管的制作方法

管的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种管，能够使向装置内或者在装置内适当地连接管的作业顺畅化。一种供流体流动的管，该管具有印刷在管上、且保存了管的种类信息的信息代码。由于印刷有表示管的种类的辨别代码，所以能够防止标记脱落而无法进行管的辨别，并且能够防止由于作业员的标记装配错误而导致管辨别不良。
【专利说明】管
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及供流体流动的管。
【背景技术】
[0002]在生产机械和制造装置中使用水和空气这样的各种流体的装置增多。例如，公知了以下内容:在半导体器件的制造工序中，在对半导体晶片进行磨削从而使其薄化的称为研磨机的磨削装置、或将薄化后的半导体晶片分割为芯片状的称为划片机的切削装置中，布满了将空气、加工液、以及吸引力等传递至装置所需地方的配管(例如，参照专利文献1、2)。
[0003]更具体来说，切削装置至少具有:卡盘工作台，其用于吸引保持半导体晶片；空气轴承式的主轴单元，其包括对保持在卡盘工作台的半导体晶片进行切削的切削刀具；以及清洗装置，其用于清洗切削后的半导体晶片。
[0004]另外，磨削装置至少具有:卡盘工作台，其用于吸引保持半导体晶片；空气轴承式的主轴单元，其包括对保持在卡盘工作台的半导体晶片进行磨削的磨削轮；以及清洗装置，其用于清洗磨削后的半导体晶片。
[0005]另外，在这些切削装置和磨削装置中具有:产生用于将半导体晶片吸引在卡盘工作台的负压的空气吸引源、将高压空气供给到空气轴承的空气供给源、以及将清洗液供给到清洗装置的清洗液供给源等，并且设置有配管，该配管用于将流体从流体的吸引源或供给源导入到各自的作用地方。
[0006]作为像这样的切削装置和磨削装置中的各种流体的配管，一般使用直径为数毫米?数十毫米左右的具有柔韧性的管，切断为适当长度的管与装置内的适当位置连接。
[0007]并且，为了适当地连接长度、粗细不同的多个管，需要辨别管的种类。因此，以往将印有表示管号码的数字等辨别信息的短筒状标记装配在管的两端部，从而能够进行管的辨别。
[0008]另一方面，这样的用于使流体流过的管通常在卷在卷轴的状态下存放，在将从卷轴拉出的管切断为目标长度后，以手工作业的方式将表示方向记号和辨别记号的短筒状标记装配在两端部。
[0009]现有技术文献
[0010]专利文献1:日本特开平10-321562号公报
[0011]专利文献2:日本特开昭55-112761号公报

【发明内容】

[0012]然而，如以往技术那样，在将印有表示流体流动方向的方向记号和表示管的种类的辨别记号的筒状标记装配到管的两端部的方法中，产生以下问题:作业员将错误的标记装配在管上、或装配在管上的标记脱落而无法对管进行辨别，从而延误向装置内适当地连接管的作业。[0013]另外，构成管的树脂由于时间经过和经时变化引起劣化，所以有必要在预定的时机更换管。以往，关于已经组装在加工装置的状态的管，例如有制造日期变得不明确，成为耐用期限的起算点的信息变得不明确的管。另外，由于管内流动的流体的种类，而使得在实际使用环境下的耐用期限也变得不同。
[0014]因此，担心管劣化的加剧导致流体泄漏等，有必要确保安全性。例如，进行了这样的运用:在制造出管后，在经过了比到劣化至不能使用的程度的期限(本来的耐用期限)短很多的预定期限的时刻，视为经过了耐用期限，在加工装置的购买后，以经过了预定期限的时刻为使用期限来进行管的更换。
[0015]但是，像这样虽然剩余有实际能够使用的期限却更换管是不经济的，并且，成为更换频率高的一个原因，使得作业工时增加，由此导致加工装置的运转率降低。
[0016]因此，本发明的第I目的在于提供一种管，能够使从外部向装置内或者在装置内适当地连接管的作业顺畅化。
[0017]本发明的第2目的在于提供一种管，能够查明适当的更换时机实现更换频率的降低，能够削减作业工时和提升加工装置的运转率，且能够实现没有经济性的浪费。
