一种具有管口密封结构的石英炉管的制作方法

1.本实用新型涉及石英炉管技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种具有管口密封结构的石英炉管。


背景技术：

2.石英炉管通常与扩散炉一起配合使用，常用于半导体加工中对硅片进行高温扩散，在进行高温扩散工艺时，是将硅片连同硅片托架一起放入石英炉管中进行工艺。
3.但是在实际使用时，石英炉管在使用时其两端都需要进行密封，而进行密封连接时，其管口的密封结构较为单一，随着长期高温使用易发生松动情况。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种具有管口密封结构的石英炉管，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有管口密封结构的石英炉管，包括石英炉管主体，所述石英炉管主体的一端固定套接有连接套环，所述连接套环的一端固定连接有密封橡胶垫，所述密封橡胶垫和石英炉管主体的一端端口之间的夹缝形成插接槽，所述插接槽内插接有管体端口密封连接盖，所述连接套环上螺纹连接有紧固密封环，且所述紧固密封环的两侧表面均开设有凹槽，所述管体端口密封连接盖的一端外表面设置有用于与紧固密封环进行卡接的卡扣组件。
6.优选地，所述卡扣组件包括扣板，所述扣板的一端挂设于紧固密封环的上，且所述扣板的一端与紧固密封环外侧的凹槽内壁表面贴合连接。
7.优选地，所述管体端口密封连接盖的外表面固定套接有卡扣连接环，所述卡扣连接环上固定连接有若干个连接块，所述连接块通过转柱与扣板转动连接。
8.优选地，所述连接套环的外表面上固定连接有连接外螺纹，所述紧固密封环通过内螺纹螺纹连接于连接外螺纹上。
9.优选地，所述密封橡胶垫的内表面与管体端口密封连接盖的外表面紧密贴合连接。
10.优选地，所述石英炉管主体的一端部外表面与管体端口密封连接盖内表面紧密贴合连接。
11.优选地，所述管体端口密封连接盖的外表面固定连接有外接管体。
12.本实用新型的技术效果和优点：
13.1、与现有技术相比，通过设置密封橡胶垫和紧固密封环，通过扭动紧固密封环，使得紧固密封环右端不断挤压密封橡胶垫，使得密封橡胶垫被压制使得紧密贴合于管体端口密封连接盖外表面上，以此实现连接处紧密密封作用。
14.2、与现有技术相比，通过设置扣板，将管体端口密封连接盖上的扣板扣设在紧固密封环的外侧凹槽内，实现固定作用。
附图说明
15.图1为本实用新型的整体结构示意图。
16.图2为本实用新型a处放大结构示意图。
17.图3为本实用新型密封橡胶垫结构示意图。
18.图4为本实用新型b处放大结构示意图。
19.附图标记为：1、石英炉管主体；2、管体端口密封连接盖；3、密封橡胶垫；4、连接套环；5、连接外螺纹；6、紧固密封环；7、凹槽；8、扣板；9、连接块；10、插接槽；201、外接管体；202、卡扣连接环。
具体实施方式
20.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
21.如附图1-4所示的一种具有管口密封结构的石英炉管，包括石英炉管主体1，石英炉管主体1的一端固定套接有连接套环4，连接套环4的一端固定连接有密封橡胶垫3，密封橡胶垫3和石英炉管主体1的一端端口之间的夹缝形成插接槽10，插接槽10内插接有管体端口密封连接盖2，连接套环4上螺纹连接有紧固密封环6，且紧固密封环6的两侧表面均开设有凹槽7，管体端口密封连接盖2的一端外表面设置有用于与紧固密封环6进行卡接的卡扣组件，以便于首先将会紧固密封环6扭动至如附图3中所示靠左处位置上，而后将管体端口密封连接盖2的断口处深入到密封橡胶垫3和石英炉管主体1的一端端口处之间，也就是插接槽10内，而后通过扭动紧固密封环6，使得紧固密封环6右端不断挤压密封橡胶垫3，使得密封橡胶垫3被压制使得紧密贴合于管体端口密封连接盖2外表面上，以此实现连接处紧密密封作用，而后再将管体端口密封连接盖2上的扣板8扣设在紧固密封环6的外侧凹槽7内，实现固定作用。
