门阀阀板的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种门阀阀板，所述门阀阀板包括：与真空腔连通的开口进行开闭的挡板、与所述挡板连接的气缸联动杆，所述挡板上设有缓冲装置。当阀板受气缸的上下推动而向与真空腔的腔体开口相向位置移动，阀板的挤压力量小于缓冲装置的缓冲力量时，缓冲装置首先接触到腔体表面，从而降低了阀板对真空腔的密封圈的挤压和冲击力量，延长了密封圈的使用寿命。
【专利说明】门阀阀板
[0001]【技术领域】
[0002]本实用新型涉及一种门阀，特别是涉及一种用于对与半导体处理装置的真空腔连通的开口进行开闭的门阀阀板。
[0003]【背景技术】
[0004]在高真空环境下半导体处理装置的真空腔上需要使用门阀，用以实现大气与真空的隔断以及真空腔之间的隔断，以保证产品从大气状态传送到真空状态各个腔室的密封性。传统技术中，门阀包括气缸、气缸联动杆以及阀板，阀板受气缸的上下推动而向与真空腔的腔体开口相向位置移动，以实现对腔体开口的打开和关闭。当阀板关闭腔体开口时，阀板与腔体开口呈10度至30度的角度，使阀板做向上再向前的曲线运动，由于气缸的推力及惯性较大，阀板容易冲击和挤压到真空腔上的密封圈。门阀频繁动作后会降低密封圈的使用寿命。
[0005]实用新型内容
[0006]针对传统技术的门阀阀板多次挤压密封圈容易降低密封圈使用寿命的问题，本实用新型实施例提供了一种具有缓冲装置的门阀阀板，所述门阀阀板包括对与真空腔连通的开口进行开闭的挡板、与所述挡板连接的气缸联动杆，所述挡板上设有缓冲装置。
[0007]优选地，所述缓冲装置包括弹性缓冲件和弹性支撑件，所述挡板中部开有长方形的方槽，所述弹性缓冲件固定连接于所述方槽的中部，所述弹性支撑件设于所述方槽的两端，用以支撑起所述弹性缓冲件的两端，形成突肩。
[0008]本实用新型具有以下有益效果:
[0009]挡板上设有缓冲装置后，当阀板受气缸的上下推动而向与真空腔的腔体开口相向位置移动，当阀板的挤压力量小于缓冲装置的缓冲力量时，缓冲装置首先接触到腔体表面；当阀板的挤压力量等于缓冲装置的缓冲力量时，缓冲装置接触到腔体表面的同时，真空腔的密封圈接触到挡板；当阀板的挤压力量大于缓冲装置的缓冲力量时，密封圈才成为主要的受力点。因此降低了阀板对真空腔的密封圈的挤压和冲击力量，从而延长了密封圈的使用寿命。
[0010]优选地，所述挡板上设有两个缓冲装置，所述缓冲装置包括弹性缓冲件和弹性支撑件，所述挡板的两侧分别开有一个长方形的方槽，所述弹性缓冲件分别固定连接于两个所述方槽的中部，所述弹性支撑件分别设于两个所述方槽的两端，用以支撑起所述弹性缓冲件的两端，形成突肩。
[0011]在挡板两侧设有两个缓冲装置时，能够更好的保持阀板闭合的平衡性。
[0012]优选地，所述方槽的底部的两端分别开有两个圆槽，用于固定设置所述弹性支撑件，所述弹性缓冲件通过螺栓固定连接于所述方槽的中部。
[0013]优选地，所述弹性缓冲件固定连接于所述方槽的中部时，所述弹性缓冲件与所述方槽的底部存在空隙。
[0014]弹性缓冲件与方槽的底部存在空隙时，弹性支撑件能够通过较小的弹力支撑起弹性缓冲件从而形成突肩。[0015]优选地，所述弹性缓冲件的长度和宽度等于所述方槽的长度和宽度，所述弹性缓冲件的高度大于所述方槽的高度。
[0016]优选地，所述弹性缓冲件的高度与所述方槽的高度之差小于真空腔的密封圈的厚度。
[0017]当密封圈发生变形或失去弹力，而维修人员又没有及时更换时，弹性缓冲件的高度大于方槽的高度会使得门阀阀板再次关闭时，弹性缓冲件与腔体发生接触，从而避免了挡板直接与腔体发生机械碰撞而产生大量的空气尘埃颗粒。
[0018]优选地，所述弹性缓冲件为弹性压片。
[0019]优选地，所述压片的材料为特氟龙。
[0020]特氟龙材质的弹性压片在挤压碰撞过程中不会产生大量的空气尘埃颗粒。
[0021]优选地，所述弹性支撑件为金属弹簧。
[0022]【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1为本实用新型门阀阀板的三维示意图；
[0024]图2为本实用新型门阀阀板处于空闲状态的剖面图；
[0025]图3为本实用新型门阀阀板处于关闭状态的剖面图。
[0026]【具体实施方式】
[0027]图1为本实用新型门阀阀板的三维示意图，如图1所示，该门阀阀板是对与半导体处理装置的真空腔连通的开口进行开闭的部件，具体包括与挡板连接的气缸联动杆1、挡板2以及缓冲装置3，其中缓冲装置3设于挡板2之上，挡板上可以设置一个或多于一个的缓冲装置3。
[0028]优选地，在挡板2上设有两个缓冲装置3。