[0018]根据本发明，提供一种供流体流动的管，该管具有印刷在该管上且保存了该管的种类信息的信息代码，或具有印刷在该管上且显示该管的使用期限信息的使用期限显示。
[0019]发明效果
[0020]当在管上印有保存了管的种类信息的信息代码时，能够防止标记脱落而无法进行管的辨别，并且能够防止由于作业员的标记装配错误而导致管辨别不良。
[0021]另外，在管上印有显示使用期限信息的使用期限显示时，对于组装到加工装置的状态的管，能够查明适当的更换时机从而降低更换频率，能够实现作业工时的削减和加工装置的运转率的提升。
【专利附图】

【附图说明】
[0022]图1是切削装置外观立体图。
[0023]图2是经切割带支撑在环状框架的半导体晶片的立体图。
[0024]图3中，(A)是表示使用一维条形码作为信息代码的管的图，(B)是表示使用二维条形码作为信息代码的管的图。
[0025]图4是表示读取装置对管的信息代码的读取的图。
[0026]图5是表示用于切削装置的配管的实施方式的图。
[0027]图6是表示显示在监视器的种类信息的示例是图。
[0028]图7是表示管在收纳箱的收纳方式的示例的图。
[0029]图8中，(A)是说明本发明的管的其他实施方式的图，(B)是说明本发明的管的另外其他实施方式的图。
[0030]标号说明
[0031]11 管
[0032]13信息代码
[0033]15a 一维条形码
[0034]15b 二维条形码[0035]90读取装置【具体实施方式】
[0036]以下，参照附图对本发明的实施方式详细地进行说明。图1是表示将本发明的管用于配管的切削装置2的外观立体图。在切削装置2的前表面侧设置有用于由作业员输入加工条件等对装置的指示的操作构件4。装置上部设置有CRT等显示构件6，上述显示构件6显示针对作业员的引导画面和由后述的摄像构件拍摄的图像。
[0037]如图2所示，在作为切割对象的发光器件晶片W (以下，简称为“晶片W”)的表面，正交地形成有第I间隔道(分割预定线)S1和第2间隔道S2，在晶片W上形成有由第I间隔道SI和第2间隔道S2划分开的LED等多个器件D。
[0038]晶片W粘贴在作为粘结带的切割带T，切割带T的外周缘部粘贴在环状框架F。由此，晶片W为经切割带T支撑在框架F的状态，在图1所示的晶片收纳盒8中收纳有多个(例如，25个)晶片。晶片收纳盒8装载于上下可动的收纳盒升降机9上。
[0039]在晶片收纳盒8的后方配设有搬出搬入构件10，该搬出搬入构件10从晶片收纳盒8搬出切削前的晶片W，并且将切削后的晶片搬入至晶片收纳盒8。在晶片收纳盒8和搬出搬入构件10之间设置有临时性装载搬出搬入对象晶片的区域即临时放置区域12，在临时放置区域12配设有将晶片W定位到一定的位置的定位构件14。
[0040]在临时放置区域12的附近配设有搬送构件16，该搬送构件16具有吸附与晶片W成为一体的框架F进行搬送的回转臂，搬出至临时放置区域12的晶片W由搬送构件16吸附而被搬送至卡盘工作台18上，并吸引在该卡盘工作台18上，并且利用多个固定构件(夹紧装置)19来固定框架F由此将晶片W保持在卡盘工作台18上。
[0041]卡盘工作台18构成为:能够旋转且能够在X轴方向往复移动，在卡盘工作台18的X轴方向的移动路径的上方配设有检测晶片W的应该切削的间隔道的校准构件20。
[0042]校准构件20具有用于拍摄晶片W表面的摄像构件22，校准构件20根据通过拍摄而获得的图像，能够通过图案匹配等处理来检测应该切削的间隔道。通过摄像构件22而获得的图像被显示在显示构件6。
[0043]在校准构件20的左侧配设有针对保持在卡盘工作台18的晶片W实施切削加工的切削构件(切削单元)24。切削构件24与校准构件20 —体地形成，两者联动地在Y轴方向以及Z轴方向移动。
[0044]切削构件24构成为:在能够旋转的主轴26的末端装配有切削刀具28，该切削构件24能够在Y轴方向以及Z轴方向移动。切削刀具28位于摄像构件22的X轴方向的延长线上。
[0045]标号25是将切削结束的晶片W搬送至清洗装置27的搬送构件，在清洗装置27中清洗晶片W并且从空气喷嘴喷出空气来干燥晶片W。
