一种气浮导轨六自由度调整装置的制作方法

1.本实用新型涉及气浮导轨的技术领域，尤其涉及一种气浮导轨六自由度调整装置。


背景技术：

2.气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点，广泛应用于高直线度高精度的测量场合。其中测量行程的要求比较长，4m到100m不等，单根导轨的长度受加工设备的影响无法达到长行程的要求，需要对短行程的导轨进行拼接使用来满足长行程的要求。现有的气浮导轨大多采用人工拼接，人工操作误差大，拼接精度低，使用时误差较大，目前气浮导轨的调整装置调节精度低。


技术实现要素：

3.为了克服上述背景技术中拼接后气浮导轨拼接精度低，气浮导轨的调整装置调节精度低的问题，本实用新型提供了一种气浮导轨六自由度调整装置。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种气浮导轨六自由度调整装置，包括气浮平台、万向球头组件和微分头弹性可调装置，所述万向球头组件设置在气浮平台下方，所述微分头弹性可调装置对称设置在气浮平台两侧；
5.所述气浮平台的底面固定设置有球头凹面体，所述气浮平台的两侧分别设有固定架，所述固定架的一端与气浮平台固定连接，所述微分头弹性可调装置设置在固定架的另一端；
6.所述万向球头组件包括千斤顶底座、调整螺杆和万向球头，所述万向球头的下端活动设置在千斤顶底座上端，所述调整螺杆设置在万向球头与千斤顶底座的连接处。
7.进一步地，所述微分头弹性可调装置包括弹性杆、微分头，所述弹性杆、微分头分别平行设置在固定架上。
8.进一步地，所述万向球头的上端设置在球头凹面体中。
9.进一步地，所述气浮平台内部贯穿气道，所述气浮平台的喷气面有多个喷嘴。
10.进一步地，所述气浮平台由花岗石制成。
11.本实用新型的有益效果是：本实用新型能够对气浮导轨进行六自由度调节，通过设置万向球头来对气浮平台进行360度调节，同时还设置了微分头弹性可调装置进行小幅度调节，来增加气浮导轨的调节精度，本实用新型结构简单，调节精度高，调整效果好。
附图说明
12.图1是本实用新型的结构示意图；
13.图2是图1中的a处结构放大图；
14.图3是本实用新型微分头弹性可调装置的结构示意图；
15.图4是本实用新型实际应用的结构示意图。
16.图中，1.千斤顶底座，2.调整螺杆，3.微分头弹性可调装置，31.弹性杆，32.微分头，4.气浮平台，5.固定支架，6.球头凹面体，7.万向球头。
具体实施方式
17.下面结合附图及实施例描述本实用新型具体实施方式，本实用新型中未述及的部分采用或借鉴已有技术即可实现。
18.需要说明的是，本说明书所附图中示意的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。
19.同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
20.如图1-图4所示，一种气浮导轨六自由度调整装置，包括气浮平台4、万向球头组件和微分头弹性可调装置3，万向球头组件设置在气浮平台4下方，微分头弹性可调装置3对称设置在气浮平台4两侧；万向球头组件可以实现气浮平台的上下移动，微分头弹性可调装置3用于小幅度调节气浮导轨。
21.气浮平台4的底面固定设置有球头凹面体6；气浮平台4的两侧分别设有固定架5，固定架5的一端与气浮平台4固定连接，微分头弹性可调装置3设置在固定架5的另一端。
22.万向球头组件包括千斤顶底座1、调整螺杆2和万向球头7，万向球头7的下端活动设置在千斤顶底座1上端，调整螺杆2设置在万向球头7与千斤顶底座1的连接处，万向球头7的上端设置在球头凹面体6中。
23.微分头弹性可调装置3包括弹性杆31、微分头32，弹性杆31、微分头32分别平行设置在固定架5上。
24.气浮平台4由花岗石制成。气浮平台4内部贯穿气道，气浮平台4的喷气面有多个喷嘴。
25.本实用新型在使用时，气浮导轨放置在气浮平台4上，球头凹面体6与万向球头7相配合、千斤顶底座1与万向球头7相配合可实现气浮平台4的360
°
自由移动。具体调整过程如下：
26.在气浮导轨2/9l的支撑位置处放置3个本实用新型，将气浮导轨通过三点支撑到位，安装好微分头弹性可调装置3。b为一点支撑位置，c为二点支撑位置即b处设置一个本实用新型，c处设置两个本实用新型。开通气源气体从气浮平台4的九个喷嘴喷出，经过气体流通槽在气浮导轨与气浮平台4气浮面形成一定厚度的气膜将气浮导轨浮起，可以用通过调整三个点实现导轨6个自由度的微调。
27.微分头弹性可调装置3实现弹性可调过程：微分头弹性可调整装置3包括2块微米级微分头32，2块弹性杆31，固定支架5固定在气浮平台4上，微分头32及弹性杆31固定在固定支架5上，调整过程为：气浮导轨调整好水平之后，三点支撑，确定调整方向。将一对相对分布的微分头32及弹性杆31固定好并与导轨接触，通过弹性杆31施加一定的压力，另外一
对微分头32不与气浮导轨接触。b处通气，c处断气，微分头弹性可调装置3可以实现相应方向的微调，调整完毕断b处气源。如果需要往相对方向调整，则固定另外一对微分头32及弹性杆31。
28.本实用新型能够对气浮导轨进行六自由度调节，通过设置万向球头来对气浮平台进行360度调节，同时还设置了微分头弹性可调装置进行小幅度调节，来增加气浮导轨的调节精度，本实用新型结构简单，调节精度高，调整效果好。


