阀板连接组件、门阀装置及等离子体加工设备的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种阀板连接组件、门阀装置及等离子体加工设备，阀板连接组件包括主体、第一调节单元和第二调节单元，其中，主体的一端与驱动轴连接，另一端借助第一调节单元和第二调节单元与阀板连接；第一调节单元的一端与主体通过螺纹连接，另一端与阀板可旋转地连接；在主体中设置有沿分别垂直于驱动轴的轴向和径向的方向贯穿主体的摆动空间，其与第一调节单元间隔设置；第二调节单元的一端穿过摆动空间，并与主体可旋转地连接；第二调节单元的另一端与阀板可旋转地连接。本发明提供的阀板连接组件不仅能方便地调节阀板与主体之间的间距和角度，还提高阀板与主体之间的角度的调节范围。
【专利说明】阀板连接组件、门阀装置及等离子体加工设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体设备制造【技术领域】，具体地，涉及一种阀板连接组件、门阀装置及等离子体加工设备。
【背景技术】
[0002]在半导体设备制造行业，为了提高生产效率，在生产集成电路、液晶显示器、薄膜太阳能电池及LED等产品时，通常将几十甚至上百个电池片放置在大尺寸的载板上，然后将该载板依次传输至用于实施不同工艺的各个腔室中，从而实现在一个工艺周期内完成多个电池片的加工。
[0003]图1为现有的等离子体加工设备的结构示意图。请参阅图1，等离子体加工设备包括三个顺序设置的工艺腔室(加热腔、工艺腔和冷却腔)、上料台、下料台、载板返回系统、真空系统和充气系统。其中，当上料台装载完未加工的电池片后，门阀I打开(门阀I 一侧和大气相通，另一侧与加热腔相通)并将载板传入加热腔内，之后加热腔的真空系统(图中未示出)将加热腔从大气状态转换成真空状态；加热腔开始对载板进行加热，当把载板加热到预定温度后，位于加热腔和工艺腔之间的门阀2开启，并在将载板自加热腔传送到工艺腔之后该门阀2立即关闭；工艺腔对未加工的电池片进行预定工艺制程，完成工艺后位于工艺腔和冷却腔之间的门阀2开启，并让载板自工艺腔传送到冷却腔之后该门阀2立即关闭；冷却腔对加工后的电池片进行冷却，完成冷却后充气系统(图中未示出)向冷却腔内充入氮气，以使冷却腔由真空状态转换成大气状态，之后门阀I (门阀I 一侧和大气相通，另一侧与冷却腔相通)开启并将载板传送到下料台上，载板上的加工后的电池片在下料台被卸除，之后下料台竖直下降到载板返回系统的位置并将空载的载板传送到返回系统上，返回系统再将载板传送到下降后的上料台上，最后上料台上升并往载板上装载未工艺电池片，依此进行持续循环生产。由上述工作流程可知，为了保证各个工艺腔室在实施工艺的过程中能够保持真空状态，在相邻两个工艺腔室之间需要设置门阀装置，用以将相邻两个腔室密封地串接在一起。由于载板的厚度较小，通常为20-40mm，而载板的长度较大，其范围通常在1000?2000mm，而用于连通相邻两个腔室的载板通道的尺寸必须大于载板的上述外形尺寸，因而该载板通道的长度尺寸也相应地较大，这对门阀装置提出了很高的要求:一方面大尺寸的门阀腔体通常采用焊接结构(非焊接结构的造价成本很高)，导致需要高精度地加工才能精密地集成阀板运动机构；另一方面由于阀板需要频繁地进行开关动作，以开启或关闭载板通道，因而必须提高阀板运动机构的稳定性才能够保证阀板在长期地频繁开启闭合动作中的密封可靠性。
[0004]图2a为现有的一种门阀装置的结构示意图。请参阅图2a，门阀装置包括门阀腔体(图中未示出)、驱动轴22、阀板24和阀板连接组件23。其中，门阀腔体设置在相邻两个工艺腔室之间，用以将相邻两个工艺腔室密封地串接在一起。门阀腔体包括腔体侧壁20，其为位于门阀腔体和与之相邻的两个工艺腔室之间的侧壁，并且在腔体侧壁20上设置有载板通道，其连通门阀腔体和与之相邻的工艺腔室，载板可经由该载板通道进入工艺腔室。驱动轴22借助驱动轴固定件21固定在门阀侧壁20上，阀板24借助阀板连接组件23与驱动轴22连接。而且，驱动轴22与气缸(图中未示出)连接，在气缸的驱动下，驱动轴22带动阀板24旋转，以开启或封闭载板通道。
[0005]另外，阀板连接组件23还可以对其与阀板24之间的间距和角度进行调节，换言之，对阀板24相对于载板通道的位置和角度进行调节，以避免在阀板24因尺寸误差或安装误差等原因而导致其封闭载板通道时的位置和角度产生偏差，从而出现无法密封载板通道的问题。
[0006]具体地，图2b为图2a所示阀板连接组件的剖视图。如图2b所示，阀板连接组件23包括连杆，该连杆包括第一连接部231和第二连接部233。其中，第一连接部231的一端与第二连接部233连为一体，另一端与驱动轴22固定连接；二者的连接方式具体为:在第一连接部231上设置有第一通孔，其套制在驱动轴22上，并且第一通孔的孔径与驱动轴22的轴径相配合。而且，在第一连接部231的与驱动轴22连接的端面上设置有与第一通孔相连通的开口 232，并在第一通孔的径向方向上设置有贯穿开口 232的调节螺栓237，通过旋紧调节螺栓237，可以减小开口 232在第一通孔的径向方向上的尺寸，从而可以减小第一通孔的孔径。这可以增加第一通孔与驱动轴22之间的静摩擦力，从而阻止第一连接部231与驱动轴22产生相对转动。