[0046]接下来，对在本发明中作为特征性的结构的管的实施方式进行说明。如图3的(A)、(B)所示，管IlAUlB例如由具有柔韧性的树脂形成，管IlAUlB上印有保存了辨别信息的信息代码13a、13b。
[0047]图3的(A)表示使用一维条形码15a作为信息代码13a的实施方式。图3的(B)表示使用二维条形码15b作为信息代码13b的实施方式。[0048]通过像这样使用条形码作为信息代码13a、13b，能够将较多的信息保存到条形码中。
[0049]并且，如图4所示，在本实施方式中，利用读取装置90来读取该信息代码13a，由此获得保存在信息代码13a的各种信息。作为读取装置90能够通过众所周知的条形码阅读器来实施。
[0050]这里，作为保存在信息代码13a的信息例如是管IlA的种类信息，如图4的示例所示，考虑有:与使用该管IlA的组装装置相关的信息、与使用该管IlA的组装部位相关的信息、以及与假想在该管IlA内流动的流体种类相关的信息等。
[0051]将这些管IlA的种类信息例如在设置于读取装置90的监视器92进行显示，或显示在切削装置2的显示构件6 (图1)，由此能够由作业员进行识别。
[0052]另外，除将信息代码13a例如如本实施方式那样以条形码的方式印刷到管IlA的表面使其能够目视确认以外，也可以将信息代码13a保存为不能目视确认。在不能目视确认的情况下，优选以能够目视确认的方式附带用于确定信息代码13a的位置的别的指标
坐寸ο
[0053]另外，信息代码13a的读取除了通过条形码和条形码阅读器的组装来进行之外，还考虑由作业员手动输入信息代码13a (例如号码、记号等文字串)的方式等。也就是说，关于信息代码13a的读取，只要是作业员能够识别保存在信息代码13a的信息即可，对于该识别方式没有特别限定。
[0054]接下来，参照图5，对使用本发明的管的切削装置2的配管结构进行说明。高压空气从空气源40经管31被供给到清洁单元46。
[0055]清洁单元46具有多个过滤器，使从空气源40供给的高压空气净化。从清洁单元46，经管33向卡盘工作台18供给进行吸引释放时的吹起用空气，经管35向喷射器等负压产生构件52供给高压空气，经管37向主轴单元30供给空气轴承用的空气。
[0056]从清洁单元46，还经管39向遮盖切削刀具28的轮式罩32供给轮式罩开闭用空气，经管41供给空气从而形成气帘34，经管43向显微镜38用的分支接头56供给空气。
[0057]负压产生构件52是利用通过小口(orifice)的高压流体而产生负压的构件,其经管45向卡盘工作台18供给卡盘工作台真空用负压，经管47向旋转清洗装置27供给旋转工作台真空用负压。
[0058]从分支接头56，经管49向显微镜38供给罩开闭用空气，经管51供给宏观显微镜用送风空气，经管53供给微观显微镜用送风空气。
[0059]来自卡盘工作台18的排出空气经管55排出到管道60，来自旋转清洗装置27的排出空气经管57排出到管道60，来自主轴单元30的排出空气经管59排出到管道60。
[0060]如上所述，由切削装置2的各结构部件使用的空气全部排出到管道60。另外，供给空气的管例如使用无色透明的管。
[0061 ] 来自轮式罩32的排出空气经管61排出到管道60，来自气帘34的排出空气经管63排出到管道60。来自显微镜38的排出空气经管65排出到管道60。
[0062]从冷却液源42，例如将自来水等冷却液经管67供给到清洁单元48。清洁单元48包括多个过滤器，通过这些过滤器来过滤冷却液。
[0063]从清洁单元48经管69向将主轴26支撑为能够旋转的主轴单元30供给冷却液。从主轴单元30排出的冷却液经管71排出到排液管58。由于管67、69、71是供给液体的管，所以为了与供给空气的管进行区别，例如使用着色为淡蓝色的管为宜。
[0064]从切削和清洗液源44经管73向清洁单元50供给例如纯水等液体。清洁单元50包括多个过滤器。从清洁单元50，经管75向旋转清洗装置27供给清洗液，经管77向轮式罩用分支接头54供给切削液，经管79供给的液体形成水帘36。
