密封材料及密封材料的制造方法与流程

本发明的一实施方式涉及密封材料或密封材料的制造方法。

背景技术：

1、一直以来，密封材料被广泛用于各种用途，在这些用途中，作为对密封材料负荷最大的密封材料的用途的一例，可例举半导体制造装置等中使用的密封材料。

2、作为这样的密封材料，为了能够获得耐等离子体性或耐自由基性优异的密封材料，使用交联性含氟弹性体。

3、这种交联性含氟弹性体制成的密封材料通常使用在该交联性含氟弹性体中掺合交联剂、交联助剂等添加剂而得到的弹性体组合物，通过对该弹性体组合物进行成形、交联而用作为密封材料。特别是从所得的密封材料的耐龟裂性和密封性等角度考虑，在所述交联时实施包含照射放射线的工序的交联(例如，参考专利文献1)。

4、现有技术文件

5、专利文献

6、专利文献1：日本专利特开2004-131656号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、如上所述，在交联性含氟弹性体中掺合添加剂而形成弹性体组合物时，为了由该弹性体组合物制造显现出所希望的物性的密封材料，需要将该弹性体组合物中的各成分混合均匀。

3、然而，在使用现有的交联性含氟弹性体的情况下，特别是在使用液状或油状成分的情况下，制备这种均匀的弹性体组合物需要很长时间，在这点上尚有改进的余地。

4、另外，在由所制造的弹性体组合物以高生产率形成密封材料时，通常通过压片工序(日文：分出し工程)将弹性体组合物制成片材。该压片工序通常通过使弹性体组合物在辊之间通过来进行，但是在使用现有的弹性体组合物的情况下，弹性体组合物有时未被咬入辊之间或不能顺利地卷绕到辊上，所以不容易制成片材(压片性(日文：分出し性)差)。因此，现有的弹性体组合物在成形性方面尚有改进的空间。

5、进一步，由现有的弹性组合物形成的密封材料在拉伸强度及断裂伸长率等作为密封材料的特性方面尚有改进的空间。

6、本发明的一实施方式提供一种能够以优异的成形加工性制造的、密封性良好、拉伸强度及断裂伸长率大的密封材料。

7、解决技术问题所采用的技术方案

8、本发明人为了解决上述技术问题进行了深入研究，结果发现通过以下的构成例能够解决上述课题，从而完成了本发明。

9、本发明的构成例如下所述。

10、[1]一种密封材料，其是包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(a)、交联剂及交联助剂的弹性体组合物的放射线交联体，其中，所述交联性含氟弹性体(a)包含氟含量在66～68质量％范围内的全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(a1)。

11、[2]如[1]所述的密封材料，其中，所述含氟弹性体(a)是可过氧化物交联的含氟弹性体。

12、[3]如[1]或[2]所述的密封材料，其中，所述弹性体组合物包含选自具有烯属不饱和键的全氟骨架的化合物、以及具有烯属不饱和键的硅氧烷骨架的化合物中的至少一种含烯属不饱和键的化合物。

13、[4]如[1]～[3]中任一项所述的弹性体组合物，其中，相对于所述含氟弹性体(a)100质量份，填充材料的含量在5质量份以下。

14、[5]密封材料的制造方法，其中，包括对包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(a)、交联剂及交联助剂且该交联性含氟弹性体(a)包含氟含量在66～68质量％范围内的全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(a1)的弹性体组合物或该弹性体组合物的交联物照射放射线的工序。

15、发明效果

16、根据本发明的一实施方式，能够提供可以优异的成形加工性制造的、密封性良好(压缩永久形变小)、拉伸强度及断裂伸长率大的密封材料。具体来讲，能够由可在短时间内形成为均匀的弹性体组合物的成形性、特别是压片性优异的弹性组合物提供密封性良好、拉伸强度及断裂伸长率大的密封材料。

17、此外，根据本发明的一个实施方式，能够获得以良好的平衡性显现出优异的硬度、拉伸强度、断裂伸长率及100％伸长率时拉伸应力(100％mo)并且耐等离子体性(耐自由基性)、耐龟裂性、压缩永久形变等优异的密封材料。因此，该密封材料适合用作为半导体制造装置用密封材料、等离子体处理装置用密封材料。

技术特征：

1.一种密封材料，其是包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(a)、交联剂及交联助剂的弹性体组合物的放射线交联体，其中，所述交联性含氟弹性体(a)包含氟含量在66～68质量％范围内的全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(a1)。

2.如权利要求1所述的密封材料，其中，所述含氟弹性体(a)是可过氧化物交联的含氟弹性体。

3.如权利要求1或2所述的密封材料，其中，所述弹性体组合物包含选自具有烯属不饱和键的全氟骨架的化合物、以及具有烯属不饱和键的硅氧烷骨架的化合物中的至少一种含烯属不饱和键的化合物。

4.如权利要求1～3中任一项所述的弹性体组合物，其中，相对于所述含氟弹性体(a)100质量份，填充材料的含量在5质量份以下。

5.密封材料的制造方法，其中，包括对包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(a)、交联剂及交联助剂且该交联性含氟弹性体(a)包含氟含量在66～68质量％范围内的全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(a1)的弹性体组合物或该弹性体组合物的交联物照射放射线的工序。

技术总结
本发明的一实施方式涉及密封材料或密封材料的制造方法，该密封材料是包含全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(A)、交联剂及交联助剂的弹性体组合物的放射线交联体，其中，所述交联性含氟弹性体(A)包含氟含量在66～68质量％范围内的全氟弹性体以外的交联性含氟弹性体(A1)。

技术研发人员：冈崎雅则,大住直树
受保护的技术使用者：株式会社华尔卡
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13