[0007]第二连接部233与阀板24连接，二者的连接方式具体为:第二连接部233与阀板24的背离其密封面的表面相对且间隔设置，所谓阀板24的密封面，是指阀板24的与载板通道相对的表面。而且，第二连接部233借助紧固螺栓234与阀板24连接，并且可以通过改变紧固螺栓234的螺母与螺柱在螺柱轴向上的相对位置来调节螺柱在第二连接部233与阀板24之间的长度，即，调节第二连接部233与阀板24之间的间距，从而可以调节阀板24相对于载板通道的位置。例如，若阀板24旋转至封闭载板通道的位置处，且其密封面与腔体侧壁20之间存在间隙时，则可以相应地增加第二连接部233与阀板24之间的间距，以使阀板24朝向腔体侧壁20靠近，从而使阀板24在旋转至封闭载板通道的位置时，其密封面能够与腔体侧壁20紧密贴合，进而实现阀板24对载板通道的密封。
[0008]另外，在驱动轴22的径向方向上，且位于紧固螺栓234的两侧分别设置有角度调节螺栓235，角度调节螺栓235的螺柱自第二连接部233的背离阀板24的表面贯穿第二连接部233，并延伸至阀板24的与第二连接部233相对的表面。由于上述两个角度调节螺栓235的螺柱在第二连接部233与阀板24之间的长度之差可以决定阀板24与第二连接部233之间的角度，即阀板24相对于载板通道的角度，因而可以通过分别改变两个角度调节螺栓235的螺母与螺柱在螺柱轴向上的相对位置，来调节两个角度调节螺栓235的螺柱在第二连接部233与阀板24之间的长度之差，从而实现对阀板24相对于载板通道的角度的调节，以消除阀板24在旋转至封闭载板通道的位置处时，其密封面与腔体侧壁20之间存在的角度偏差，进而实现阀板24对载板通道的密封。
[0009]虽然上述阀板连接组件23可以对阀板24相对于腔体侧壁20的位置和角度进行调节，但是，其也在实际应用中不可避免地存在以下问题:
[0010]其一，在使用角度调节螺栓235调节阀板24与阀板连接组件23之间的角度的过程中，由于需要分别改变两个角度调节螺栓235的螺母与螺柱在螺柱轴向上的相对位置，来调节阀板24与第二连接部233之间的角度，调节过程较复杂。[0011]其二，由于第二连接部233借助紧固螺栓234与阀板24固定连接，即，紧固螺栓234与阀板24采用螺纹连接的方式固定，因而若阀板24相对于第二连接部233偏转的角度过大时，则紧固螺栓234的螺柱会产生弯曲变形，甚至会造成紧固螺栓234与阀板24的螺纹连接处损坏，导致紧固螺栓234卡死在阀板24的螺纹孔中，从而无法对阀板24与第二连接部233之间的间距进行调节。因此，为了防止上述情况的发生，只能在较小的范围内对阀板24相对于载板通道的角度进行微调，这使得对门阀装置的尺寸和加工精度的要求也相应地提高，从而提高了门阀装置的加工难度。
【发明内容】
[0012]本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种阀板连接组件、阀板装置及等离子体加工设备，其不仅可以更方便地调节阀板与主体之间的间距和角度，而且可以提高阀板与主体之间的角度的调节范围，从而可以降低门阀装置的加工难度。
[0013]为实现本发明的目的而提供一种阀板连接组件，用于将阀板与驱动轴连接，所述驱动轴用于驱动所述阀板绕其旋转，其包括主体、第一调节单元和第二调节单元，其中，所述主体的一端与所述驱动轴连接，另一端借助所述第一调节单元和第二调节单元与所述阀板连接；所述第一调节单元的一端与所述主体通过螺纹连接，另一端与所述阀板可旋转地连接，并且所述第一调节单元的轴线分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向；所述第一调节单元通过改变其与所述主体和/或阀板在所述第一调节单元的轴向上的相对位置，来调节所述主体和阀板之间在所述第一调节单元所在位置处的间距；在所述主体中设置有沿分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向的方贯穿所述主体厚度的摆动空间，所述摆动空间与所述第一调节单元间隔设置；所述第二调节单元的一端穿过所述摆动空间，且与所述主体可旋转地连接，另一端与所述阀板可旋转地连接，并且所述第二调节单元的轴线分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向；所述第二调节单元通过改变其与所述主体和/或阀板在所述第二调节单元的轴向上的相对位置，来调节所述主体和阀板之间在所述第二调节单元所在位置处的间距。
[0014]其中，所述第一调节单元包括第一调节柱、第一螺母和第一阀板连接轴，其中，在所述主体上设置有沿分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向的方向贯穿所述主体厚度的安装通孔；所述第一阀板连接轴可自转地与所述阀板连接，且其轴线与所述安装通孔的轴线相互垂直，并与所述驱动轴的轴线相互平行；并且，在所述第一阀板连接轴上设置有贯穿其径向厚度的第一连接孔，所述第一连接孔的轴线与所述安装通孔的轴线重合；所述第一调节柱分别穿过所述安装通孔和第一连接孔，并与二者采用螺纹连接的方式相配合；并且，所述第一调节柱与所述安装通孔相配合的螺纹的方向与所述第一调节柱与所述第一连接孔相配合的螺纹的方向相反；通过旋转所述第一调节柱来改变其分别与所述安装通孔和第一连接孔在所述安装通孔的轴向上的相对位置来调节所述主体和阀板之间在所述第一调节柱所在位置处的间距；所述第一螺母固定在所述安装通孔的端面上，且与所述第一调节柱相配合。