[0029]具体地，图2为本实用新型门阀阀板处于空闲状态的剖面图，如图2所示，该门阀阀板包括气缸联动杆1、与气缸联动杆I连接的挡板2、以及两个缓冲装置3，其中挡板2上开有一个长方形的方槽2a，缓冲装置3包括弹性支撑件3a以及弹性缓冲件3b。
[0030]在挡板2的两侧分别开有一个长方形的方槽2a，方槽2a的底部的两端分别开一个圆形的圆槽，用于放置弹性支撑件3a的一端。方槽2a的底部的中部开一个螺纹孔，弹性缓冲件3b中间设有另一个螺纹孔，通过螺栓3c穿过弹性缓冲件3b中间的螺纹孔以及方槽2a底部的螺纹孔，将弹性缓冲件3b固定连接到方槽2a的底部。当螺栓3c向下紧固时，两侧的弹性支撑件3a会将弹性缓冲件3b的两端弹起形成突肩3d。
[0031]优选地，螺栓3c向下紧固时，弹性缓冲件3b与方槽2a的底部之间留有空隙，从而使得弹性支撑件能够通过较小的弹力支撑起弹性缓冲件从而形成突肩。
[0032]图3为本实用新型门阀阀板处于关闭状态的剖面图，如图3所示，当气缸产生气压推动气缸联动杆I时，挡板2受气缸联动杆I的推力，向与真空腔腔体4的开口相向的位置，向前并向上做曲线运动。当挡板2关闭腔体4的开口时，当阀板的挤压力量小于缓冲装置3中弹性支撑件3a的弹力时，缓冲装置3的突肩3d首先接触到腔体表面；当阀板的挤压力量等于弹性支撑件3a的弹力时，缓冲装置3的突肩3d接触到腔体表面的同时，真空腔的密封圈5接触到挡板2的表面；当阀板的挤压力量大于弹性支撑件3a的弹力时，密封圈5才成为主要的受力点。
[0033]在本实施例的技术方案中，通过在门阀阀板的挡板上增设缓冲装置，使得门阀阀板在对真空腔的腔体开口进行开闭动作时，减轻了对腔体上密封圈的挤压和冲击力量，从而延长了密封圈的使用寿命。
[0034]优选地，弹性缓冲件的长度和宽度等于方槽的长度和宽度，弹性缓冲件的高度大于方槽的高度，且弹性缓冲件的高度与方槽的高度之差小于真空腔的密封圈的厚度。
[0035]优选地，弹性缓冲件为弹性压片，弹性支撑件为金属弹簧，进一步地，压片的材料为特氟龙。
[0036]当密封圈发生变形或失去弹力，而维修人员又没有及时更换时，弹性缓冲件的高度大于方槽的高度会使得门阀阀板再次关闭时，弹性缓冲件与腔体发生接触，从而避免了挡板直接与腔体发生机械碰撞而产生大量的空气尘埃颗粒。
[0037]应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型而非限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，一切不脱离本实用新型的精神和范围的技术方案及其改进，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围中。
【权利要求】
1.一种门阀阀板，包括对与真空腔连通的开口进行开闭的挡板、与所述挡板连接的气缸联动杆，其特征在于，所述挡板上设有缓冲装置。
2.根据权利要求1所述的门阀阀板，其特征在于，所述缓冲装置包括弹性缓冲件和弹性支撑件，所述挡板中部开有长方形的方槽，所述弹性缓冲件固定连接于所述方槽的中部，所述弹性支撑件设于所述方槽的两端，用以支撑起所述弹性缓冲件的两端，形成突肩。
3.根据权利要求1所述的门阀阀板，其特征在于，所述挡板上设有两个缓冲装置，所述缓冲装置包括弹性缓冲件和弹性支撑件，所述挡板的两侧分别开有一个长方形的方槽，所述弹性缓冲件分别固定连接于两个所述方槽的中部，所述弹性支撑件分别设于两个所述方槽的两端，用以支撑起所述弹性缓冲件的两端，形成突肩。
4.根据权利要求3所述的门阀阀板，其特征在于，所述方槽的底部的两端分别开有两个圆槽，用于固定设置所述弹性支撑件，所述弹性缓冲件通过螺栓固定连接于所述方槽的中部。
5.根据权利要求3所述的门阀阀板，其特征在于，所述弹性缓冲件固定连接于所述方槽的中部时，所述弹性缓冲件与所述方槽的底部存在空隙。
6.根据权利要求3所述的门阀阀板，其特征在于，所述弹性缓冲件的长度和宽度等于所述方槽的长度和宽度，所述弹性缓冲件的高度大于所述方槽的高度。
7.根据权利要求6所述的门阀阀板，其特征在于，所述弹性缓冲件的高度与所述方槽的高度之差小于真空腔的密封圈的厚度。
8.根据权利要求3所述的门阀阀板，其特征在于，所述弹性缓冲件为弹性压片。
9.根据权利要求8所述的门阀阀板，其特征在于，所述压片的材料为特氟龙。
10.根据权利要求3所述的门阀阀板，其特征在于，所述弹性支撑件为金属弹簧。
【文档编号】F16K3/30GK203627863SQ201320531706
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年8月29日 优先权日:2013年8月29日
【发明者】王燕锋, 高峰, 杨硕 申请人:昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司, 昆山国显光电有限公司