技术特征：
1.一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：包括气浮平台(4)、万向球头组件和微分头弹性可调装置(3)，所述万向球头组件设置在气浮平台(4)下方，所述微分头弹性可调装置(3)对称设置在气浮平台(4)两侧；所述气浮平台(4)的底面固定设置有球头凹面体(6)，所述气浮平台(4)的两侧分别设有固定架(5)，所述固定架(5)的一端与气浮平台(4)固定连接，所述微分头弹性可调装置(3)设置在固定架(5)的另一端；所述万向球头组件包括千斤顶底座(1)、调整螺杆(2)和万向球头(7)，所述万向球头(7)的下端活动设置在千斤顶底座(1)上端，所述调整螺杆(2)设置在万向球头(7)与千斤顶底座(1)的连接处。2.根据权利要求1所述的一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：所述微分头弹性可调装置(3)包括弹性杆(31)、微分头(32)，所述弹性杆(31)、微分头(32)分别平行设置在固定架(5)上。3.根据权利要求1所述的一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：所述万向球头(7)的上端设置在球头凹面体(6)中。4.根据权利要求3所述的一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：所述气浮平台(4)内部贯穿气道，所述气浮平台(4)的喷气面有多个喷嘴。5.根据权利要求4所述的一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：所述气浮平台(4)由花岗石制成。6.根据权利要求4所述的一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：所述气浮平台(4)的喷气面有9个喷嘴。

技术总结
本实用新型公开了一种气浮导轨六自由度调整装置，该调整装置包括气浮平台、万向球头组件和微分头弹性可调装置，所述万向球头组件设置在气浮平台下方，所述微分头弹性可调装置对称设置在气浮平台两侧；所述气浮平台的底面固定设置有球头凹面体，所述气浮平台的两侧分别设有固定架，所述固定架的一端与气浮平台固定连接，所述微分头弹性可调装置设置在固定架的另一端；所述万向球头组件包括千斤顶底座、调整螺杆和万向球头，所述万向球头的下端活动设置在千斤顶底座上端，所述调整螺杆设置在万向球头与千斤顶底座的连接处。本实用新型结构简单，调节精度高，调整效果好。调整效果好。调整效果好。


技术研发人员：吕昌英
受保护的技术使用者：青岛联盈创科检测装备有限公司
技术研发日：2021.10.29
技术公布日：2022/5/10