一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架的制作方法

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架。

背景技术：

在半导体制造生产的过程中往往需要用到各类的特种气体，特种气体在工业化生产中通常是通过管道来输运，特别是对于管道架空处的位置往往需要使用支撑架来对管道进行支撑固定。

但是目前的管道支撑架适用性较差，运输管道需要支撑的位置高度以及管道角度都可能不同，目前功能较为单一的支撑架面对这种情况时往往很难对管道平齐的固定，容易对管道造成损伤且支撑固定效果较差。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中支撑架功能较为单一，面对各种高度以及角度的管道支撑能力较差的问题，而提出的一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架，包括底座，所述底座上固定连接有支撑柱，所述支撑柱内设有空腔，所述空腔内滑动连接有竖直的螺纹杆，所述螺纹杆顶端固定连接有连接件，所述连接件顶端设有开槽，所述开槽内转动连接有方向件，所述方向件位于开槽内的两端均固定连接有转轴，两个所述转轴均与开槽侧壁转动连接，其中一个所述转轴贯穿开槽侧壁并延伸至外界连接有限位机构，所述方向件顶端固定连接有固定环。

优选地，所述支撑柱顶端转动连接有转盘，所述转盘与螺纹杆螺纹连接。

优选地，其中一个所述转轴贯穿开槽侧壁并延伸至外界的部分设有滑动槽，所述滑动槽滑动连接有尺寸正好与滑动槽相配合的滑动杆，所述滑动杆两端端部固定连接有环状的限位盘。

优选地，所述限位盘内环与转轴滑动连接，所述限位盘靠近连接件的一侧设有多个凸起，所述连接件与限位盘相对的位置同样设有多个凸起。

优选地，其中一个所述转轴贯穿开槽侧壁并延伸至外界的端部固定连接有固定块，所述固定块上螺纹连接有至少两个轴线方向与转轴轴线方向相同的螺栓。

优选地，至少两个所述螺栓关于转轴轴线对称设置，所述螺栓长度大于固定块与连接件之间的最短距离。

与现有技术相比，本实用新型具备以下优点：

1、本实用新型通过设置支撑柱、螺纹杆以及转盘等结构能够实现支撑架的高度调节，从而可以对不同高度的输气管道进行支撑固定有着较大的适用性；

2、本实用新型通过设置连接件、方向件以及转轴等结构能够实现对固定环方向的调节，在面对倾斜管道的时候固定环依旧能够很好地的与管道进行配合进而对管道进行固定；

3、本实用新型通过设置限位盘固定块以及螺栓等结构能够轻松快速的对方向件进行固定，进而实现对固定环的固定，进而实现对于管道支撑的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架的正面结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架的侧面；

图3为图2中a处结构放大示意图。

图中：1底座、2支撑柱、3空腔、4螺纹杆、5连接件、6方向件、7转轴、8限位机构、9固定环、10转盘、11滑动槽、12限位盘、13固定块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架，包括底座1，底座1上固定连接有支撑柱2，支撑柱2内设有空腔3，空腔3内滑动连接有竖直的螺纹杆4，螺纹杆4顶端固定连接有连接件5，连接件5顶端设有开槽，开槽内转动连接有方向件6，方向件6位于开槽内的两端均固定连接有转轴7，两个转轴7均与开槽侧壁转动连接，其中一个转轴7贯穿开槽侧壁并延伸至外界连接有限位机构8，方向件6顶端固定连接有固定环9，固定环9包括上固定环以及下固定环，上固定环与下固定环两侧通过螺丝固定连接，下固定环与方向件固定连接。

具体的，支撑柱2顶端转动连接有转盘10，转盘10上设有与螺纹杆螺纹连接的限位螺母，能够提高转盘10的自锁能力，转盘10与螺纹杆4螺纹连接，通过转盘10的转动能够实现的螺纹杆4的上下移动，进而通过螺纹杆4实现固定环9高度的调节。

需要说明的是，其中一个转轴7贯穿开槽侧壁并延伸至外界的部分设有滑动槽11，滑动槽11滑动连接有尺寸正好与滑动槽11相配合的滑动杆，滑动杆两端端部固定连接有环状的限位盘12。