[0015]其中，所述第一调节单元包括第一调节柱、第一螺母和第一阀板连接轴，其中，在所述主体上设置有安装通孔，所述安装通孔沿垂直于所述驱动轴的轴线方向贯穿所述主体，且与所述旋转空间间隔设置；所述第一阀板连接轴可自转地与所述阀板连接，且其轴线与所述安装通孔的轴线相互垂直，并与所述驱动轴的轴线相互平行；所述第一调节柱包括沿其轴向串接的第一子调节柱和第二子调节柱，所述第一子调节柱的一端穿过所述安装通孔，且与所述安装通孔采用螺纹连接的方式相配合；所述第一子调节柱的另一端与所述第二子调节柱的一端可自转地连接，所述第二子调节柱的另一端与所述第一阀板连接轴固定连接；通过旋转所述第一调节柱来改变其与所述安装通孔在所述安装通孔的轴向上的相对位置来调节所述主体和阀板之间在所述第一调节柱所在位置处的间距；所述第一螺母固定在所述安装通孔的端面上，且与所述第一子调节柱相配合。
[0016]其中，所述安装通孔为由两个不同孔径的孔组成的阶梯孔，并且位于靠近所述阀板的一端的孔的孔径大于位于远离所述阀板的一端的孔的孔径；所述第一调节柱的一端或所述第一子调节柱的一端与位于远离所述阀板的一端的所述孔采用螺纹连接的方式相配
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[0017]其中，所述第二调节单元包括第二调节柱、第二螺母和主体连接轴，其中，所述主体连接轴穿过所述摆动空间，且可自转地与所述主体连接，并且所述主体连接轴的轴线平行于所述驱动轴的轴线，且垂直于所述摆动空间的轴向；在所述主体连接轴上设置有贯穿其径向厚度的第二连接孔，所述第二连接孔的轴线与所述摆动空间的轴线重合；所述第二调节单元还包括第二阀板连接轴，其可自转地与所述阀板连接，并且所述第二阀板连接轴的轴线与所述主体连接轴的轴线相互平行，且与所述第二连接孔的轴线相互垂直；在所述第二阀板连接轴上设置有第三连接孔，所述第三连接孔的轴线与所述第二连接孔的轴线重合；所述第二调节柱分别穿过所述第二连接孔和第三连接孔，并与二者采用螺纹连接的方式相配合；并且，所述第二调节柱与所述第二连接孔相配合的螺纹的方向与所述第二调节柱与所述第三连接孔相配合的螺纹的方向相反；通过旋转所述第二调节柱来改变其分别与所述第二连接孔和第三连接孔在所述第二连接孔的轴向上的相对位置来调节所述主体和阀板之间在所述第二调节柱所在位置处的间距；所述第二螺母固定在所述第二连接孔的端面上，且与所述第二调节柱相配合。
[0018]其中，所述第二调节单元包括第二调节柱、第二螺母和主体连接轴，其中，所述主体连接轴穿过所述摆动空间，且可自转地与所述主体连接，并且所述主体连接轴的轴线平行于所述驱动轴的轴线，且垂直于所述摆动空间的轴向；在所述主体连接轴上设置有贯穿其径向厚度的第二连接孔，所述第二连接孔的轴线与所述摆动空间的轴线重合；所述第二调节单元还包括第二阀板连接轴，其可自转地与所述阀板连接，并且所述第二阀板连接轴的轴线与所述主体连接轴的轴线相互平行，且与所述第二连接孔的轴线相互垂直；所述第二调节柱包括沿其轴向串接的第三子调节柱和第四子调节柱，所述第三子调节柱的一端穿过所述第二连接孔，并且所述第二调节柱与所述第二连接孔采用螺纹连接的方式相配合，所述第三子调节柱的另一端与所述第四子调节柱的一端可自转地连接，所述第四子调节柱的另一端与所述第二阀板连接轴固定连接；通过旋转所述第二调节柱来改变其与所述第二连接孔在所述第二连接孔的轴向上的相对位置来调节所述主体和阀板之间在所述第二调节柱所在位置处的间距；所述第二螺母固定在所述第二连接孔的端面上，且与所述第二调节柱相配合。
[0019]其中，在所述阀板上设置有阀板连接件，所述第一调节单元借助所述阀板连接件与所述阀板可旋转地连接；所述第二调节单元借助所述阀板连接件与所述阀板可旋转地连接。
[0020]其中，在所述主体的靠近所述驱动轴的端面上形成有凹部，且对应地在所述驱动轴的外周壁上形成有槽口，所述凹部与所述槽口相配合；在所述主体的靠近所述驱动轴的端面上还设置有紧固部件，用以将所述主体固定在所述驱动轴上。
[0021]作为另一个技术方案，本发明还提供一种门阀装置，其包括门阀腔体、驱动轴、驱动源、阀板和阀板连接组件，其中，所述门阀腔体设置在相邻两个工艺腔室之间，用以将相邻两个工艺腔室密封地串接在一起，所述门阀腔体包括载板通道，用以连通所述门阀腔体和与之相邻的工艺腔室，以供用于承载被加工工件的载板通过；所述驱动轴设置在所述门阀腔体内，且与所述载板通道相对应的位置处，并借助所述阀板连接组件与所述阀板固定连接；所述驱动源与所述驱动轴连接，在所述驱动源的驱动下，所述驱动轴带动所述阀板开启或封闭所述载板通道；其中，所述阀板连接组件采用了本发明提供的上述阀板连接组件。
[0022]其中，当所述驱动轴的长度小于Im时，所述驱动源的数量为一个；当所述驱动轴的长度大于等于Im时，所述驱动源的数量为两个，用以共同驱动所述驱动轴旋转。
[0023]作为另一个技术方案，本发明还提供一种等离子体加工设备，其包括至少两个并行设置的工艺腔室，在相邻两个所述工艺腔室之间设置有门阀装置，所述门阀装置采用了本发明提供的上述门阀装置。本发明具有以下有益效果:
[0024]本发明提供的阀板连接组件，其借助第一调节单元和第二调节单元通过改变二者与主体和/或阀板在分别垂直于驱动轴的轴向和径向的方向上的相对位置，来分别调节主体和阀板之间在第一调节单元和第二调节单元所在位置处的间距，从而实现对主体和阀板之间的间距和角度进行调节。而且，由于第一调节单元与阀板可旋转地连接，并将第二调节单元设置在摆动空间内且分别与主体和阀板可旋转地连接，因而当改变第一调节单元与主体和/或阀板在第一调节单元的轴向上的相对位置时，阀板能够随着第一调节单元的移动而分别相对于第一调节单元和第二调节单元旋转相应的角度，并带动第二调节单元相对于主体倾斜相应的角度，这在调节主体和阀板之间的间距和角度时，可以避免出现第一调节单元和第二调节单元因阀板相对于二者倾斜而产生弯曲变形甚至断裂的问题，从而可以在一定程度上增加主体与阀板之间的角度的调节范围，进而可以降低对门阀装置的尺寸和加工精度的要求，降低门阀装置的加工难度。此外，由于仅需调节第一调节单元和第二调节单元与主体和/或阀板之间分别在第一调节单元和第二调节单元的轴向上的相对位置，即可实现对阀板与主体之间的角度的调节，从而可以简化阀板与主体之间的角度的调节步骤，进而提高阀板连接组件的操作便携性。
