一种带有流量显示的半导体设备分水器的制作方法

本实用新型涉及分水器技术领域，尤其涉及一种带有流量显示的半导体设备分水器。

背景技术：

分水器是用于连接各路加热管供、回水的配、集水装置。半导体芯片制造设备中，因制程温度较高，对于环境温度的变化也相当敏感。温度波动太大，有可能会影响到最终的产品良率。由此，对于制程反应腔的冷却水的水流大小和温度都有相当高的要求。

传统的分水器有一定的故障损坏率，如塑料叶轮老化导致读值不准，或者电路板损坏导致工作异常等，更换整个分水器的工作量也非常大，且实现水流侦测功能的分水器，通过叶轮的转速来侦测水流大小，但是并无具体的读值，不能满足工程师想要了解水流量的要求。

技术实现要素：

本实用新型提出的一种带有流量显示的半导体设备分水器，解决了传统的分水器有一定的故障损坏率，如塑料叶轮老化导致读值不准，或者电路板损坏导致工作异常等，更换整个分水器的工作量也非常大，且实现水流侦测功能的分水器，通过叶轮的转速来侦测水流大小，但是并无具体的读值，不能满足工程师想要了解水流量的要求的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种带有流量显示的半导体设备分水器，包括设备主体、分水器主体和显示表头，所述分水器主体的一端连接有水管，所述分水器主体的另一端与设备主体上的接线扣连接，所述分水器主体与显示表头之间通过导线连接，且所述显示表头安装在易于观察的外部装置上，所述设备主体的外表面且位于分水器主体的下方设置有托板。

优选的，所述托板靠近设备主体的一端固定连接有连接块，所述设备主体的外表面竖向固定连接有凸条，且所述连接块的一端开设有与凸条相匹配的凸条卡槽。

优选的，所述凸条的一端开设有两个条形穿孔，且两个所述条形穿孔分别贯穿凸条的前后表面。

优选的，所述连接块的内部位于单个条形穿孔的一侧均套接有一个螺钉，所述连接块的内壁开设有与螺钉的端部相匹配的螺纹孔，且所述螺纹孔与螺钉的端部表面螺纹旋合连接。

优选的，所述螺钉的外表面固定套接有圆形抵片，且所述凸条的外表面位于条形穿孔的两侧分布开设有与圆形抵片相匹配的限位卡槽。

优选的，所述凸条的上下两端均固定连接有安装块，所述凸条通过安装块与设备主体的表面螺栓锁紧连接。

与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：该装置可以直接读出水流量和温度的读值，以方便工程师的观测和问题处理，且该装置同时配有显示表头，安装在醒目方便观看的位置，工程师可以直接读取到相关的水流和温度信息，且摒弃了原装分水器的叶轮和电路板的功能，只将分水器作为一个单纯的水流通道，这样就避免了其零件损坏，没有备品更换或者更换工作量大的困扰；也不再受原产国管控零件而无法备货的困扰，通过托板的设计，可以对分水器主体进行上托支撑，提高分水器主体的安装稳定性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种带有流量显示的半导体设备分水器的正视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种带有流量显示的半导体设备分水器图1中部分结构的剖视图；

图3为本实用新型提出的一种带有流量显示的半导体设备分水器图2的俯视向连接剖视图。

图中：1设备主体、2分水器主体、3水管、4显示表头、5凸条、6托板、7安装块、8连接块、9条形穿孔、10限位卡槽、11螺钉、12圆形抵片、13凸条卡槽、14螺纹孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种带有流量显示的半导体设备分水器，包括设备主体1、分水器主体2和显示表头4，分水器主体2的一端连接有水管3，分水器主体2的另一端与设备主体1上的接线扣连接，分水器主体2与显示表头4之间通过导线连接，且显示表头4安装在易于观察的外部装置上，设备主体1的外表面且位于分水器主体2的下方设置有托板6。

本实施例中，托板6靠近设备主体1的一端固定连接有连接块8，设备主体1的外表面竖向固定连接有凸条5，且连接块8的一端开设有与凸条5相匹配的凸条卡槽13。

本实施例中，凸条5的一端开设有两个条形穿孔9，且两个条形穿孔9分别贯穿凸条5的前后表面。

本实施例中，连接块8的内部位于单个条形穿孔9的一侧均套接有一个螺钉11，连接块8的内壁开设有与螺钉11的端部相匹配的螺纹孔14，且螺纹孔14与螺钉11的端部表面螺纹旋合连接。