[0065]从分支接头54，经管83向轮式罩32供给喷淋嘴用切削液，经管85供给刀具冷却用切削液，经管87供给喷淋用切削液。
[0066]从旋转清洗装置27排出的清洗液经管81排出到排液管58，从轮式罩32排出的切削液经管89排出到排液管58，形成了水帘36的液体经管91排出到排液管58。
[0067]由于管73至管91是为了供给冷却液、切削液等液体，或排出使用完的液体而使用的管，所以为了与供给空气的管进行区别，例如使用着色为淡蓝色的管为宜。
[0068]如上述说明那样，切削装置2是使用了大量管的装置，在将管组装到切削装置2时，需要在适当的位置组装大量管从而形成预定的流路。在进行该组装作业时，假设，在管上没有附带任何信息的情况下，不清楚在哪个位置组装该管。另外，即使预先切断为预定的长度，也有这样的可能性:作业员在错误的位置组装该管。
[0069]对此，在本发明中，如图4所示的实施方式那样，将信息代码13a附加到管11A，将各种信息保存到该信息代码13a中，并且在组装时读取该信息，由此能够容易地且正确地进行组装作业。
[0070]例如，在读取附加在管IlA的信息代码13a时，如图6的示例所示，读取装置90的监视器92作为附加在管IIA的种类信息而显示有各种信息。具体来说，显示有该管IIA被组装到“切削装置”。另外，显示有组装部位是位置“35”。另外，通过辅助显示确定35号位置的信息，也就是说辅助显示经管IlA彼此连接的负压产生构件52和清洁单元46 (辅助显示H)，显示应该连接管IlA的对象。另外，显示有在管IlA流动的流体种类是“空气”。
[0071]这样，在本实施方式中，作为流体流动的管11A，构成为具有印刷在管IlA上且保存了管IlA的种类信息的信息代码13a的管11A，通过读取保存在信息代码13a的各种信息，作业员能够容易地掌握应该连接该管IlA的部位，能够使在装置内适当地连接管的作业顺畅化。
[0072]另外，通过做出如图6的示例所示那样的辅助显示H，能够容易地掌握组装部位“35”的位置，但是即使在不设置像这样的辅助显示H时，通过纸面提供如图5所示那样的配管布局，作业员能够容易地掌握该组装部位“ 35 ”。
[0073]另外，在进行管的组装作业时，除了实现作业的顺畅化之外，即使在组装后，根据需要读取信息代码13a，由此能够确认管的种类信息。
[0074]例如，当确认了管的损伤而需要时，通过读取管的信息代码，能够确认该管的组装部位(连接哪个区间)、和该管中流动的流体。
[0075]另外，在产生更换的需要时，通过将存储在信息代码中的种类信息传给制造商等，能够各易地指定更换品。
[0076]另外，作为运用的一个方式，例如如图7所示，考虑了如下运用:向作业员提供收纳在收纳管5中预先切断为预定长度、且附加了信息代码的管。
[0077]在像这样的运用中，首先，作业员能够以顺序不同的方式取出管并组装到装置，省去从收纳箱5中找出所希望的管的麻烦。另外，由于在管上印刷有信息代码，所以不会产生以下问题:由于为分体部件而导致附加到管时的信息代码的脱落。
[0078]另一方面，对于提供管的一方来说，能够将管集中在一个收纳箱5中进行收纳，所以实现了不在捆包方面浪费劳力和时间的结构。例如，假设不存在信息代码时，考虑到进行组装的作业员的方便，在进行捆包时有必要在收纳箱5中进行管种类的区分等，但是无需有意识进行该区分就能够装满收纳箱5。由此，能够在短时间内进行捆包。
[0079]另外，作为管的制造的实施方式，想出了这样的方式:将卷绕于卷轴的管松开并切成预定的长度，并且，在切断的同时或在切断的前后，来印刷信息代码。另外，还想出了这样的结构:在切断后直接收纳到收纳箱5中，自动地进行管的制造和捆包。
[0080]接下来，参照图8的(A)、(B)，对本发明的管的其他实施方式进行说明。如图8的(A)、(B)所示，管IlCUlD由具有柔韧性的树脂形成，在管IlCUlD上印有使用期限显示13c、13d。