[0025]本发明还提供一种阀板装置，其通过采用本发明提供的阀板连接组件，不仅可以在一定程度上增加主体与阀板之间的角度的调节范围，从而可以降低对门阀装置的尺寸和加工精度的要求，进而降低门阀装置的加工难度，而且还可以简化阀板与主体之间的角度的调节步骤，进而提高阀板连接组件的操作便携性。
[0026]本发明还提供一种等离子体加工设备，其通过采用本发明提供的阀板装置，不仅可以在一定程度上增加主体与阀板之间的角度的调节范围，从而可以降低对门阀装置的尺寸和加工精度的要求，进而降低门阀装置的加工难度，而且还可以简化阀板与主体之间的角度的调节步骤，进而提高阀板连接组件的操作便携性。【专利附图】
【附图说明】
[0027]图1为现有的等离子体加工设备的结构示意图；
[0028]图2a为现有的一种门阀装置的结构示意图；
[0029]图2b为图2a所示阀板连接组件的剖视图；
[0030]图3a为本发明第一实施例提供的阀板连接组件的立体图；
[0031]图3b为图3a中沿A-A线的剖视图；
[0032]图3c为图3a中沿B-B线的剖视图；
[0033]图4为本发明第二实施例提供的阀板连接组件的剖视图；
[0034]图5为图3b中驱动轴的立体局部图；
[0035]图6a为本发明提供的门阀装置的立体图；
[0036]图6b为图5a中阀板与腔体侧壁连接的立体图；
[0037]图7a为本发明提供的门阀装置在开启载板通道时的剖面图；以及
[0038]图7b为本发明提供的门阀装置在封闭载板通道时的剖面图。
【具体实施方式】
[0039]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的阀板连接组件、阀板装置及等离子体加工设备进行详细描述。
[0040]图3a为本发明第一实施例提供的阀板连接组件的立体图。图3b为图3a中沿A_A线的剖视图。图3c为图3a中沿B-B线的剖视图。图4为图3b中驱动轴的立体局部图。请一并参阅图3a、图3b、图3c和图4，阀板连接组件用于将阀板40与驱动轴30连接，其包括主体31、第一调节单元和第二调节单元。为了便于描述，将驱动轴30的轴向视为图3a中的X轴方向；将驱动轴30的径向视为图3a中的Y轴方向；将分别垂直于驱动轴30的轴向和径向的方向，即，分别垂直于X轴和Y轴的方向视为图3a中的Z轴方向。
[0041]其中，主体31的一端与驱动轴30连接，二者的连接方式具体为:在主体31的靠近驱动轴30的端面上形成有凹部313，并且，在驱动轴30的外周壁上且与凹部313相对应的位置处形成有槽口 301，槽口 301与凹部313相配合，用以阻止主体31与驱动轴30之间的相对转动。这可以避免出现阀板40在与用于供载板通过的载板通道相扣合的过程中因撞击而产生阀板40与驱动轴30之间的相对转动，导致阀板40对载板通道的密封失效的问题。而且，在主体31的靠近驱动轴30的端面上还设置有紧固部件32，其借助紧固螺钉33将主体31固定在驱动轴30上。在实际应用中，紧固部件32可以为与主体31的靠近驱动轴30的端面相扣合的“C”形部件，在驱动轴30的径向截面上，紧固部件32的“C”形凹部与凹部313相对接的投影形状与驱动轴30的投影形状相对应。
[0042]主体31的远离驱动轴30的另一端借助第一调节单元和第二调节单元与阀板固定连接，以使驱动轴30能够驱动阀板40绕其旋转。而且，在本实施例中，在阀板40上设置有阀板连接件39,第一调节单元和第二调节单元借助阀板连接件39与阀板40可旋转地连接。下面对第一调节单元和第二调节单元分别与主体31和阀板40连接的连接方式进行详细地描述。
[0043]具体地，第一调节单元包括第一调节柱34、第一螺母343和第一阀板连接轴36。其中，在主体31上设置有沿Z轴方向(即，分别垂直于驱动轴30的轴向和径向的方向)贯穿主体31厚度的安装通孔，该安装通孔为由两个不同孔径的孔组成的阶梯孔，即:为由图3b中的孔311和孔314组成的阶梯孔。而且，位于靠近阀板40的一端(图3b中位于安装通孔的下端)的孔314的孔径大于位于远离阀板40的一端(图3b中位于安装通孔的上端)的孔311的孔径，并且第一调节柱34的一端与孔311采用螺纹连接的方式相配合。由于第一调节柱34与孔314之间具有间隙，这在保证第一调节柱34与安装通孔连接的螺纹不会被破坏的前提下，能够允许第一调节柱34相对于主体31产生一定程度的角度变化，从而在调节主体31与阀板40之间的角度时，即使第一调节柱34相对于主体31产生一定程度的角度变化也可以保证其与主体31之间连接的有效性。