22.在一个优选地实施方式中，如附图1、附图2和附图3所示，卡扣组件包括扣板8，扣板8的一端挂设于紧固密封环6的上，且扣板8的一端与紧固密封环6外侧的凹槽7内壁表面贴合连接，管体端口密封连接盖2的外表面固定套接有卡扣连接环202，卡扣连接环202上固定连接有若干个连接块9，连接块9通过转柱与扣板8转动连接，连接套环4的外表面上固定连接有连接外螺纹5，紧固密封环6通过内螺纹螺纹连接于连接外螺纹5上，密封橡胶垫3的内表面与管体端口密封连接盖2的外表面紧密贴合连接，石英炉管主体1的一端部外表面与管体端口密封连接盖2内表面紧密贴合连接，管体端口密封连接盖2的外表面固定连接有外接管体201。
23.本实用新型工作原理：本装置使用时，首先将会紧固密封环6扭动至如附图3中所示靠左处位置上，而后将管体端口密封连接盖2的断口处深入到密封橡胶垫3和石英炉管主体1的一端端口处之间，也就是插接槽10内，而后通过扭动紧固密封环6，使得紧固密封环6右端不断挤压密封橡胶垫3，使得密封橡胶垫3被压制使得紧密贴合于管体端口密封连接盖2外表面上，以此实现连接处紧密密封作用，而后再将管体端口密封连接盖2上的扣板8扣设在紧固密封环6的外侧凹槽7内，实现固定作用。
24.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实
体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种具有管口密封结构的石英炉管，包括石英炉管主体（1），其特征在于：所述石英炉管主体（1）的一端固定套接有连接套环（4），所述连接套环（4）的一端固定连接有密封橡胶垫（3），所述密封橡胶垫（3）和石英炉管主体（1）的一端端口之间的夹缝形成插接槽（10），所述插接槽（10）内插接有管体端口密封连接盖（2），所述连接套环（4）上螺纹连接有紧固密封环（6），且所述紧固密封环（6）的两侧表面均开设有凹槽（7），所述管体端口密封连接盖（2）的一端外表面设置有用于与紧固密封环（6）进行卡接的卡扣组件。2.根据权利要求1所述的一种具有管口密封结构的石英炉管，其特征在于：所述卡扣组件包括扣板（8），所述扣板（8）的一端挂设于紧固密封环（6）的上，且所述扣板（8）的一端与紧固密封环（6）外侧的凹槽（7）内壁表面贴合连接。3.根据权利要求1所述的一种具有管口密封结构的石英炉管，其特征在于：所述管体端口密封连接盖（2）的外表面固定套接有卡扣连接环（202），所述卡扣连接环（202）上固定连接有若干个连接块（9），所述连接块（9）通过转柱与扣板（8）转动连接。4.根据权利要求3所述的一种具有管口密封结构的石英炉管，其特征在于：所述连接套环（4）的外表面上固定连接有连接外螺纹（5），所述紧固密封环（6）通过内螺纹螺纹连接于连接外螺纹（5）上。5.根据权利要求4所述的一种具有管口密封结构的石英炉管，其特征在于：所述密封橡胶垫（3）的内表面与管体端口密封连接盖（2）的外表面紧密贴合连接。6.根据权利要求5所述的一种具有管口密封结构的石英炉管，其特征在于：所述石英炉管主体（1）的一端部外表面与管体端口密封连接盖（2）内表面紧密贴合连接。7.根据权利要求6所述的一种具有管口密封结构的石英炉管，其特征在于：所述管体端口密封连接盖（2）的外表面固定连接有外接管体（201）。

技术总结
本实用新型公开了一种具有管口密封结构的石英炉管，具体涉及石英炉管领域，包括石英炉管主体，所述石英炉管主体的一端固定套接有连接套环，所述连接套环的一端固定连接有密封橡胶垫，所述密封橡胶垫和石英炉管主体的一端端口之间的夹缝形成插接槽，所述插接槽内插接有管体端口密封连接盖，所述连接套环上螺纹连接有紧固密封环，且所述紧固密封环的两侧表面均开设有凹槽。本实用新型通过设置密封橡胶垫和紧固密封环，通过扭动紧固密封环，使得紧固密封环右端不断挤压密封橡胶垫，使得密封橡胶垫被压制使得紧密贴合于管体端口密封连接盖外表面上，以此实现连接处紧密密封作用。以此实现连接处紧密密封作用。以此实现连接处紧密密封作用。


技术研发人员：孙建平 朱国飞 费斌斌
受保护的技术使用者：苏州光协光电科技有限公司
技术研发日：2022.03.18
技术公布日：2022/8/8