[0081]图8的(A)表示使用了表示管IlC的制造年月日的使用期限信息15c来作为使用期限显示13c的实施方式。管IlC被切断为预先设计的长度，并在切断后的管IlC的长度方向的预定位置印刷使用期限显示13c。
[0082]管IlC的应该印有使用期限显示13c的长度方向的位置没有特别限定，但是优选印刷成在实际装置中组装了各管时，配置在易于目视确认的位置。例如，作为离管的端部预定距离的位置(例如,5cm、10cm、20cm等),如果为表现为根据连接管的部位而决定的位置，则作业员能够削减寻找印刷地方的劳力和时间。
[0083]在本实施方式中，为了能够目视确认管IlC的制造年月日，作为使用期限信息15c，在管IlC上显示有表示为制造年月日的“制造”、表示年的数字“2012”、表示月的数字“7”、以及表示日的数字“4”。
[0084]如上所述，在本实施方式中，如图8的(A)所示，作为流体流动的管11C，构成为具有使用期限显示13c的管，使用期限显示13c印刷在管IlC上且显示管IlC的使用期限信息 15c ο
[0085]由此，对于组装到切削装置2 (加工装置)的状态的管11C，能够查明适当的更换时机而降低更换频率，能够削减作业工时和提升加工装置的运转率。另外，能够将管彻底使用到使用期限，能够避免经济性的浪费。
[0086]根据本实施方式，作为使用期限信息15c，显示有表示管IlC的制造年月日的“制造:2012/7/4”的信息，因此，例如，在维修时，根据该使用期限信息15c来确认是否经过了预定期限(例如，“3个月”这样的月单位、“2年”这样的年单位)，由此能够判断管IlC更换的必要性。
[0087]另外，优选根据管IlC内流动流体的种类来设定该“预定期限”。例如，当流过含有使管Iic提早劣化的成分的化学系统药品时，将该预定期限设定为比较短的期限。
[0088]另外，在本说明书中，所谓“使用期限”为管的“耐用期限”结束的时刻，也就是说，“从制造出管到劣化至不能使用的程度的恶化为止的期限”到来的时刻。另外，在图8的(A)的实施方式中，除了设定“制造年月日”之外，可考虑设定“制造年份”、“制造年月”等多样的显示方式。
[0089]另外，作为其他的实施方式，如图8的(B)所示，也可以使用表示管IlD的更换年月的使用期限信息15d作为使用期限显示13d。
[0090]在本实施方式中，作为使用期限信息15d，为了能够目视确认管IlD的更换年月，而显示有表示为更换年月的文字“更换”、表示年的数字“2020”、表示月的数字“5”。
[0091]根据本实施方式，由于显示有表示管IlD的更换年月的“更换:2020/5”的信息作为使用期限信息15d，所以例如，在维修时，确认是否到达该使用期限信息15d的年月，由此能够判断管IlD更换的必要性。另外，在图8的(B)的实施方式中，除了设定“更换年月”之夕卜，可考虑设定“更换年份” “更换年月日”等多样的显示方式。
[0092]另外，在上述的实施方式中，对将本发明的管应用到切削装置的配管的示例进行了说明，但是本发明的管的使用不限于此，例如也同样用于磨削装置、研磨装置等其他加工装置的配管。
[0093]另外，不仅是以设置到特定装置为目的，例如可以根据订货者的订单内容而保存预定长度和预定信息地进行供给。也就是说，通过将订货者要求的信息保存到信息代码，能够对应订货者的各种需求。
【权利要求】
1.一种供流体流动的管，其特征在于，该管具有印刷在该管上且保存了该管的种类信息的信息代码，或具有印刷在该管上且显示该管的使用期限信息的使用期限显示。
2.根据权利要求1所述的管，其特征在于， 上述使用期限信息包括该管的制造年份。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的管，其特征在于， 上述使用期限信息包括该管的更换年份。
【文档编号】F16L11/00GK103574177SQ201310336741
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年8月5日 优先权日:2012年8月6日
【发明者】砂川武司, 保本浩 申请人:株式会社迪思科