[0044]第一阀板连接轴36可自转地与阀板连接件39连接，并且第一阀板连接轴36的轴线沿X轴方向设置(即，第一阀板连接轴36的轴线与安装通孔的轴线相互垂直，并与驱动轴30的轴线相互平行)。第一阀板连接轴36可自转地与阀板连接件39连接的具体方式为，即:阀板连接件39包括用于与阀板40连接的平板392，在该平板392的与第一阀板连接轴36相对的表面上形成有沿第一阀板连接轴36的轴向间隔设置的两个凸台391，第一阀板连接轴36的两端分别贯穿两个凸台391的侧壁厚度，并在第一阀板连接轴36的外周壁分别与两个凸台之间设置有定位部件(图中未示出)，用以限制第一阀板连接轴36相对于两个凸台391在第一阀板连接轴36的轴向上的位移。定位部件可以为挡圈、定位销或轴套等。在第一阀板连接轴36上，且位于上述两个凸台391之间设置有贯穿第一阀板连接轴36的径向厚度的第一连接孔361，第一连接孔361的轴线与安装通孔的轴线重合；第一调节柱34的另一端(图3b中第一调节柱34的下端)穿过第一连接孔361，且与第一连接孔361采用螺纹连接的方式相配合；并且，第一调节柱34与第一连接孔361相配合的螺纹的方向和第一调节柱34与安装通孔相配合的螺纹的方向相反。
[0045]当顺时针或逆时针旋转第一调节柱34时，安装通孔借助其与第一调节柱34相配合的螺纹段可以相对于第一调节柱34沿Z轴的方向移动，与此同时，第一连接孔361借助其与第一调节柱34相配合的螺纹段可以相对于第一调节柱34沿Z轴的方向移动，并且安装通孔与第一连接孔361的移动方向相反，换言之，安装通孔和第一连接孔361可以相对于第一调节柱34沿Z轴的方向同时相互靠近或远离，从而可以实现对主体31和阀板40之间在安装通孔的轴线所在位置处的间距进行调节。
[0046]第一螺母343固定在安装通孔的端面上，且与第一调节柱34相配合，以将第一调节柱34锁紧在主体31上。当通过顺时针或逆时针旋转第一调节柱34，以将主体31和阀板40之间在安装通孔的轴线所在位置处的间距调节至预设大小之后，旋紧第一螺母343，以将第一调节柱34锁紧在主体31上，从而使第一调节柱34与安装通孔固定不动。
[0047]第二调节单元包括第二调节柱35、第二螺母353、主体连接轴37和第二阀板连接轴38。其中，在主体31中设置有沿Z轴方向贯穿主体31厚度的摆动空间312，摆动空间312与第一调节柱34间隔设置；主体连接轴37沿X轴方向穿过摆动空间312，且可自转地与主体31连接。主体连接轴37可自转地与主体31连接的具体方式为，即:主体连接轴37的两端沿X轴方向穿过摆动空间312，并贯穿主体31的厚度，且相应地在主体连接轴37的外周壁与主体31之间设置有定位部件，用以限制主体连接轴37相对于主体31在X轴方向上的位移。定位部件可以为挡圈、定位销或轴套等。而且，在主体连接轴37上且位于靠近摆动空间312中心的位置处设置有贯穿主体连接轴37的径向厚度的第二连接孔371 ;第二调节柱35的一端(图3b中第二调节柱35的上端)穿过第二连接孔371，且与第二连接孔371采用螺纹连接的方式相配合，而且，由于第二连接孔371可以相对于主体31进行以X轴方向为旋转轴的旋转，因而当第二连接孔371相对于主体31顺时针或逆时针旋转一定角度时，其可以带动与之螺纹连接的第二调节柱35相对于主体31以X轴方向为旋转轴摆动相应的角度。此外，当顺时针或逆时针旋转第一调节柱34，以调节主体31和阀板40之间在安装通孔的轴线所在位置处的间距时，由于阀板40相对于主体31产生倾斜，其会带动第二调节柱35相对于主体31倾斜相应的角度，即，第二调节柱35以主体连接轴37为旋转轴摆动相应的角度，在这种情况下，由于摆动空间312的侧壁与第二调节柱35之间在Y轴方向上具有一定的间距，因而可以允许第二调节柱35在该间距的范围内摆动，从而在调节主体31与阀板40之间的角度时，即使第二调节柱35在阀板40的带动下相对于主体31产生倾斜，也不会使第二调节柱35产生弯曲甚至断裂，同时也保证了其与主体之间连接的有效性。在实际应用中，摆动空间312可以为长圆形、椭圆形或长方形等形状的通孔，且摆动空间312的长度方向应沿Y轴方向设置，并且摆动空间312在长度方向上的尺寸可以根据具体情况自由设定。
[0048]第二阀板连接轴38可自转地与阀板连接件39连接，并且第二阀板连接轴38的轴线沿X轴方向设置(即，第一阀板连接轴36的轴线与安装通孔的轴线相互垂直，并与驱动轴30的轴线相互平行)。第二阀板连接轴38可自转地和阀板连接件39连接所采用的连接方式与第一阀板连接轴36可自转地和阀板连接件39连接所采用的上述连接方式相类似，由于第一阀板连接轴36可自转地和阀板连接件39连接所采用的上述连接方式在前文已有了详细地描述，在此不再赘述。在第二阀板连接轴38上，且位于两个凸台391之间设置有贯穿第二阀板连接轴38的径向厚度的第三连接孔381，第三连接孔381的轴线与第二连接孔371的轴线重合；第二调节柱35的另一端(图3b中第二调节柱35的下端)穿过第三连接孔381，并与第三连接孔381采用螺纹连接的方式相配合；并且，第二调节柱35与第三连接孔381相配合的螺纹的方向和第二调节柱35与第二连接孔371相配合的螺纹的方向相反。
[0049]当顺时针或逆时针旋转第二调节柱35时，第二连接孔371借助其与第二调节柱35相配合的螺纹段可以相对于第二调节柱35沿Z轴的方向移动，与此同时，第三连接孔381借助其与第二调节柱35相配合的螺纹段可以相对于第二调节柱35沿Z轴的方向移动，并且第二连接孔371与第三连接孔381的移动方向相反，换言之，第二连接孔371与第三连接孔381可以相对于第二调节柱35沿Z轴的方向同时相互靠近或远离，从而可以实现对主体31和阀板40之间在第二连接孔371的轴线所在位置处的间距进行调节。
