入滚筒体(2)的中空部的轴体(4)；在径向上利用静压气体支承滚筒体(2)的、设于滚筒体(2)与轴体(4)之间的静压气体轴承元件(7、8)；以及在推力方向上利用磁力支承滚筒体(2)的磁性轴承元件(9、10)。
文档编号F16C13/02GK103189659SQ20118005198
公开日2013年7月3日 申请日期2011年10月18日 优先权日2010年10月29日
发明者佐藤光 申请人:奥依列斯工业株式会社