值得一提的是，限位盘12内环与转轴7滑动连接，限位盘12靠近连接件5的一侧设有多个凸起，连接件5与限位盘12相对的位置同样设有多个凸起，当限位盘12沿着转轴7滑动并与连接件5紧密贴合的时候，由于凸起的设置能够在连接件5与限位盘12之间有足够大的摩擦力使得限位盘12无法转动，进而通过限位盘12以及滑动杆使得转轴7无法转动，进而使得方向件6以及固定环9无法转动。

值得一提的是，其中一个转轴7贯穿开槽侧壁并延伸至外界的端部固定连接有固定块13，固定块13上螺纹连接有至少两个轴线方向与转轴7轴线方向相同的螺栓，通过转动螺栓能够将限位盘12朝着连接件5方向滑动，进而能够使得限位盘12与连接件5紧密的贴合在一起。

具体的，至少两个螺栓关于转轴7轴线对称设置，螺栓长度大于固定块13与连接件5之间的最短距离，从而能够确保螺栓能够使得限位盘12与连接件5紧密贴合且限位盘不同位置均能够很好地贴合在一起。

工作原理如下：

本实用新型使用时首先转动转盘10，转盘10转动将会使得与之螺纹连接的螺纹杆4上下内移动，直到固定环9移动到适合将管道固定的高度后停止转动转盘10，并将转盘10上的限位螺母转动在转盘10上方与转盘10贴合，然后根据管道的倾斜的方向移动固定环9，固定环9将会带动方向件6转动，当转动到合适的位置之后保持固定环9此时的角度，转动固定块13上的螺栓，螺栓转动将会不断将限位盘12朝着连接件5的方向推动，直到限位盘12与连接件5紧密的贴合在一起，由于限位盘12与连接件5两者相互接触的位置设有凸起，能够确保限位盘12无法转动，与限位盘12固定连接的滑动杆同样无法转动，进而起到对于方向件6以及固定环9的角度的固定。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）上固定连接有支撑柱（2），所述支撑柱（2）内设有空腔（3），所述空腔（3）内滑动连接有竖直的螺纹杆（4），所述螺纹杆（4）顶端固定连接有连接件（5），所述连接件（5）顶端设有开槽，所述开槽内转动连接有方向件（6），所述方向件（6）位于开槽内的两端均固定连接有转轴（7），两个所述转轴（7）均与开槽侧壁转动连接，其中一个所述转轴（7）贯穿开槽侧壁并延伸至外界连接有限位机构（8），所述方向件（6）顶端固定连接有固定环（9）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架，其特征在于，所述支撑柱（2）顶端转动连接有转盘（10），所述转盘（10）与螺纹杆（4）螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架，其特征在于，其中一个所述转轴（7）贯穿开槽侧壁并延伸至外界的部分设有滑动槽（11），所述滑动槽（11）滑动连接有尺寸正好与滑动槽（11）相配合的滑动杆，所述滑动杆两端端部固定连接有环状的限位盘（12）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架，其特征在于，所述限位盘（12）内环与转轴（7）滑动连接，所述限位盘（12）靠近连接件（5）的一侧设有多个凸起，所述连接件（5）与限位盘（12）相对的位置同样设有多个凸起。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架，其特征在于，其中一个所述转轴（7）贯穿开槽侧壁并延伸至外界的端部固定连接有固定块（13），所述固定块（13）上螺纹连接有至少两个轴线方向与转轴（7）轴线方向相同的螺栓。

6.根据权利要求5所述的一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架，其特征在于，至少两个所述螺栓关于转轴（7）轴线对称设置，所述螺栓长度大于固定块（13）与连接件（5）之间的最短距离。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架，包括底座，底座上固定连接有支撑柱，支撑柱内设有空腔，空腔内滑动连接有竖直的螺纹杆，螺纹杆顶端固定连接有连接件，连接件顶端设有开槽，开槽内转动连接有方向件，方向件位于开槽内的两端均固定连接有转轴，两个转轴均与开槽侧壁转动连接，其中一个转轴贯穿开槽侧壁并延伸至外界连接有限位机构，方向件顶端固定连接有固定环。本实用新型通过设置支撑柱、螺纹杆以及转盘等结构能够实现支撑架的高度调节，同时通过设置连接件、方向件以及转轴等结构能够实现对固定环方向的调节，从而能够对不同高度、不同角度的管道进行支撑固定。

技术研发人员：刘志祥
受保护的技术使用者：苏州锐泽系统工程有限公司
技术研发日：2020.01.13
技术公布日：2020.10.27