[0050]由上可知，通过分别顺时针或逆时针旋转第一调节柱34和第二调节柱35，可以分别调节主体31和阀板40之间在安装通孔的轴线所在位置处和第二连接孔371的轴线所在位置处的间距，从而实现对主体31和阀板40之间的间距的调节。而且，可以通过调节主体31和阀板40之间在安装通孔的轴线所在位置处的间距与在第二连接孔371的轴线所在位置处的间距的差值，来调节主体31和阀板40之间的角度。此外，由于阀板40借助第一阀板连接轴36和第二阀板连接轴38分别与第一调节柱34和第二调节柱35可旋转地连接，并且第二调节柱35借助主体连接轴37与主体31可旋转地连接，因而阀板40能够随着第一调节柱34和第二调节柱35分别相对于主体31和阀板40在Z轴方向上的移动而相对于主体31旋转相应的角度，以实现对主体31和阀板40之间的角度的调节，这可以简化阀板40与主体31之间的角度的调节步骤，进而提高阀板连接组件的操作便携性。
[0051]第二螺母353固定在第二连接孔371的端面上，且与第二调节柱35相配合，以将第二调节柱35锁紧在主体31上。当通过顺时针或逆时针旋转第二调节柱35，以将主体31和阀板40之间在第二连接孔371的轴线所在位置处的间距调节至预设大小之后，旋紧第二螺母353，以将第二调节柱35锁紧在主体31上，从而使第二调节柱35与第二连接孔371固定不动。
[0052]需要说明的是，虽然在本实施例中，阀板连接件39与阀板40固定连接，但是本发明并不局限于此，在实际应用中，也可以将阀板连接件39与阀板40连为一体，或者，还可以省去阀板连接件39,且使第一调节单元和第二调节单元直接与阀板40可旋转地连接。
[0053]图5为本发明第二实施例提供的阀板连接组件的剖视图。请参阅图5，本发明第二实施例提供的阀板连接组件，其同样包括主体31、第一调节单元和第二调节单元。由于上述部件和单元的结构和功能在第一实施例中已有了详细的描述，在此不再赘述。下面仅对本实施例与第一实施例的不同点进行描述。
[0054]具体地，本实施例与第一实施例相比，第一调节柱34和第二调节柱35分别与第一阀板连接轴36和第二阀板连接轴38连接的连接方式不同，其不同点具体为:第一调节柱34包括沿其轴向串接的第一子调节柱341和第二子调节柱342，第一子调节柱341的一端(图5中第一子调节柱341的上端)穿过安装通孔，且与该安装通孔采用螺纹连接的方式相配合；第一子调节柱341的另一端(图5中第一子调节柱341的下端)与第二子调节柱342的一端(图5中第二子调节柱342的上端)可自转地连接，第二子调节柱342的另一端(图5中第二子调节柱342的下端)与第一阀板连接轴36固定连接。第一子调节柱341的另一端与第二子调节柱342的一端可自转地连接的连接方式具体可以为，即:在第一子调节柱341的另一端设置有轴向截面为“T型”的凸部344，相对应地，在第二子调节柱342的一端设置有轴向截面的形状与凸部344相适配的凹部345，并且凸部344与凹部345相互嵌套。由于第二子调节柱342的另一端与第一阀板连接轴36固定连接，当顺时针或逆时针旋转第一子调节柱341时，凸部344相对于凹部345顺时针或逆时针旋转，在这种情况下，只有安装通孔借助其与第一子调节柱341相配合的螺纹段可以相对于第一调节柱34沿Z轴的方向移动，而第一阀板连接轴36相对于第二子调节柱342固定不动，这同样可以使安装通孔和第一阀板连接轴36可以相对于第一调节柱34沿Z轴的方向相互靠近或远离，从而可以实现对主体31和阀板40之间在安装通孔的轴线所在位置处的间距进行调节。此外，第二子调节柱342的另一端与第一阀板连接轴36固定连接的连接方式可以采用螺纹连接、焊接等，只要能够使二者的连接方式保持固定不动即可。
[0055]与之相类似的，第二调节柱35包括沿其轴向串接的第三子调节柱351和第四子调节柱352，第三子调节柱351的一端(图5中第三子调节柱351的上端)穿过第二连接孔371，并且第三子调节柱351与第二连接孔371采用螺纹连接的方式相配合，第三子调节柱351的另一端(图5中第三子调节柱351的下端)与第四子调节柱352的一端(图5中第四子调节柱352的上端)可自转地连接，第四子调节柱352的另一端(图5中第四子调节柱352的下端)与第二阀板连接轴固定连接；第三子调节柱351的另一端和第四子调节柱352的一端可自转地连接的连接方式与第一子调节柱341的另一端和第二子调节柱342的一端可自转地连接的连接方式相类似，在此不再赘述。
[0056]综上所述，本实施例提供的阀板连接组件，其借助第一调节单元和第二调节单元通过改变二者与主体和/或阀板在分别垂直于驱动轴的轴向和径向的方向上的相对位置，来分别调节主体和阀板之间在第一调节单元和第二调节单元所在位置处的间距，从而实现对主体和阀板之间的间距和角度进行调节。而且，由于第一调节单元与阀板可旋转地连接，并将第二调节单元设置在摆动空间内且分别与主体和阀板可旋转地连接，因而当改变第一调节单元与主体和/或阀板在第一调节单元的轴向上的相对位置时，阀板能够随着第一调节单元的移动而分别相对于第一调节单元和第二调节单元旋转相应的角度，并带动第二调节单元相对于主体倾斜相应的角度，这在调节主体和阀板之间的间距和角度时，可以避免出现第一调节单元和第二调节单元因阀板相对于二者倾斜而产生弯曲变形甚至断裂的问题，从而可以在一定程度上增加主体与阀板之间的角度的调节范围，进而可以降低对门阀装置的尺寸和加工精度的要求，降低门阀装置的加工难度。此外，由于仅需调节第一调节单元和第二调节单元与主体和/或阀板之间分别在第一调节单元和第二调节单元的轴向上的相对位置，即可实现对阀板与主体之间的角度的调节，从而可以简化阀板与主体之间的角度的调节步骤，进而提高阀板连接组件的操作便携性。
