专利名称：一种高真空系统密封装置的制作方法
技术领域：
一种高真空系统密封装置技术领域[0001]本实用新型涉及一种用于真空系统中接通和截止气流领域，尤其是一种高真空系统密封装置。
背景技术：
[0002]目前大部分油扩散泵采用挡板阀的结构，也有部分装置采用了翻板阀的结构。这些结构解决了真空密封问题，但是对低温深冷扑集系统无法起到保护作用。国内翻板阀存在以下缺点(1)翻板时无调整，密封圈易被挤坏，泄露量大；(2)密封圈加工于阀体上，更换密封圈需拆下翻板阀阀板，影响生广效率。发明内容[0003]本实用新型的发明目的在于针对上述存在的问题，提供一种用于真空系统中接通和截止气流装置。这种装置的优点在于真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成，通导能力达到90%以上，生产效率高，也可根据生产及设备的本身需要，可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外，阀板会自行关闭，将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离，起到安全保护深冷系统不被暴露大气和升温影响，且保护真空扩散泵泵油不易氧化的作用。[0004]本实用新型采用的技术方案是这样的一种高真空系统密封装置，包括真空室体、 高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和K-800A扩散泵。适用于压力低于一个大气压至10-5Pa 真空度范围内。可远距离使用控制和电器连锁控制。这种装置的优点在于翻板阀连接于真空室体和冷凝罩之间，起着隔开或连通室体与真空抽气系统之作用。翻板阀采用驱动气缸驱动，驱动气缸由电气控制，实现自动动作；冷凝罩中装有深冷系统低温盘管，主要是为了使扩散泵的油蒸汽在泵口能更好的冷却、回流，盘管吸附高真空中的水蒸气，使泵发挥更大的抽气能力。[0005]所述的高真空翻板阀，包括驱动气缸、气缸转臂、阀板固定臂、阀板调整机构、阀板调平轴、阀板组成。适用于压力低于一个大气压至10_5Pa真空度范围内。可远距离使用电气控制。[0006]所述的阀板调整机构主要由模具弹簧、调整丝杆、调整螺母、固定块、焊接柱组成。 调整丝杆装上模具弹簧和调整螺母后与焊接柱连接，焊接柱焊接在阀板上，通过拧紧调整螺母来调节阀板与被压紧面的平行度。在驱动气缸的作用下，阀板绕旋转中心转动，当阀板转动开始关闭时，阀板下边先与被密封面接触，此时调整调整螺母，调整到阀板关闭时密封圈不被磨切为准，阀板与被密封平面缓慢合上，合上时靠弹簧弹力使阀板平面与被密封平面自动调整平行，达到更佳密封；且能使密封圈与被密封面均匀接触，密封圈受力一致， 处于弹性变形范围，延长了密封圈的使用寿命。[0007]燕尾形密封槽加工在阀板上，密封圈在此装置中属于易损件，燕尾形密封槽加工在阀板上后，在阀板处于打开状态时即可以轻松方便的更换密封圈。[0008]综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成，通导能力达到90%以上，生产效率高，也可根据生产及设备的本身需要，可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外，阀板会自行关闭，将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离，起到安全保护深冷系统不被升温和真空扩散泵泵油不易氧化的作用。
[0009]图I是一种高真空系统密封装置总图。[0010]图2是一种高真空系统密封装置侧视图。[0011]图3是一种高真空系统密封装置主视图。[0012]图4是一种高真空系统密封装置的三个实施例，分别为关闭状态一中间状态一打开状态。[0013]图中标记1为真空室体，2为高真空翻板阀，3为低温盘管，4为冷凝罩，5为扩散泵，2-1为驱动气缸，2-2为气缸转臂，2-3为阀板固定臂，2-4为阀板调整机构，2-6为阀板调平轴。
具体实施方式
[0014]
以下结合附图，对本实用新型作详细的说明。[0015]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。[0016]如图I所示，翻板阀2自成一独立部件，连接于室体与真空系统之间，驱动气缸2-1 由自动控制其行程动作，驱动气缸2-1、驱动气缸转臂2-2、固定臂2-3、阀板调平轴2-5、阀板2-6相互连接成一体，由气缸2-1驱动绕旋转中心转动。[0017]当翻板阀2处于关闭状态时，真空室体I与冷凝罩4隔开，室体I为大气状态；[0018]当翻板阀2处于开启状态时，真空室体I与冷凝罩4连通，室体I为真空状态。[0019]如图2 :燕尾型密封槽加工在阀板2-6上面，翻板2-6打开至水平位置时，即可方便更换密封圈；阀板2-6在关闭与被密封面接触的瞬间，由调整机构2-4自动调整阀板位置，使阀板2-6与被密封面始终保持平行，密封圈受力均匀，既保证密封又增长密封圈寿命O[0020]如图3 :阀板2-6打开从垂直位置至水平位置可自动控制，可用于多种工况，最大可开至水平位置(90° )，通导能力大，抽气时间(即室体内二次恢复真空度时间)短。[0021]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种高真空系统密封装置，其特征在于，包括真空室体(I)、高真空翻板阀(2)、低温盘管(3)、冷凝罩(4)和扩散泵(5)，所述的冷凝罩(4)中装有低温盘管(3);所述的高真空翻板阀(2)包括驱动气缸(2-1 )、气缸转臂(2-2)、阀板固定臂(2-3)、阀板调整机构(2-4 )、阀板调平轴(2-5 )、阀板(2-6 )，所述的驱动气缸(2-1)由自动控制动作，驱动气缸(2-1)驱动气缸转臂(2-2)和阀板固定臂(2-3)动作。
2.根据权利要求I所述的一种高真空系统密封装置，其特征在于所述的调整机构(2-4)由模具弹簧、调整丝杆、调整螺母、固定块、焊接柱组成，模具弹簧和调整螺母安装在调整丝杆上，调整丝杆与焊接柱连接，焊接柱焊接在阀板(2-6)上；阀板(2-6)可绕旋转中心转动。
3.根据权利要求I所述的一种高真空系统密封装置，其特征在于燕尾形密封槽加工在阀板(2-6)上。
专利摘要本实用新型公开了一种高真空系统密封装置，其特征在于,包括:真空室体、高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和扩散泵，所述的冷凝罩中装有低温盘管；所述的高真空翻板阀包括驱动气缸、气缸转臂、阀板固定臂、阀板调整机构、阀板调平轴、阀板，所述的驱动气缸由自动控制动作，驱动气缸驱动气缸转臂和阀板固定臂动作。真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成，通导能力达到90%以上，生产效率高，也可根据生产及设备的本身需要，可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外，阀板会自行关闭，将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离，起到安全保护深冷系统不被暴露大气和升温影响，且保护真空扩散泵泵油不易氧化的作用。
文档编号F16K1/18GK202812405SQ20122044803
公开日2013年3月20日 申请日期2012年9月5日 优先权日2012年9月5日
发明者范多旺, 牛晓山, 牛进虎, 杨书本, 范多进, 令晓明 申请人:常州大成绿色镀膜科技有限公司, 兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司, 兰州大成科技股份有限公司