本实施例中，螺钉11的外表面固定套接有圆形抵片12，且凸条5的外表面位于条形穿孔9的两侧分布开设有与圆形抵片12相匹配的限位卡槽10。

本实施例中，凸条5的上下两端均固定连接有安装块7，凸条5通过安装块7与设备主体1的表面螺栓锁紧连接。

工作原理：将分水器主体2直接安装在水管3上，可以直接读出水流量和温度的读值，以方便工程师的观测和问题处理。同时，考虑原机台的功能，将分水器主体2的读值以信号的方式送至机台，串入原本的水流信号中，实现原机台的信号报警功能，该装置同时配有显示表头4，安装在醒目方便观看的位置，工程师可以直接读取到相关的水流和温度信息，同时，因为信号依照原机台的信号方案接入机台，完全不影响机台本身的信号报警功能，极大的方便了工作；

在安装了分水器主体2后，沿着凸条5的方向将托板6上移，直至托板6贴于分水器主体2的下表面，然后转动螺钉11，使螺钉11的一端旋紧在螺纹孔14内，同时圆形抵片12紧贴在对应位置的限位卡槽10内，从而实现对连接块8和托板6的限位，通过托板6可以实现对分水器主体2的上托支撑，防止其下坠，使分水器主体2的安装更加稳定。

综上，该装置可以直接读出水流量和温度的读值，以方便工程师的观测和问题处理，且该装置同时配有显示表头4，安装在醒目方便观看的位置，工程师可以直接读取到相关的水流和温度信息，且摒弃了原装分水器的叶轮和电路板的功能，只将分水器作为一个单纯的水流通道，这样就避免了其零件损坏，没有备品更换或者更换工作量大的困扰；也不再受原产国管控零件而无法备货的困扰，通过托板6的设计，可以对分水器主体2进行上托支撑，提高分水器主体2的安装稳定性。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种带有流量显示的半导体设备分水器，包括设备主体(1)、分水器主体(2)和显示表头(4)，其特征在于，所述分水器主体(2)的一端连接有水管(3)，所述分水器主体(2)的另一端与设备主体(1)上的接线扣连接，所述分水器主体(2)与显示表头(4)之间通过导线连接，且所述显示表头(4)安装在易于观察的外部装置上，所述设备主体(1)的外表面且位于分水器主体(2)的下方设置有托板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种带有流量显示的半导体设备分水器，其特征在于，所述托板(6)靠近设备主体(1)的一端固定连接有连接块(8)，所述设备主体(1)的外表面竖向固定连接有凸条(5)，且所述连接块(8)的一端开设有与凸条(5)相匹配的凸条卡槽(13)。

3.根据权利要求2所述的一种带有流量显示的半导体设备分水器，其特征在于，所述凸条(5)的一端开设有两个条形穿孔(9)，且两个所述条形穿孔(9)分别贯穿凸条(5)的前后表面。

4.根据权利要求3所述的一种带有流量显示的半导体设备分水器，其特征在于，所述连接块(8)的内部位于单个条形穿孔(9)的一侧均套接有一个螺钉(11)，所述连接块(8)的内壁开设有与螺钉(11)的端部相匹配的螺纹孔(14)，且所述螺纹孔(14)与螺钉(11)的端部表面螺纹旋合连接。

5.根据权利要求4所述的一种带有流量显示的半导体设备分水器，其特征在于，所述螺钉(11)的外表面固定套接有圆形抵片(12)，且所述凸条(5)的外表面位于条形穿孔(9)的两侧分布开设有与圆形抵片(12)相匹配的限位卡槽(10)。

6.根据权利要求2所述的一种带有流量显示的半导体设备分水器，其特征在于，所述凸条(5)的上下两端均固定连接有安装块(7)，所述凸条(5)通过安装块(7)与设备主体(1)的表面螺栓锁紧连接。

技术总结
本实用新型公开了一种带有流量显示的半导体设备分水器，涉及分水器技术领域，针对传统的分水器有一定的故障损坏率，更换整个分水器的工作量也非常大，且分水器通过叶轮的转速来侦测水流大小，但是并无具体的读值，不能满足工程师想要了解水流量的要求的问题，现提出如下方案，包括设备主体、分水器主体和显示表头，所述分水器主体的一端连接有水管，所述分水器主体的另一端与设备主体上的接线扣连接。该装置可以直接读出水流量和温度的读值，以方便工程师的观测和问题处理，且该装置同时配有显示表头，安装在醒目方便观看的位置，工程师可以直接读取到相关的水流和温度信息，且摒弃了原装分水器的叶轮和电路板的功能。

技术研发人员：张华;毛维松
受保护的技术使用者：上海高芯机电有限公司
技术研发日：2020.05.27
技术公布日：2021.03.23