一种真空腔体高压引入密封连接装置的制作方法

本实用新型属于真空生产制造领域，涉及一种真空腔体高压引入密封连接装置。

背景技术：

目前真空镀膜设备制造行业内，设备生产效率除了因每个设备设计理念等不一造成设备在结构配置和后期维修维护过程中存在很多缺陷，就真空腔体高压引入部分的密封连接装置而言该设计存在漏气风险，而且在后期维修维护过程中需要至少两人同时操作，费时费力，在操作过程中上下连轴转动容易对密封圈造成损伤。传统设计在使用过程中会因高压引入热胀冷缩易造成漏气。

技术实现要素：

为了解决上述存在的不足之处及缺点，本实用新型专利提出了一种真空腔体高压引入密封连接装置。

一种真空腔体高压引入密封连接装置，包括高压引入电极、绝缘套，连接法兰为中空的圆柱型，连接法兰下端与真空腔体固定连接，连接法兰上端面设有密封槽和螺纹孔，密封槽位于该螺纹孔内测，靠近高压引入电极一端，该密封槽内设有密封圈；绝缘套为一中空圆柱结构，安装于连接法兰上端面，绝缘套上对应连接法兰螺纹孔位置处，均设有与螺纹孔同心圆的法兰孔；高压引入电极最大外径处的下端设有密封槽及法兰孔，密封槽位于所述法兰孔的内测，该法兰孔位置与绝缘套上的法兰孔为同心圆，高压引入电极依次穿过绝缘套及连接法兰的中心孔；绝缘垫片为中空圆环结构，绝缘垫片设有与高压引入电极的法兰孔同心的法兰孔，绝缘垫片套于高压引入电极的上端面；不锈钢压片为中空的圆环，不锈钢压片上设有与绝缘垫片法兰孔同心的法兰孔，不锈钢压片位于绝缘垫片的上端；最后螺栓插入法兰孔及螺纹孔内固定。

优选的，连接法兰下端与真空腔体采用焊接的固定连接方式。

优选的，连接法兰上端的密封槽位于高压引入电机的外侧，螺纹孔的内测。

优选的，连接法兰上设有6个螺纹孔。

优选的，高压引入电极、不锈钢压片、绝缘垫片及绝缘套上的法兰孔各为6个。

优选的，绝缘套的上下端与密封圈接触。

优选的，螺栓穿过不锈钢压片、绝缘垫片、高压引入电极及绝缘套的法兰孔固定至连接法兰上端面的螺纹孔内。

本实用新型所达到的有益效果是：1、实现了真空腔体高压密封性能的改善；2、解决了在操作过程中高压引入电极连轴转动，不方便锁死的问题；3、避免维修中出现的密封圈损伤问题；4、解决了在作业过程中因热胀冷缩造成连接松动，密封漏气的问题；5、提高了维修维护的工作效率，降低了人力成本。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的示意图；

图2是高压引入电极的结构示意图；

图中：1、高压引入电极；2、不锈钢压片；3、绝缘垫片；4、绝缘套；5、连接法兰。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

一种真空腔体高压引入密封连接装置，包括高压引入电极1、不锈钢压片2、绝缘垫片3、绝缘套4、连接法兰5。将连接法兰5下端采用直接通过机加工焊接的方式与真空腔体进行焊接连接，焊接结束后需要对焊缝进行气密性检测，连接法兰作用直接受力在真空腔体上，进而能释放受力，不会影响密封；连接法兰的上端面设计有密封槽，安装密封圈之后将绝缘套4安装在连接法兰5上面，再将高压引入电极1带有密封槽安装密封圈的下端面插入连接法兰5和绝缘套4的中心孔，将绝缘垫片3套入高压引入电极1的上端面，然后套入不锈钢压片2，本案中设计的密封圈为静态密封，高压引入电极不会转动，因此不会碾压密封圈从而解决了传统设计中的密封圈破损问题。最后用螺栓插入在各连接件上的法兰孔并深入至连接法兰5上端面的螺纹孔内进行锁死，高压引入电极不直接接触固定螺栓，因此能有效的防止热胀冷缩造成的松动而漏气。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种真空腔体高压引入密封连接装置，包括高压引入电极、绝缘套，其特征在于：连接法兰为中空的圆柱型，所述连接法兰下端与真空腔体固定连接，所述连接法兰上端面设有密封槽和螺纹孔，所述密封槽位于该螺纹孔内测，靠近所述高压引入电极一端，该密封槽内设有密封圈；绝缘套为一中空圆柱结构，安装于连接法兰上端面，所述绝缘套上对应连接法兰螺纹孔位置处，均设有与螺纹孔同心圆的法兰孔；所述高压引入电极最大外径处的下端设有密封槽及法兰孔，所述密封槽位于所述法兰孔的内测，该法兰孔位置与所述绝缘套上的法兰孔为同心圆，所述高压引入电极依次穿过绝缘套及连接法兰的中心孔；绝缘垫片为中空圆环结构，所述绝缘垫片设有与所述高压引入电极的法兰孔同心的法兰孔，所述绝缘垫片套于所述高压引入电极的上端面；不锈钢压片为中空的圆环，所述不锈钢压片上设有与所述绝缘垫片法兰孔同心的法兰孔，所述不锈钢压片位于绝缘垫片的上端；最后螺栓插入法兰孔及螺纹孔内固定。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔体高压引入密封连接装置，其特征在于：所述连接法兰下端与真空腔体采用焊接的固定连接方式。

3.根据权利要求2所述的一种真空腔体高压引入密封连接装置，其特征在于：所述连接法兰上端的密封槽位于高压引入电机的外侧，螺纹孔的内测。

4.根据权利要求3所述的一种真空腔体高压引入密封连接装置，其特征在于：所述连接法兰上设有6个螺纹孔。

5.根据权利要求4所述的一种真空腔体高压引入密封连接装置，其特征在于：所述高压引入电极、不锈钢压片、绝缘垫片及绝缘套上的法兰孔各为6个。

6.根据权利要求1所述的一种真空腔体高压引入密封连接装置，其特征在于：所述绝缘套的上下端与密封圈接触。

7.根据权利要求1所述的一种真空腔体高压引入密封连接装置，其特征在于：螺栓穿过不锈钢压片、绝缘垫片、高压引入电极及绝缘套的法兰孔固定至连接法兰上端面的螺纹孔内。

技术总结
本实用新型公开了一种真空腔体高压引入密封连接装置，包括高压引入电极、不锈钢压片、绝缘垫片、绝缘套、连接法兰。它解决了传统设计锁死过程中高压引入电极碾压密封圈造成的密封圈破损，改善了原设计中因热胀冷缩造成的松动漏气问题，并且新的密封连接装置提高了设备维护维修的效率，降低了人力成本。

技术研发人员：王春英;杨睿
受保护的技术使用者：吉林省晟亚模塑有限公司
技术研发日：2020.05.28
技术公布日：2020.12.22