[0057]相应于本发明的阀板连接组件，本发明还提供一种门阀装置，图5a为本发明提供的门阀装置的立体图。图5b为图5a中阀板与腔体侧壁连接的立体图。请一并参阅图5a和图6a，门阀装置包括门阀腔体50、驱动轴30、驱动源52、阀板40和阀板连接组件60。其中，门阀腔体50设置在相邻两个工艺腔室(图中未示出)之间，用以将相邻两个工艺腔室密封地串接在一起，门阀腔体50包括腔体侧壁501和载板通道502。其中，腔体侧壁501位于门阀腔体50和与之相邻的工艺腔室之间；载板通道502设置在腔体侧壁501上，其连通门阀腔体50和与之相邻的工艺腔室，以供用于承载被加工工件的载板通过，并且在腔体侧壁501上，且位于载板通道502的上方设置有驱动轴固定件61，驱动轴30借助驱动轴固定部件61设置在门阀腔体50内，且与载板通道502相对应的位置处。阀板连接组件60用于将驱动轴30与阀板40固定连接，其采用了本实施例提供的上述阀板连接组件。此外，驱动源52设置在门阀腔体50的外侧，且与驱动轴30的一端固定连接，在驱动源52的驱动下，驱动轴30带动阀板40旋转，以开启或关闭载板通道502。驱动源52包括电机、气缸或液压缸。如图6a和图6b所示，分别为本发明提供的门阀装置在开启或封闭载板通道时所在位置。
[0058]需要说明的是，当阀板40的长度方向上的尺寸较大时，驱动轴30的轴向长度也相应地增长，在这种情况下，为了避免出现驱动源52因驱动轴30的轴向长度较长而出现动力不足，或者驱动轴30产生扭曲变形等情况，当驱动轴30的长度大于等于Im时，驱动源52的数量应为两个，此时两个驱动源52分别与驱动轴30的两端固定连接，以共同驱动驱动轴30旋转。
[0059]此外，驱动轴固定部件61的数量可以与阀板连接组件60的数量相对应，设置位置一一对应。而且，阀板连接组件60的数量以及相邻两个阀板连接组件60之间的间距可以根据阀板40的长度方向上的尺寸自由设定。
[0060]本实施例提供的阀板装置，其通过采用本实施例提供的上述阀板连接组件，不仅可以在一定程度上增加主体与阀板之间的角度的调节范围，从而可以降低对门阀装置的尺寸和加工精度的要求，进而降低门阀装置的加工难度，而且还可以简化阀板与主体之间的角度的调节步骤，进而提高阀板连接组件的操作便携性。
[0061]作为另一个技术方案，本实施例还提供一种等离子体加工设备，其包括至少两个并行设置的工艺腔室，在相邻两个工艺腔室之间设置有门阀装置，该门阀装置采用了本实施例提供的上述门阀装置。
[0062]本实施例提供的等离子体加工设备，其通过采用本实施例提供的上述阀板装置，不仅可以在一定程度上增加主体与阀板之间的角度的调节范围，从而可以降低对门阀装置的尺寸和加工精度的要求，进而降低门阀装置的加工难度，而且还可以简化阀板与主体之间的角度的调节步骤，进而提高阀板连接组件的操作便携性。
[0063]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种阀板连接组件，用于将阀板与驱动轴连接，所述驱动轴用于驱动所述阀板绕其旋转，其特征在于，包括主体、第一调节单元和第二调节单元，其中 所述主体的一端与所述驱动轴连接，另一端借助所述第一调节单元和第二调节单元与所述阀板连接； 所述第一调节单元的一端与所述主体通过螺纹连接，另一端与所述阀板可旋转地连接，并且所述第一调节单元的轴线分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向；所述第一调节单元通过改变其与所述主体和/或阀板在所述第一调节单元的轴向上的相对位置，来调节所述主体和阀板之间在所述第一调节单元所在位置处的间距； 在所述主体中设置有沿分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向的方贯穿所述主体厚度的摆动空间，所述摆动空间与所述第一调节单元间隔设置；所述第二调节单元的一端穿过所述摆动空间，且与所述主体可旋转地连接，另一端与所述阀板可旋转地连接，并且所述第二调节单元的轴线分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向；所述第二调节单元通过改变其与所述主体和/或阀板在所述第二调节单元的轴向上的相对位置，来调节所述主体和阀板之间在所述第二调节单元所在位置处的间距。
2.根据权利要求1所述的阀板连接组件，其特征在于，所述第一调节单元包括第一调节柱、第一螺母和第一阀板连接轴，其中 在所述主体上设置有沿分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向的方向贯穿所述主体厚度的安装通孔； 所述第一阀板连接轴可自转地与所述阀板连接，且其轴线与所述安装通孔的轴线相互垂直，并与所述驱动轴的轴线相互平行；并且，在所述第一阀板连接轴上设置有贯穿其径向厚度的第一连接孔，所述第一连接孔的轴线与所述安装通孔的轴线重合； 所述第一调节柱分别穿过所述安装通孔和第一连接孔，并与二者采用螺纹连接的方式相配合；并且，所述第一调节柱与所述安装通孔相配合的螺纹的方向与所述第一调节柱与所述第一连接孔相配合的螺纹的方向相反； 通过旋转所述第一调节柱来改变其分别与所述安装通孔和第一连接孔在所述安装通孔的轴向上的相对位置来调节所述主体和阀板之间在所述第一调节柱所在位置处的间距； 所述第一螺母固定在所述安装通孔的端面上，且与所述第一调节柱相配合。
