专利名称：一种用于搬运半导体晶圆移动载机的转动式排线夹的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及ー种用于搬运半导体晶圆移动载机的转动式排线夹。
背景技术：
RECIF移载机是用来搬运半导体晶圆的机械设备。由于自身结构特点，在机械手前后运行中(如图I所示)，数据排线A会翘起，不可避免的触碰前后轴驱动皮带B。由于前后轴动作频繁，会造成皮带和排线磨损，损坏。排线与皮带为进ロ配件比较昂贵，皮带和排线的磨损增加了生产成本；同时由于机台构造，更换排线需要拆卸机械手臂以及马达皮带组件，エ时为4小时以上，造成生产延误，降低了生产效率·
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供ー种用于搬运半导体晶圆移动载机的转动式排线夹能避免在生产过程中由于数据排线翘起造成搬运半导体晶圆移动载机皮带和数据排线磨损的情況，延长搬运半导体晶圆移动载机皮带和数据排线的使用寿命，降低生产成本，提高生产效率。为解决上述技术问题，本实用新型所提供的用于搬运半导体晶圆移动载机的转动式排线夹，包括ー转动轴杆，穿设于ー底盖板上，所述底盖板能围绕所述转动轴杆旋转；ー顶盖板，通过四个螺丝固定于所述底盖板上，所述顶盖板和底盖板之间具有供排线进出空间；ニ安装耳，套设于所述转动轴杆的两端，用于将排线夹固定在RECIF移动载机的机械臂框架上。其中,所述顶盖板和底盖板为长方形,长15CM,宽6CM。其中，所述转动轴杆长度为15. 4CM。
以下结合附图
与具体实施方式
对本发明作进ー步详细的说明图I是搬运半导体晶圆移动载机发生皮带与数据排线磨损的示意图。图2是本实用新型的结构示意图。图3是本实用新型安装在搬运半导体晶圆移动载机的示意图。附图标记I是马达组件2是机械臂3是前后轴驱动皮带4是数据排线[0019]5是磨损部位6是安装耳7是转动轴杆8是顶盖板9是底盖板10是螺丝11是排线夹
具体实施方式如图2所示，本实用新型所提供的用于搬运半导体晶圆移动载机的转动式排线夹，包括—转动轴杆长度为15. 4CM,穿设于ー长方形(长15CM,宽6CM)的底盖板上,所述底盖板能围绕所述转动轴杆旋转；ー顶盖板为长方形(长15CM，宽6CM)，通过四个螺丝固定于所述底盖板上，所述顶盖板和底盖板之间具有供排线进出空间；ニ安装耳，套设于所述转动轴杆的两端，用于将排线夹固定在搬运半导体晶圆移动载机的机械臂框架上。如图3所示，本实用新型的排线夹固定在搬运半导体晶圆移动载机的机械臂框架上，机械臂移动时排线夹随之转动不影响数据排线移动，避免了皮带与数据排线相互磨损的情况。以上通过具体实施方式
和实施例对本实用新型进行了详细的说明，但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种用于搬运半导体晶圆移动载机的转动式排线夹，其特征是，包括 ー转动轴杆，穿设于ー底盖板上，所述底盖板能围绕所述转动轴杆旋转； ー顶盖板，通过四个螺丝固定于所述底盖板上，所述顶盖板和底盖板之间具有供排线进出空间； ニ安装耳，套设于所述转动轴杆的两端，用于将排线夹固定在RECIF移动载机的机械臂框架上。
2.如权利要求I所述的搬运半导体晶圆移动载机的转动式排线夹，其特征是所述顶盖板和底盖板为长方形，长15CM，宽6CM。
3.如权利要求I所述的搬运半导体晶圆移动载机的转动式排线夹，其特征是所述转动轴杆长度为15. 4CM。
专利摘要本实用新型公开了一种用于RECIF移动载机的转动式排线夹，包括一转动轴杆，穿设于一底盖板上，所述底盖板能围绕所述转动轴杆旋转；一顶盖板，通过四个螺丝固定于所述底盖板上，所述顶盖板和底盖板之间具有供排线进出空间；二安装耳，套设于所述转动轴杆的两端，用于将排线夹固定在RECIF移动载机的机械臂框架上。本实用新型用于RECIF移动载机的转动式排线夹能避免在生产过程中由于数据排线翘起造成RECIF移动载机皮带和数据排线磨损的情况，延长RECIF移动载机皮带和数据排线的使用寿命，降低生产成本，提高生产效率。
文档编号F16L3/01GK202597901SQ201220117598
公开日2012年12月12日 申请日期2012年3月26日 优先权日2012年3月26日
发明者赵兴 申请人:上海华虹Nec电子有限公司