一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座的制作方法

1.本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座。


背景技术：

2.目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
3.由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振，气动主动隔振自适应性好，通过作动器输出反向力抵消低频振动，具有优越的低频或超低频隔振性能。精密仪器所处环境不是单一的高频振动或低频振动，是多种频率的复杂的震动环境，而目前隔振平台多是针对单一高频或低频振动，对于复杂振动环境的隔振能力较差。


技术实现要素：

4.实用新型的目的在于提供一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
5.本实用新型的技术方案是这样实现的：
6.一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座，包括顶板、底座和支架，所述顶板下方四周固接有挡板，所述支架垂直固接在底座上方的四周，所述挡板上连接有永磁体，所述支架上连接有电磁铁，所述永磁体与电磁铁在同一水平线上，所述顶板中间下方连接有柔性铰链，所述柔性铰链下方连接有空气弹簧，所述空气弹簧下方连接有金属波纹管，所述金属波纹管下方连接有气室，所述顶板下方连接有第一位置传感器，所述底座上方连接有第二位置传感器，所述底座上方还连接有数字控制器。
7.进一步地，所述顶板、底座均呈矩形结构。
8.进一步地，所述挡板位于支架内侧。
9.进一步地，所述顶板位置高出支架顶端位置。
10.进一步地，所述第一位置传感器、第二位置传感器、电磁铁、气室与数字控制器通过电缆连接。
11.本实用新型的有益效果为：
12.本实用新型垂直方向上通过空气弹簧、金属波纹管与气室的配合实现了垂直方向上的精准隔振效果，具有较宽的隔振带；水平方向通过电磁铁与永磁体的电磁效应实现电
磁驱动，能够高精度定位，实现低频隔振和迅速衰减高频干扰；本实用新型结构简单，隔振带宽，系统固有频率能现实小于0.5hz，对高频和低频干扰都具有较好的隔振效果。
附图说明
13.图1为本实用新型的结构示意图。
14.图2-为本实用新型的俯视图。
15.图中1-顶板，2-底座，3-支架，4-挡板，5-永磁体，6-电磁铁，7-柔性铰链，8-空气弹簧，9-金属波纹管，10-气室，11-第一位置传感器，12-第二位置传感器，13-数字控制器，14-电缆。
具体实施方式
16.下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.如图1-2所示，一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座，包括顶板1、底座2和支架3，所述顶板1下方四周固接有挡板4，所述支架2垂直固接在底座2上方的四周，所述挡板4上连接有永磁体5，所述支架3上连接有电磁铁6，所述永磁体5与电磁铁6在同一水平线上，所述顶板1中间下方连接有柔性铰链7，所述柔性铰链7下方连接有空气弹簧8，所述空气弹簧8下方连接有金属波纹管9，所述金属波纹管9下方连接有气室10，所述顶板1下方连接有第一位置传感器11，所述底座2上方连接有第二位置传感器12，所述底座2上方还连接有数字控制器13。
18.所述顶板1、底座2均呈矩形结构。
19.所述挡板4位于支架内侧。
20.所述顶板1位置高出支架3顶端位置。
21.所述第一位置传感器11、第二位置传感器12、电磁铁6、气室10与数字控制器13通过电缆连接。
22.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座，包括顶板、底座和支架，其特征在于，所述顶板下方四周固接有挡板，所述支架垂直固接在底座上方的四周，所述挡板上连接有永磁体，所述支架上连接有电磁铁，所述永磁体与电磁铁在同一水平线上，所述顶板中间下方连接有柔性铰链，所述柔性铰链下方连接有空气弹簧，所述空气弹簧下方连接有金属波纹管，所述金属波纹管下方连接有气室，所述顶板下方连接有第一位置传感器，所述底座上方连接有第二位置传感器，所述底座上方还连接有数字控制器。2.根据权利要求1所述的一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座，其特征在于，所述顶板、底座均呈矩形结构。3.根据权利要求1所述的一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座，其特征在于，所述挡板位于支架内侧。4.根据权利要求1所述的一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座，其特征在于，所述顶板位置高出支架顶端位置。5.根据权利要求1所述的一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座，其特征在于，所述第一位置传感器、第二位置传感器、电磁铁、气室与数字控制器通过电缆连接。

技术总结
本实用新型提供了一种基于电磁驱动的三自由度主动隔振基座，包括顶板、底座和支架，所述顶板下方四周固接有挡板，所述支架垂直固接在底座上方的四周，所述挡板上连接有永磁体，所述支架上连接有电磁铁，所述永磁体与电磁铁在同一水平线上，所述顶板中间下方连接有柔性铰链，所述柔性铰链下方连接有空气弹簧，所述空气弹簧下方连接有金属波纹管，所述金属波纹管下方连接有气室，所述顶板下方连接有第一位置传感器，所述底座上方连接有第二位置传感器，所述底座上方还连接有数字控制器。本实用新型结构简单，隔振带宽，系统固有频率能现实小于0.5Hz，对高频和低频干扰都具有较好的隔振效果。振效果。振效果。


技术研发人员：孙乐 于超 尹波
受保护的技术使用者：大连地拓电子工程技术有限公司
技术研发日：2022.03.07
技术公布日：2022/8/16