3.根据权利要求1所述的阀板连接组件，其特征在于，所述第一调节单元包括第一调节柱、第一螺母和第一阀板连接轴，其中 在所述主体上设置有安装通孔，所述安装通孔沿垂直于所述驱动轴的轴线方向贯穿所述主体，且与所述旋转空间间隔设置； 所述第一阀板连接轴可自转地与所述阀板连接，且其轴线与所述安装通孔的轴线相互垂直，并与所述驱动轴的轴线相互平行； 所述第一调节柱包括沿其 轴向串接的第一子调节柱和第二子调节柱，所述第一子调节柱的一端穿过所述安装通孔，且与所述安装通孔采用螺纹连接的方式相配合；所述第一子调节柱的另一端与所述第二子调节柱的一端可自转地连接，所述第二子调节柱的另一端与所述第一阀板连接轴固定连接； 通过旋转所述第一调节柱来改变其与所述安装通孔在所述安装通孔的轴向上的相对位置来调节所述主体和阀板之间在所述第一调节柱所在位置处的间距； 所述第一螺母固定在所述安装通孔的端面上，且与所述第一子调节柱相配合。
4.根据权利要求2或3所述的阀板连接组件，其特征在于，所述安装通孔为由两个不同孔径的孔组成的阶梯孔，并且位于靠近所述阀板的一端的孔的孔径大于位于远离所述阀板的一端的孔的孔径；所述第一调节柱的一端或所述第一子调节柱的一端与位于远离所述阀板的一端的所述孔采用螺纹连接的方式相配合。
5.根据权利要求1所述的阀板连接组件，其特征在于，所述第二调节单元包括第二调节柱、第二螺母和主体连接轴，其中 所述主体连接轴穿过所述摆动空间，且可自转地与所述主体连接，并且所述主体连接轴的轴线平行于所述驱动轴的轴线，且垂直于所述摆动空间的轴向；在所述主体连接轴上设置有贯穿其径向厚度的第二连接孔，所述第二连接孔的轴线与所述摆动空间的轴线重合； 所述第二调节单元还包括第二阀板连接轴，其可自转地与所述阀板连接，并且所述第二阀板连接轴的轴线与所述主体连接轴的轴线相互平行，且与所述第二连接孔的轴线相互垂直；在所述第二阀板连接轴上设置有第三连接孔，所述第三连接孔的轴线与所述第二连接孔的轴线重合； 所述第二调节柱分别穿过所述第二连接孔和第三连接孔，并与二者采用螺纹连接的方式相配合；并且，所述第二调节柱与所述第二连接孔相配合的螺纹的方向与所述第二调节柱与所述第三连接孔相配合的螺纹的方向相反；通过旋转所述第二调节柱来改变其分别与所述第二连接孔和第三连接孔 在所述第二连接孔的轴向上的相对位置来调节所述主体和阀板之间在所述第二调节柱所在位置处的间距； 所述第二螺母固定在所述第二连接孔的端面上，且与所述第二调节柱相配合。
6.根据权利要求1所述的阀板连接组件，其特征在于，所述第二调节单元包括第二调节柱、第二螺母和主体连接轴，其中 所述主体连接轴穿过所述摆动空间，且可自转地与所述主体连接，并且所述主体连接轴的轴线平行于所述驱动轴的轴线，且垂直于所述摆动空间的轴向；在所述主体连接轴上设置有贯穿其径向厚度的第二连接孔，所述第二连接孔的轴线与所述摆动空间的轴线重合； 所述第二调节单元还包括第二阀板连接轴，其可自转地与所述阀板连接，并且所述第二阀板连接轴的轴线与所述主体连接轴的轴线相互平行，且与所述第二连接孔的轴线相互垂直； 所述第二调节柱包括沿其轴向串接的第三子调节柱和第四子调节柱，所述第三子调节柱的一端穿过所述第二连接孔，并且所述第二调节柱与所述第二连接孔采用螺纹连接的方式相配合，所述第三子调节柱的另一端与所述第四子调节柱的一端可自转地连接，所述第四子调节柱的另一端与所述第二阀板连接轴固定连接； 通过旋转所述第二调节柱来改变其与所述第二连接孔在所述第二连接孔的轴向上的相对位置来调节所述主体和阀板之间在所述第二调节柱所在位置处的间距； 所述第二螺母固定在所述第二连接孔的端面上，且与所述第二调节柱相配合。
7.根据权利要求1所述的阀板连接组件，其特征在于，在所述阀板上设置有阀板连接件，所述第一调节单元借助所述阀板连接件与所述阀板可旋转地连接； 所述第二调节单元借助所述阀板连接件与所述阀板可旋转地连接。
8.根据权利要求1所述的阀板连接组件，其特征在于，在所述主体的靠近所述驱动轴的端面上形成有凹部，且对应地在所述驱动轴的外周壁上形成有槽口，所述凹部与所述槽口相配合； 在所述主体的靠近所述驱动轴的端面上还设置有紧固部件，用以将所述主体固定在所述驱动轴上。
9.一种门阀装置，其包括门阀腔体、驱动轴、驱动源、阀板和阀板连接组件，其中，所述门阀腔体设置在相邻两个工艺腔室之间，用以将相邻两个工艺腔室密封地串接在一起，所述门阀腔体包括载板通道，用以连通所述门阀腔体和与之相邻的工艺腔室，以供用于承载被加工工件的载板通过；所述驱动轴设置在所述门阀腔体内，且与所述载板通道相对应的位置处，并借助所述阀板连接组件与所述阀板固定连接；所述驱动源与所述驱动轴连接，在所述驱动源的驱动下，所述驱动轴带动所述阀板开启或封闭所述载板通道；其特征在于， 所述阀板连接组件采用权利要求1-8任意一项权利要求所述的阀板连接组件。
10.根据权利要求9所述的门阀装置，其特征在于，当所述驱动轴的长度小于Im时，所述驱动源的数量为一个；当所述驱动轴的长度大于等于Im时，所述驱动源的数量为两个，用以共同驱动所述驱动轴旋转。
11.一种等离子体加工设备，其包括至少两个并行设置的工艺腔室，在相邻两个所述工艺腔室之间设置有门阀装置 ，其特征在于，所述门阀装置采用权利要求9-10任意一项权利要求所述的门阀装置。
【文档编号】F16K1/20GK103807454SQ201210455667
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2012年11月14日 优先权日:2012年11月14日
【发明者】张金斌 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司